气体减弱设备制造技术

本公开内容的实施方式涉及气体减弱设备和流出物管理。这里描述的设备包括高压处理腔室和围绕处理腔室的容纳腔室。高压流体输送模块与高压处理腔室流体连通，且高压流体输送模块经构造以将高压流体输送到处理腔室。流出物管理模块包括用于降低流出物压力的消音器组件和用于处理流出物的多个洗涤器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体减弱设备
本公开内容的实施方式一般涉及用于半导体处理的设备。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于高压处理系统的气体减弱设备。
技术介绍
半导体制造领域利用各种工艺来制造结合到集成电路中的器件。随着器件复杂性的增加，集成电路制造商寻求改进的方法来制造高级(advanced)节点器件。例如，高级处理特性可包括利用更极端的工艺变量来实现高级器件制造。越来越多地研究在半导体制造中使用的工艺变量的一个实例是高压处理。在高于大气压的压力下的高压处理已经显示出有希望的材料调制特性。然而，当考虑执行高级节点器件制造工艺所需的必要控制程度时，通常缺乏适合于安全且有效地执行高压处理的设备。更具体地，传统的处理设备通常缺少用于诸如有毒气体及类似物的流出物的高压管理的合适的排出模块。因此，本领域需要改良的气体减弱(abatement)设备和管理高压流出物的方法。
技术实现思路
在一个实施方式中，提供了一种消音器(muffler)组件设备。该设备包括第一消音器，该第一消音器在其中界定第一容积，该第一消音器具有在第一端中形成的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种消音器组件设备，包括：/n第一消音器，所述第一消音器在其中界定第一容积，所述第一消音器具有在第一端中形成的第一端口与在第二端中形成的第二端口，所述第二端口与所述第一端口相对；/n第二消音器，所述第二消音器在其中界定第二容积，所述第二消音器具有在第三端中形成的第三端口与在所述第二消音器中形成的第四端口，所述第四端口与所述第三端口相对；/n第三消音器，所述第三消音器在其中界定第三容积，所述第三消音器具有在其中形成的第五端口与在其中形成的第六端口，所述第六端口与所述第五端口相对；/n第四消音器，所述第四消音器在其中界定第四容积，所述第四消音器具有在其中形成的第七端口与穿过第四端形成的第八端口...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180806 US 16/055,9291.一种消音器组件设备，包括：
第一消音器，所述第一消音器在其中界定第一容积，所述第一消音器具有在第一端中形成的第一端口与在第二端中形成的第二端口，所述第二端口与所述第一端口相对；
第二消音器，所述第二消音器在其中界定第二容积，所述第二消音器具有在第三端中形成的第三端口与在所述第二消音器中形成的第四端口，所述第四端口与所述第三端口相对；
第三消音器，所述第三消音器在其中界定第三容积，所述第三消音器具有在其中形成的第五端口与在其中形成的第六端口，所述第六端口与所述第五端口相对；
第四消音器，所述第四消音器在其中界定第四容积，所述第四消音器具有在其中形成的第七端口与穿过第四端形成的第八端口，所述第八四端口与所述第七端口相对；
第一导管，所述第一导管在所述第七端口和所述第五端口之间延伸；及
第二导管，所述第二导管在所述第四端口和所述第六端口之间延伸。


2.如权利要求1所述的设备，其中所述第一消音器、所述第二消音器、所述第三消音器和所述第四消音器中的各个具有相似的尺寸。


3.如权利要求2所述的设备，其中所述第一消音器、所述第二消音器、所述第三消音器和所述第四消音器中的各个的长度在60英寸至100英寸之间。


4.如权利要求2所述的设备，其中所述第一消音器、所述第二消音器、所述第三消音器和所述第四消音器中的各个是圆柱形的。


5.如权利要求4所述的设备，其中所述第一消音器、所述第二消音器、所述第三消音器和所述第四消音器中的各个的直径在20英寸至40英寸之间。


6.如权利要求1所述的设备，进一步包括：
第九端口，所述第九端口在所述第一消音器中形成且与所述第二端口相邻；
第十端口，所述第十端口在所述第二消音器中形成且与所述第四端口相邻；
第十一端口，所述第十一端口在所述第三消音器中形成且与所述第六端口相邻；及
第十二端口，所述第十二端口在所述第四消音器中形成且与所述第八端口相邻。


7.一种流出物管理设备，包括：
消音器组件，所述消音器组件包括：
第一消音器，所述第一消音器在其中界定第一容积，所述第一消音器具有在第一端中形成的第一端口与在第二端中形成的第二端口，所述第二端口与所述第一端口相对；
第二消音器，所述第二消音器在其中界定第二容积，所述第二消音器具有在第三端中形成的第三端口与在所述第二消音器中形成的第四端口，所述第四端口与所述第三端口相对；
第三消音器，所述第三消音器在其中界定第三容积，所述第三消音器具有在其中形成的第五端口与在其中形成的第六端口，所述第六端口与所述第五端口相对；
第四消音器，所述第四消音器在其中界定第四容积，所述第四消音器具有在其中形成的第七端口与穿过第四端形成的第八端口，所述第八端口与所述第七端口相对；
第一导管，所述第一导管在所述第七端口和所述第五端口之间延伸；及
第二导管，所述第二导管在所述第四端口和所述第六端口之间延伸；
第三导管，所述第三导管从所述第三端口延伸到阀；
第一洗涤器，所述第一洗涤器与所述阀流体连通；及<...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿迪卜·汗，梁奇伟，苏坦·马立克，斯里尼瓦斯·内曼尼，拉菲卡·斯马蒂，约瑟夫·恩济，约翰·奥海尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US