波导伸缩偏转调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微波加热技术领域，提供了一种波导伸缩偏转调节装置。该波导伸缩偏转调节装置包括波纹管、第一密封板、调节板、伸缩单元和偏转单元，波纹管用于套设在波导的外周；第一密封板与波纹管的第一端密封连接，波导与第一密封板滑动配合；调节板上设置有第二密封板，第二密封板与波纹管的第二端密封连接；伸缩单元包括设置在第一密封板上的伸缩装置和与伸缩装置连接的托板；偏转单元设置在托板上，用于带动调节板在托板上移动，以使波导相对于第一密封板摆动。本申请通过伸缩单元与偏转单元实现波导在真空条件下伸缩和摆动，有效调整微波发射口与真空室的相对距离与微波注入角度，达到调节微波与等离子体的耦合以及驱动效率的目的。

【技术实现步骤摘要】
波导伸缩偏转调节装置
本专利技术涉及微波加热
，具体涉及一种波导伸缩偏转调节装置。
技术介绍
电子回旋共振加热系统主要由电源柜、微波波源输出柜、传输线、天线和支撑结构组成。其中传输线的主要组成部分是矩形波导，其功能是实现微波的传输，将微波沿着一定路径从波源输送到天线中。天线的主要功能是实现微波的发射，将微波发射到后续连接的真空室中，满足波与真空室内的等离子体耦合方面的要求。为满足装置实验的需求，需要根据实验条件，改变天线与等离子体之间的距离，从而调节波与等离子体的耦合，这要求天线具有径向方向的可伸缩量，该处的径向方向指微波的传输方向。目前，通过外加波纹管并且配合第一丝杆，来实现波纹管的伸缩，将矩形波导和波纹管连接在一起，从而带动矩形波导伸缩，这种伸缩调节方式使用比较广泛，仅限于对波导管的长度进行伸缩调节，从而调节矩形波导伸入真空室的长度。然而，在加热过程中同样要求微波注入角度在环向方向具有一定的可调区间，该处的环向方向是指垂直于微波传输的水平方向，从而改变微波驱动等离子体电流的效率，这要求天线在水平方向有一定的偏向调节功能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波导伸缩偏转调节装置，其特征在于，包括：/n波纹管，用于套设在波导的外周，所述波导与所述波纹管的第二端密封连接；/n第一密封板，设置在所述波纹管的第一端，所述第一密封板的一侧与所述波纹管的第一端密封连接，所述第一密封板的另一侧与真空室的端口连接，所述波导与所述第一密封板滑动配合；/n调节板，设置在所述波纹管的第二端，所述调节板上设置有第二密封板，所述波导穿设于所述第二密封板，所述第二密封板与所述波纹管的第二端密封连接；/n伸缩单元，包括设置在所述第一密封板上的伸缩装置和与所述伸缩装置连接的托板，所述伸缩装置的伸缩方向与所述波导的长度方向相适应；/n偏转单元，设置在所述托板上，用于带动与...

【技术特征摘要】
1.一种波导伸缩偏转调节装置，其特征在于，包括：
波纹管，用于套设在波导的外周，所述波导与所述波纹管的第二端密封连接；
第一密封板，设置在所述波纹管的第一端，所述第一密封板的一侧与所述波纹管的第一端密封连接，所述第一密封板的另一侧与真空室的端口连接，所述波导与所述第一密封板滑动配合；
调节板，设置在所述波纹管的第二端，所述调节板上设置有第二密封板，所述波导穿设于所述第二密封板，所述第二密封板与所述波纹管的第二端密封连接；
伸缩单元，包括设置在所述第一密封板上的伸缩装置和与所述伸缩装置连接的托板，所述伸缩装置的伸缩方向与所述波导的长度方向相适应；
偏转单元，设置在所述托板上，用于带动与所述偏转单元固定连接的所述调节板相对于所述第一密封板移动，以使所述波导相对于所述第一密封板摆动。


2.根据权利要求1所述的波导伸缩偏转调节装置，其特征在于，所述第一密封板上设有安装孔，所述安装孔内设置有限位框，所述波导与所述限位框滑动配合，所述安装孔的外周设有法兰板，所述波纹管的第一端与所述法兰板密封连接。


3.根据权利要求2所述的波导伸缩偏转调节装置，其特征在于，所述安装孔内沿着所述调节板相对于所述第一密封板的移动方向设有两个轴托，所述限位框活动设置在两个所述轴托之间。


4.根据权利要求1所述的波导伸缩偏转调节装置，其特征在于，所述伸缩装置包括：
安装座，设置在所述第一密封板的侧壁上；
第一丝杆，其设置方向与所述波导的长度方向相适应，且所述第一丝杆转动设置在所述安装座上；

【专利技术属性】
技术研发人员：马放，宋绍栋，
申请(专利权)人：新奥科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13