具有灯室校正的等离子体源制造技术

本发明专利技术揭示一种具有灯室校正的等离子体光源。所述系统可包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。可通过椭圆反射器元件将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积以便产生等离子体。所述等离子体可经配置以产生宽带照明。所述系统还可包含经配置以变更所述泵浦照明以校正由所述等离子体灯引入的像差的校正板及/或非球面椭圆反射器元件。所述系统还可包含经配置以变更所述宽带照明以校正由所述系统的光学元件引入的像差的额外非球面校正板。正板。正板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有灯室校正的等离子体源
[0001]相关申请案的交叉参考
[0002]本申请案根据35U.S.C.
§
119(e)规定主张以施宇
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张(Shiyu Zhang)、马克
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史
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王(Mark Shi Wang)及伊利亚
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贝泽尔(Ilya Bezel)为专利技术者，在2018年7月31日申请的标题为等离子体源灯室校正方法(PLASMA SOURCE LAMP HOUSE CORRECTION METHOD)的序列号为第62/712,391号的美国临时申请案的权利，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。


[0003]本专利技术大体上涉及基于等离子体的光源，且更特定来说，涉及一种具有灯室像差校正的基于等离子体的光源。

技术介绍

[0004]随着对具有越来越小装置特征的集成电路的要求持续增加，对用于检验这些不断缩小装置的经改进照明源的需求持续增长。一种此照明源包含激光维持等离子体(LSP)源。激光维持等离子体光源能够产生高功率宽带照明。激光维持等离子体光源通过将激光辐射聚焦到等离子体灯内所围封的气体体积中以便将所述气体(例如氩气或氙气)激发成能够发射宽带照明的等离子体状态而进行操作。此效应通常被称为“泵激”所述等离子体。
[0005]激光维持光源的有效性是至少部分基于在紧密、紧凑、精确已知位置中产生等离子体的能力。然而，激光维持等离子体光源内的光学组件(包含等离子体灯自身)可使泵激激光辐射失真，从而需要增加的泵激功率且导致热管理问题。泵激激光辐射中的失真可使泵浦源的焦点失真，从而增加等离子体大小、增加系统光展量并降低处理量。此外，激光维持等离子体光源内的光学组件还可引起由等离子体产生的照明中的像差，从而导致难以收集所产生的照明且借此降低处理量。
[0006]因此，期望提供一种解决上文所识别的缺点中的一或多者的系统及方法。

