【技术实现步骤摘要】
LED发光检测系统及LED发光检测方法
[0001]本专利技术涉及LED领域,尤其涉及一种LED发光检测系统及LED发光检测方法。
技术介绍
[0002]MicroLED显示系统生产需要使用大批量生产的微型LED芯片。而大批量的LED在晶圆表面外延生长加工过程中,存在LED发光功率和发光光谱一致性问题,需要进行在线监测和记录。
[0003]传统LED生产工艺中的检测流程中,通过光谱仪等光检测装置和使用固定式滤光片检测LED发光功率和光谱一致性,LED发出的光线会透过固定式滤光片,从而只有特定波长的光线会照射在光检测器上,光检测器由此检测LED在该波长范围的发光功率。该波长范围检测完毕后,手动切换滤光片,继续检测下一波长,从而对LED的发光功率和发光光谱的一致性进行检测。
[0004]然而,常规LED检测设备对LED芯片的检测效率较低,难以完成大批量的LED芯片发光功率检测。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供一种LED发光检测系统及LED发光检测方法,能够快速对LED芯片进行发光功率检测
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LED发光检测系统,其特征在于,包括光检测装置、可调滤光器和成像镜头组,所述成像镜头组设置在所述可调滤光器和LED芯片阵列之间,所述光检测装置用于采集所述LED芯片阵列中各个LED芯片在通过所述可调滤光器和所述成像镜头组后的发光强度,所述可调滤光器具有位置可调的滤光区域。2.根据权利要求1所述的LED发光检测系统,其特征在于,所述可调滤光器的滤光区域对应至所述LED芯片阵列中的单个或部分LED芯片。3.根据权利要求2所述的LED发光检测系统,其特征在于,所述可调滤光器的滤光区域允许特定区域和/或特定角度的入射光入射,以使所述单个或部分LED芯片的光由所述滤光区域通过。4.根据权利要求1-3任一项所述的LED发光检测系统,其特征在于,所述光检测装置包括光功率计或者电荷耦合器件CCD摄像机。5.根据权利要求1-3任一项所述的LED发光检测系统,其特征在于,所述滤光区域具有可调的滤光光谱范围。6.根据权利要求1-3任一项所述的LED发光检测系统,其特征在于,还包括电检测组件,所述电检测组件和所述LED芯片电连接,用于检测所述LED芯片在发光时的电流和/或电压。7.一种LED发光检测方法,其特征在于,所述方法应用于权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘一帆,赵改娜,田文亚,
申请(专利权)人:成都辰显光电有限公司,
类型:发明
国别省市:
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