多转型飞行时间质谱分析装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及多转型飞行时间质谱分析装置及其制造方法。提供一种多转型飞行时间质谱分析装置，其能够更高精度地对环绕电场的畸变进行补偿从而能够使装置小型化、提高分辨率。多转型飞行时间质谱分析装置(1)具备：主电极(21)，其是在预定的环绕空间内生成使离子以环绕多次的方式飞行的电场即环绕电场的电极，该主电极(21)具有使离子向所述环绕空间导入或从所述环绕空间导出的开口(24、25)；绝缘体制成的补偿电极安装件(23)，其固定于主电极(21)；以及补偿电极(22)，其直接或借助基板(221)固定于补偿电极安装件(23)并且配置于所述开口的附近，对在所述开口的附近产生的所述环绕电场的畸变进行补偿。环绕电场的畸变进行补偿。环绕电场的畸变进行补偿。

【技术实现步骤摘要】
多转型飞行时间质谱分析装置及其制造方法


[0001]本专利技术涉及多转型飞行时间质谱分析装置及其制造方法。

技术介绍

[0002]在飞行时间质谱分析装置(Time Of Flight Mass Spectrometer：TOFMS)中通常是，利用在以相同的能量对质荷比不同的离子进行加速时离子会以与质荷比相应的飞行速度飞行的情况，通过测量飞行预定的距离所需要的时间来计算离子的质荷比。因此，在TOFMS中，为了提高分辨率，使离子的飞行距离变长是有效的。但是，在使离子直线地飞行的直线型TOFMS、利用反射电场而使离子往复飞行的反射型TOFMS中，如果想要使离子的飞行距离变长，则需要在特定的一个方向(离子的飞行方向)上使装置变大。
[0003]因此，近年来开发了被称为多转型的TOFMS(Multi Turn TOFMS：MT-TOFMS)(例如专利文献1)。在MT-TOFMS中，通过以使离子在大致圆形、大致椭圆形、数字“8”形状等的轨道反复环绕并且每环绕1周使轨道稍微移动的方式形成电场，从而不用使装置在特定的一个方向上变大就能使离子的飞行距离变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多转型飞行时间质谱分析装置，其中，该多转型飞行时间质谱分析装置具备：主电极，其是在预定的环绕空间内生成使离子以环绕多次的方式飞行的电场即环绕电场的电极，该主电极具有使离子向所述环绕空间导入或从所述环绕空间导出的开口；绝缘体制成的补偿电极安装件，其固定于所述主电极；以及补偿电极，其直接或借助基板固定于所述补偿电极安装件并且配置于所述开口的附近，对在所述开口的附近产生的所述环绕电场的畸变进行补偿。2.根据权利要求1所述的多转型飞行时间质谱分析装置，其中，所述补偿电极安装件具有两个定位销，所述补偿电极或所述基板具有与所述两个定位销一一对应地设置的卡合孔。3.根据权利要求2所述的多转型飞行时间质谱分析装置，其中，所述卡合孔中的1个卡合孔具有在一个方向上比所述两个定位销中的卡合于该卡合孔的定位销长的形状。4.根据权利要求1所述的多转型飞行时间质谱分析装置，其中，所述基板仅对所述补偿电极的局部进行支承。5.根据权利要求1所述的多转型飞行时间质谱分析装置，其中，所述主电极由设有所述开口的外侧电极和距该外侧电极预定距离地设于该外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：三浦宏之，出水秀明，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：