技术实现思路

[0007]揭示一种根据本专利技术的一或多个实施例的系统。在一个实施例中，所述系统包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。在另一实施例中，所述系统包含校正板，所述校正板经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性以便校正由所述系统的一或多个光学元件引入的所述泵浦照明的一或多个像差。在另一实施例中，所述系统包含经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积的反射器元件，其中所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明。
[0008]揭示一种根据本专利技术的一或多个实施例的系统。在一个实施例中，所述系统包含宽带照明源。所述宽带照明源可包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；校正板，其经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性；及反射器元件，其经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积。在另一实施例
中，所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明。在另一实施例中，所述系统包含检测器组合件。在另一实施例中，所述系统包含经配置以从所述宽带照明源收集所述宽带照明的至少一部分且将所述宽带照明引导到样本上的一组特性化光学器件。在另一实施例中，所述一组特性化光学器件进一步经配置以将辐射从所述样本引导到所述检测器组合件。
[0009]揭示一种根据本专利技术的一或多个实施例的系统。在一个实施例中，所述系统包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。在另一实施例中，所述系统包含经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性的第一校正板。在另一实施例中，所述系统包含经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积的反射器元件。在另一实施例中，所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明。在另一实施例中，所述系统包含经配置以接收所述宽带照明且校正所述宽带照明的一或多个像差的第二校正板，其中所述第二校正板包括非球面校正板。
[0010]揭示一种根据本专利技术的一或多个实施例的系统。在一个实施例中，所述系统包含宽带照明源。在另一实施例中，所述宽带照明源包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；第一校正板，其经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性；及反射器元件，其经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积。在另一实施例中，所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明。在另一实施例中，所述宽带照明源包含经配置以接收所述宽带照明且校正所述宽带照明的一或多个像差的第二校正板。在另一实施例中，所述第二校正板包括非球面校正板。在另一实施例中，所述系统包含检测器组合件。在另一实施例中，所述系统包含经配置以从所述宽带照明源收集所述宽带照明的至少一部分且将所述宽带照明引导到样本上的一组特性化光学器件，其中所述一组特性化光学器件进一步经配置以将辐射从所述样本引导到所述检测器组合件。
[0011]揭示一种根据本专利技术的一或多个实施例的方法。在一个实施例中，所述方法包含产生泵浦照明。在另一实施例中，所述方法包含用第一校正板校正所述泵浦照明。在另一实施例中，所述方法包含用反射器元件收集所述泵浦照明并将所述泵浦照明聚焦到等离子体灯内所围封的气体体积。在另一实施例中，所述方法包含在所述等离子体灯内所围封的所述气体体积内产生等离子体。在另一实施例中，所述方法包含用所述等离子体产生宽带照明。在另一实施例中，所述方法包含用第二校正板校正所述宽带照明的一或多个像差。
[0012]应理解，前文概述及下文详细描述两者仅为示范性及说明性且并不一定限制如所主张的本专利技术。并入说明书且构成说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且连同概述一起用于说明本专利技术的原理。
附图说明
[0013]所属领域的技术人员通过参考附图可更好理解本专利技术的许多优点，其中：
[0014]图1A说明根据本专利技术的一或多个实施例的具有灯室校正系统的等离子体源；
[0015]图1B说明根据本专利技术的一或多个实施例的具有灯室校正系统的等离子体源；
[0016]图2A及2B说明根据本专利技术的一或多个实施例的在具有圆柱形等离子体灯的系统中的椭圆反射器附近的泵激焦点轮廓横截面；
[0017]图3A及3B说明根据本专利技术的一或多个实施例的在具有圆柱形等离子体灯的系统中的椭圆反射器焦点处的泵激热轮廓横截面；
[0018]图4A及4B说明根据本专利技术的一或多个实施例的在具有圆柱形等离子体灯的系统中的椭圆反射器焦点处的收集热轮廓横截面；
[0019]图5A及5B说明根据本专利技术的一或多个实施例的在具有扁长球形等离子体灯的系统中的椭圆形反射器焦点处的泵激焦点轮廓横截面；
[0020]图6说明根据本专利技术的一或多个实施例的非球面校正板的表面轮廓图表；
[0021]图7A及7B说明根据本专利技术的一或多个实施例的在具有扁长球形等离子体灯的系统中的椭圆反射器焦点处的泵激焦点轮廓横截面；
[0022]图8本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种系统，其包括：泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；校正板，其经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性以便校正由所述系统的一或多个光学元件引入的所述泵浦照明的一或多个像差；及反射器元件，其经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积，其中所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述等离子体灯包括圆柱形等离子体灯。3.根据权利要求1所述的系统，其中所述反射器元件包括非球面反射器元件。4.根据权利要求3的系统，其中所述非球面反射器元件的表面轮廓通过等式描述。5.根据权利要求1所述的系统，其中所述等离子体灯包括大体上扁长球形等离子体灯。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述校正板包括经配置以校正由所述等离子体灯引入的所述泵浦照明的一或多个像差的非球面校正板。7.根据权利要求6的系统，其中所述校正板的表面轮廓通过等式描述。8.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导朝向所述反射器元件的补偿器板。9.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括一或多个光学元件及均质器，其中所述一或多个光学元件经配置以从所述等离子体灯接收所述宽带照明且将所述宽带照明引导到所述均质器。10.根据权利要求1所述的系统，其中所述泵浦源包括光纤激光泵浦源。11.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括经配置以接收所述宽带照明且将所述宽带照明引导到第二校正板的冷光镜。12.根据权利要求1所述的系统，其中所述校正板包括第一校正板及第二校正板，其中所述第一校正板包含一或多个奇数非球面校正项，且所述第二校正板包含一或多个圆柱形校正项。13.根据权利要求1所述的系统，其中所述校正板包含具有一或多个奇数非球面校正项及一或多个圆柱形校正项的表面。14.一种系统，其包括：宽带照明源，其中所述宽带照明源包括：泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；校正板，其经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性；及反射器元件，其经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积，其中所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明；检测器组合件；及
一组特性化光学器件，其经配置以从所述宽带照明源收集所述宽带照明的至少一部分且将所述宽带照明引导到样本上，其中所述一组特性化光学器件进一步经配置以将辐射从所述样本引导到所述检测器组合件。15.根据权利要求14所述的系统，其中所述等离子体灯包括圆柱形等离子体灯。16.根据权利要求14所述的系统，其中所述反射器元件包括非球面反射器元件。17.根据权利要求14所述的系统，其中所述反射器元件的表面轮廓通过等式描述。18.根据权利要求14所述的系统，其中所述等离子体灯包括大体上扁长球形等离子体灯。19.根据权利要求14所述的系统，其中所述校正板包括经配置以校正由所述等离子体灯引入的所述泵浦照明的一或多个像差的非球面校正板。20.根据权利要求19的系统，其中所述校正板的表面轮廓通过等式描述。21.根据权利要求14所述的系统，其进一步包括经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导朝向所述反射器元件的补偿器板。22.根据权利要求14所述的系统，其进一步包括一或多个光学元件及均质器，其中所述一或多个光学元件经配置以从所述等离子体灯接收所述宽带照明且将所述宽带照明引导到所述均质器。23.根据权利要求14所述的系统，其中所述泵浦源包括光纤激光泵浦源。24.根据权利要求14所述的系统，其进一步包括经配置以接收所述宽带照明且将所述宽带照明引导到均质器的冷光镜。25.根据权利要求14所述的系统，其中所述校正板包括第一校正板及第二校正板，其中所述第一校正板包含一或多个奇数非球面校正项，且所述第二校正板包含一或多个圆柱形校正项。26.根据权利要求14所述的系统，其中所述校正板包含具有一或多个奇数非球面校正项及一或多个圆柱形校正项的表面。27.一种系统，其包括：泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；第一校正板，其经配置以接收所述泵浦照明且修改所述泵浦照明的一或多个特性；反射器元件，其经配置以接收所述泵浦照明且将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积，其中所述等离子体灯经配置以维持所述气体体积内的等离子体以产生宽带照明；及第二校正板，其经配置以接收所述宽带照明且校正所述宽带照明的一或多个像差，其中所述第二校正板包括非球面校正板。28.根据权利要求27所述的系统，其中所述等离子体灯包括圆柱形等...

【专利技术属性】
技术研发人员：张时雨，M，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：