基于纳米孔阵列结构的滤光片制造技术

本发明专利技术公开了一种基于纳米孔阵列结构的滤光片，主要解决现有滤光片结构复杂、加工难度大、稳定性低，及对不同偏振方向的入射光不能获得相同透射率的问题。其包括：基底(1)，金属膜(2)以及纳米孔阵列(3)，金属膜(2)位于基底(1)的上面，该纳米孔阵列(3)由圆孔(31)和正菱形孔(32)，并按行或列以周期P交错排列刻蚀在金属膜(2)的表面，且圆孔(31)所在行和列均与正菱形孔(32)所在行和列间隔半个周期，使任意一个孔的中心到其周围相邻的四个孔的中心距离相同，通过改变周期P，实现对滤光片透射率的调控。本发明专利技术结构简单，易于制造，稳定性高，能获得不同偏振方向入射光照射下的相同透射率，可用于光谱重建。

【技术实现步骤摘要】
基于纳米孔阵列结构的滤光片
本专利技术属于微纳光学器件
，具体涉及一种滤光片，可用于光谱重建。
技术介绍
物质的光谱被称为物质的“指纹”，在资源勘探，农作物估产，疾病诊断等领域都有广泛的应用。但是，当前获取光谱的分光方法主要有棱镜分光，光栅分光和干涉仪分光，这些分光方法大都需要庞大的设备和复杂的光路，严重制约了光谱在现场检测方面的应用。当前，一种基于透射率调控的光谱重建新方法被提出，该方法是将一组设计好具有确定光谱透射率的滤光片置于一组探测器之前，然后通过后处理即可实现对光谱的重建。这种方法原理简单，易于实现，且不需要复杂的光路，可加装于现有的普通光学成像设备上，为廉价、小型化的光谱仪设计提供新的技术途径，其核心是设计具有已知光谱透射率的滤光片。为了设计满足基于透射率调控的光谱重建方法要求的滤光片，需要该滤光片具有透射率可调控、稳定性高、易于制造的特点，同时为了进一步缩小仪器的尺寸，滤光片的尺寸应该尽可能小，且为了提高光谱重建质量，滤光片需要对任意方向的偏振光均具有相同的透射率特性。近年来，针对滤光片的设计主要包括以下多种研究：<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于纳米孔阵列结构的滤光片，包括基底(1)，覆盖于基底(1)表面的金属膜(2)以及刻蚀在金属膜(2)表面的纳米孔阵列(3)，其特征在于：纳米孔阵列(3)由圆孔(31)和正菱形孔(32)按行或列以周期P交错排列构成，使任意一个孔的中心到其周围相邻的四个孔的中心距离相同，通过改变周期P，实现对滤光片透射率的调控。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于纳米孔阵列结构的滤光片，包括基底(1)，覆盖于基底(1)表面的金属膜(2)以及刻蚀在金属膜(2)表面的纳米孔阵列(3)，其特征在于：纳米孔阵列(3)由圆孔(31)和正菱形孔(32)按行或列以周期P交错排列构成，使任意一个孔的中心到其周围相邻的四个孔的中心距离相同，通过改变周期P，实现对滤光片透射率的调控。


2.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于：所述圆孔(31)和正菱形孔(32)按行或列以周期P交错排列，是将圆孔(31)和正菱形孔(32)分别按正方形排列，圆孔(31)所在行与正菱形孔(32)所在行间隔半个周期，圆孔(31)所在列与正菱形孔(32)所在列间隔半个周期。


3.根据权利要求1所述的滤光...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘德连，叶云龙，张建奇，王昱程，马向超，解尧，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61