耐用的高性能线栅偏振器制造技术

一种用于制造线栅偏振器(WGP)的方法可以为WGP提供耐高温、坚固的线、抗氧化性和腐蚀防护。在一实施例中，该方法可以包括：(a)在底部保护层(14

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】耐用的高性能线栅偏振器专利
本申请一般涉及线栅偏振器。背景对改进的线栅偏振器(WGP)耐久性的需求正在增长。例如，WGP可能需要承受高温，诸如举例而言，在正伴随内部温度升高而逐渐变得更小和更亮的更新型计算机投影仪中。选择性吸收型WGP尤其易受因高温导致的损坏的影响，因为它们吸收很大百分比的入射光。此类WGP通常具有包括反射部分(例如，铝)和吸收部分(例如，硅)的线。吸收部分可吸收光的一种偏振的约80％-90％，并因而吸收超过总光量的40％。来自该吸收的光的大部分热传导到线的反射部分，其可熔化，因而破坏WGP。可见光WGP中的线可能是窄(约30nm)且高(约300nm)的，并因此是脆弱的。难以在不劣化WGP性能的情况下保护这些线免于倾倒。WGP的线的氧化可劣化或破坏WGP性能。如与防倾倒的保护一样，难以在防护机制不劣化WGP性能的情况下保护线免受氧化。保护WGP的线不受腐蚀也很重要。归因于线的纳米尺寸以及高性能要求，即使少量腐蚀也会使WGP不令人满意。难以在不使性能下降到最低标准以下的情况下提供足够的腐蚀防护。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造线栅偏振器(WGP)的方法，包括按以下顺序的以下步骤：/n在底部保护层上提供线的阵列以及在毗邻的线之间的通道，所述通道被充气；/n在所述线的最远离所述底部保护层的远端处施加顶部保护层，以使得所述顶部保护层：跨越所述通道，保持所述通道充气；形成其中毗邻的线上的所述顶部保护层接触的连续层；以及具有可渗透结，所述可渗透结包括在毗邻的线上的顶部保护层之间的可渗透结；随后/n施加上部阻挡层：通过所述可渗透结进入所述通道并施加到所述通道的表面上；以及施加在所述顶部保护层的最外表面上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181003 US 16/150,4781.一种制造线栅偏振器(WGP)的方法，包括按以下顺序的以下步骤：
在底部保护层上提供线的阵列以及在毗邻的线之间的通道，所述通道被充气；
在所述线的最远离所述底部保护层的远端处施加顶部保护层，以使得所述顶部保护层：跨越所述通道，保持所述通道充气；形成其中毗邻的线上的所述顶部保护层接触的连续层；以及具有可渗透结，所述可渗透结包括在毗邻的线上的顶部保护层之间的可渗透结；随后
施加上部阻挡层：通过所述可渗透结进入所述通道并施加到所述通道的表面上；以及施加在所述顶部保护层的最外表面上。


2.如权利要求1所述的方法，其中，所述底部保护层和所述顶部保护层各自具有：
≥2W/(m*K)的导热系数；
≥600℃的熔融温度；
≤10-21m2/s的氧弥散系数；
≤0.005g/L的水溶性；以及
跨可见光谱的折射率n≤2.2和消光系数k≤0.06。


3.如权利要求1所述的方法，其中：
所述顶部保护层的厚度≥10nm且≤1μm；以及
所述底部保护层的厚度≥300μm且≤5mm。


4.如权利要求1所述的方法，其中，所述上部阻挡层被施加以允许每个通道延伸超过所述线的最远离所述底部保护层的远端，进入所述顶部保护层达深...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·S·尼尔森，M·C·乔治，S·奥格登，B·鲍尔斯，
申请(专利权)人：莫克斯泰克公司，
类型：发明
国别省市：美国;US