【技术实现步骤摘要】
照明系统及扫描设备
本申请涉及检测
,特别涉及一种照明系统及扫描设备。
技术介绍
在检测工件(例如晶圆)上小尺寸颗粒时,往往在激光照射颗粒表面后,通过晶元表面颗粒对光的散射,来判断该区域中存在的颗粒数。颗粒的尺寸越小,散射光的强度下降程度越高,检测系统越难以检测到颗粒散射的光信号。因此,往往需要较高功率的激光器,以使照明光强弥补由于粒径减小导致的光信号降低。但是,由于激光器的总的功率都是有限的,通过增大激光器的功率来增加光强会有局限。因此,如何提高光能利用率以增加照明光强是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
本申请实施方式提供一种照明系统及扫描设备。本申请实施方式的照明系统包括第一光学组件及第二光学组件,所述第一光学组件用于将物侧的光线汇聚至工件形成第一光斑,所述第二光学组件用于改变反射光线的传输方向,以使所述反射光线投射至所述工件形成第二光斑,所述反射光线由所述工件反射所述第一光斑形成,所述第一光斑与所述第二光斑至少部分重合。在某些实施方式中,所述第一光斑与所述第二光斑完 ...
【技术保护点】
1.一种照明系统,其特征在于,所述照明系统包括第一光学组件及第二光学组件,所述第一光学组件用于将物侧的光线汇聚至工件形成第一光斑,所述第二光学组件用于改变反射光线的传输方向,以使所述反射光线投射至所述工件形成第二光斑,所述反射光线由所述工件反射所述第一光斑形成,所述第一光斑与所述第二光斑至少部分重合。/n
【技术特征摘要】
1.一种照明系统,其特征在于,所述照明系统包括第一光学组件及第二光学组件,所述第一光学组件用于将物侧的光线汇聚至工件形成第一光斑,所述第二光学组件用于改变反射光线的传输方向,以使所述反射光线投射至所述工件形成第二光斑,所述反射光线由所述工件反射所述第一光斑形成,所述第一光斑与所述第二光斑至少部分重合。
2.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述第一光斑与所述第二光斑完全重合。
3.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述第一光斑与所述第二光斑的光强差值在预设的差值范围内。
4.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,
所述第一光学组件沿第一光路朝所述工件投射光线,所述第一光路的光轴与所述工件的法线之间的夹角为第一角度,所述第一角度的取值范围为(0°,180°);和/或
所述第二光学组件沿第二光路朝所述工件投射光线,所述第二光路的光轴与所述工件的法线之间的夹角为第二角度,所述第二角度的取值范围为(0°,180°)。
5.根据权利要求4所述的照明系统,其特征在于,所述第二光学组件包括凹面反射件,所述凹面反射件用于接收所述反射光线,并沿所述第二光路朝所述工件投射...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈鲁,陈龙超,黄有为,张嵩,
申请(专利权)人:深圳中科飞测科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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