一种高温炉铜电极冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高温炉铜电极冷却装置，包括进水管、出水管、连接座、报警检测装置、流量调节电磁阀和PLC控制器；将连接座与空腔铜电极连接，连接座上设有进水孔，进水管与进水孔连接，出水管贯穿连接座后伸入铜电极的空腔底部，出水管上设置有所述的报警检测装置，进水管上设置有所述的流量调节电磁阀，报警检测装置和流量调节电磁阀分别与PLC控制器连接。本实用新型专利技术采用冷却水在空腔铜电极内部进行水循环的方式进行降温冷却，冷却水在铜电极内部不间断持续循环，与铜电极接触面广，可高效地带走铜电极产生的热量，相比传统冷却方式，该冷却装置的冷却效果大大提高。

【技术实现步骤摘要】
一种高温炉铜电极冷却装置
本技术涉及一种高温炉铜电极冷却装置，尤其涉及一种CVD炉内铜电极的冷却装置，属于化学气相沉积

技术介绍
目前在高温炉使用过程中，铜电极负责给炉内发热部件供电，由于受输出电流较大(可达到2000A)、炉内高温传导等方面的影响，造成铜电极处温度较高，超出铜的正常温度，需要进行冷却降温处理。中国专利文献CN202430009U提供了一种石墨化炉电极冷却装置，该冷却装置包括电极和冷却装置，所述冷却装置包括穿过电极的冷却水管和电极外部的喷淋水管，冷却水管和喷淋水管的出水口连接循环水池。本技术的冷却水管直接穿过石墨化炉的电极，同时使用电极外部的喷淋水管对电极进行冷却，冷却效果好，其中的冷却水可循环使用，节水效果好。本技术结构简单，加工方便，成本低，有利于节能降耗，能实现石墨化炉的连续生产，生产效率高，值得推广。但现阶段铜电极冷却设计中，普遍利用外围水套降温的方式，用水量大，浪费水资源，且降温效果差，极易发生电极受热损坏的情况，因此需要一种全新的降温结构，提高铜电极降温效果，解决铜电极受热变形、熔化、损坏的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温炉铜电极冷却装置，其特征在于，包括进水管、出水管、连接座、报警检测装置、流量调节电磁阀和PLC控制器；/n将连接座与空腔铜电极连接，连接座上设有进水孔，进水管与进水孔连接，出水管贯穿连接座后伸入铜电极的空腔底部，出水管上设置有所述的报警检测装置，进水管上设置有所述的流量调节电磁阀，报警检测装置和流量调节电磁阀分别与PLC控制器连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高温炉铜电极冷却装置，其特征在于，包括进水管、出水管、连接座、报警检测装置、流量调节电磁阀和PLC控制器；
将连接座与空腔铜电极连接，连接座上设有进水孔，进水管与进水孔连接，出水管贯穿连接座后伸入铜电极的空腔底部，出水管上设置有所述的报警检测装置，进水管上设置有所述的流量调节电磁阀，报警检测装置和流量调节电磁阀分别与PLC控制器连接。


2.如权利要求1所述的高温炉铜电极冷却装置，其特征在于，所述连接座与空腔铜电极一端螺纹连接。


3.如权利要求1所述的高温炉铜电极冷却装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘汝强，王殿春，宋琪，周清波，
申请(专利权)人：山东国晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37