一种MEMS陀螺仪自动化测试设备制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS陀螺仪自动化测试设备，包括：温箱，所述温箱内设有测试台；设置在所述测试台上的若干个待测MEMS陀螺仪；工控机，其与所述温箱以及所述测试台连接；所述工控机用于向所述温箱发送温度调整命令，所述温箱根据接收到的所述温度调整命令进行温度调整，直至所述温箱内的温度达到预设值；所述工控机用于获取各个通道上设置的所述待测MEMS陀螺仪的关键信息，所述关键信息包括每一所述待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数信息，并将所述关键信息进行处理得到包含所有待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数的数据文件。本发明专利技术可对多个MEMS陀螺仪的输出信号进行整合采集及简单地信号处理，减少了陀螺产品的出货不良率。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS陀螺仪自动化测试设备
本专利技术涉及陀螺测试
，特别涉及一种MEMS陀螺仪自动化测试设备。
技术介绍
MEMS陀螺仪是一种低成本、轻小型的新型陀螺，主要用于消费类和其它低端商业领域，目前已经在高端惯性系统市场完成首秀，但其精度指标及其稳定性距一些工业和战术级的实际应用还有一定差距。MEMS陀螺仪正在不断的进行改进，通过相关的技术攻关，可以利用其价格优势和自身特点，作为新一代的陀螺产品，在短期内占领市场。Q值和频差是制约陀螺仪精度的关键因数，陀螺表头的Q值直接制约陀螺的最终精度水平，频差源于原材料误差及加工工艺误差直接影响陀螺的随机漂移，降低陀螺精度，外部环境改变时，陀螺仪温度变化会引起陀螺表头力学参数和阻尼系数的变化，影响陀螺精度。传统的陀螺仪性能测试都是将单个陀螺产品在温箱内，通过人工设置不同温度梯度，然后通过另外的信号激励采集设备进行数据采集和处理，效率低、耗时长。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种MEMS陀螺仪自动化测试设备实现温度可控的多个MEMS陀螺芯片输出信号整合采集及简单地信号本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS陀螺仪自动化测试设备，其特征在于，包括：/n温箱，所述温箱内设有测试台；/n设置在所述测试台上的若干个待测MEMS陀螺仪；每一所述待测MEMS陀螺仪对应占用所述测试台的一条测试通道；/n工控机，其与所述温箱以及所述测试台连接；/n所述工控机用于向所述温箱发送温度调整命令，所述温箱根据接收到的所述温度调整命令进行温度调整，直至所述温箱内的温度达到预设值；/n所述工控机用于获取各个通道上设置的所述待测MEMS陀螺仪的关键信息，所述关键信息包括每一所述待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数信息，并将所述关键信息进行处理得到包含所有待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数的数据文件。...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS陀螺仪自动化测试设备，其特征在于，包括：
温箱，所述温箱内设有测试台；
设置在所述测试台上的若干个待测MEMS陀螺仪；每一所述待测MEMS陀螺仪对应占用所述测试台的一条测试通道；
工控机，其与所述温箱以及所述测试台连接；
所述工控机用于向所述温箱发送温度调整命令，所述温箱根据接收到的所述温度调整命令进行温度调整，直至所述温箱内的温度达到预设值；
所述工控机用于获取各个通道上设置的所述待测MEMS陀螺仪的关键信息，所述关键信息包括每一所述待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数信息，并将所述关键信息进行处理得到包含所有待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数的数据文件。


2.如权利要求1所述的MEMS陀螺仪自动化测试设备，其特征在于，还包括：若干个驱动测试电路，每一所述驱动测试电路分别对应与一所述待测MEMS陀螺仪连接；
每一所述驱动测试电路包括：依次连接的C/V转换电路、差分放大电路、A/D转换模块和FPGA数据处理模块；
以及D/A转换模块和高压驱动电路；
所述C/V转换电路的输入端对应与所述待测MEMS陀螺仪的输出端连接；
所述FPGA数据处理模块的输出端与所述工控机连接；
所述D/A转换模块的输入端与所述A/D转换模块连接，其输出端与所述高压驱动电路的输入端连接；
所述高压驱动电路的输入端与所述待测MEMS陀螺仪的输入端连接，形成闭环控制系统。

【专利技术属性】
技术研发人员：赵万良，包旭光，成宇翔，段杰，赵思晗，李绍良，杨浩，
申请(专利权)人：上海航天控制技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31