一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器制造技术

本发明专利技术公开了一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器，包括第一级偏振旋转器和第二级偏振旋转器，第一级偏振旋转器包括第一弯曲波导，第二级偏振旋转器包括第二弯曲波导。所述的第一弯曲波导和第二弯曲波导均由两根宽度渐变的欧拉弯曲波导和一根圆弧波导构成，第一宽度渐变的欧拉弯曲波导，圆弧波导，第二宽度渐变的欧拉弯曲波导依次首尾相连。第一偏振旋转器中的第二宽度渐变的欧拉弯曲波导与第二偏振旋转器中的第一宽度渐变的欧拉弯曲波导相连。欧拉弯曲波导宽度渐变随着弯曲角度线性渐变。本发明专利技术利用宽度渐变的欧拉弯曲波导可以实现信号光的光场模式从直波导模式到弯曲波导模式的无损转换，从而使得整个偏振旋转器的损耗降低。

【技术实现步骤摘要】
一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器
本专利技术属于光通信领域，具体涉及一种基于级联欧拉弯曲和圆弧弯曲的铌酸锂偏振旋转器。
技术介绍
随着具有高性能电光响应的集成铌酸锂平台迅速发展，人们对于集成偏振控制类器件的需求日益提高。偏振分束器(PolarizationBeamSplitter,PBS)、起偏器(Polarizer)和偏振旋转器(PolarizationRotator,PR)的出现使得片上偏振调节变得简单。偏振分束器和起偏器都可以实现波导单偏振工作，但无法对波导偏振进行旋转。偏振旋转器的出现很好地解决了偏振旋转问题。传统的铌酸锂器件需要通过钛扩散(Titanium-Diffusion,TiD)或质子交换(Proton-Exchange,PE)进行制备，造成器件尺寸巨大，成本高昂。高效的氩离子刻蚀铌酸锂波导技术的出现实现了低损、紧凑的铌酸锂波导制备。然而铌酸锂因其各项异性的材料特性以及刻蚀波导侧壁倾斜角度大等问题使得集成型偏振控制器件的制备存在挑战。基于表面等离子体的铌酸锂波导PR可以高效地实现偏振旋转，然而金属材料固有的欧姆损耗使得本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器，其特征在于，包括第一级偏振旋转器和第二级偏振旋转器，所述的第一级偏振旋转器包括第一弯曲波导(I)，第二级偏振旋转器包括第二弯曲波导(II)；所述的第一弯曲波导和第二弯曲波导均由两根宽度渐变的欧拉弯曲波导即第一宽度渐变的欧拉弯曲波导，第二宽度渐变的欧拉弯曲波导和一根圆弧波导构成，第一宽度渐变的欧拉弯曲波导(i21)，圆弧波导(i11)，第二宽度渐变的欧拉弯曲波导(i22)依次首尾相连；第一偏振旋转器(I)中的第二宽度渐变的欧拉弯曲波导(122)与第二偏振旋转器(II)中的第一宽度渐变的欧拉弯曲波导(221)相连；欧拉弯曲波导宽度渐变随着弯曲角度线性渐变。/...

【技术特征摘要】
1.一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器，其特征在于，包括第一级偏振旋转器和第二级偏振旋转器，所述的第一级偏振旋转器包括第一弯曲波导(I)，第二级偏振旋转器包括第二弯曲波导(II)；所述的第一弯曲波导和第二弯曲波导均由两根宽度渐变的欧拉弯曲波导即第一宽度渐变的欧拉弯曲波导，第二宽度渐变的欧拉弯曲波导和一根圆弧波导构成，第一宽度渐变的欧拉弯曲波导(i21)，圆弧波导(i11)，第二宽度渐变的欧拉弯曲波导(i22)依次首尾相连；第一偏振旋转器(I)中的第二宽度渐变的欧拉弯曲波导(122)与第二偏振旋转器(II)中的第一宽度渐变的欧拉弯曲波导(221)相连；欧拉弯曲波导宽度渐变随着弯曲角度线性渐变。


2.根据权利要求1所述的一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器，其特征在于，偏振旋转器的输入端设置有输入波导(1)，输出端设置有输出波导(2)；
输入波导(1)与第一弯曲波导(I)中的第一宽度渐变的欧拉弯曲波导(121)相连；第二弯曲波导(II)中第二宽度渐变的欧拉弯曲波导(222)与输出波导(2)相连。


3.根据权利要求2所述的一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器，其特征在于，输入波导(1)和输出波导(2)为深刻蚀铌酸锂条形波导。


4.根据权利要求3所述的一种级联弯曲波导型铌酸锂偏振旋转器，其特征在于，优选地，输入波导(1)、输出波导(2)、第一弯曲...

【专利技术属性】
技术研发人员：时尧成，刘卫喜，刘柳，戴道锌，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33