【技术实现步骤摘要】
一种低温恒温液循环装置及其除水方法
本专利技术属于低温恒温
，具体地涉及一种低温恒温液循环装置及其除水方法。
技术介绍
在典型的半导体制程工艺中，制品需要在工艺设备中完成关键工艺的处理过程。不同的工艺设备需要不同的温度环境(例如高等离子体密度刻蚀工艺，通常需要-10～-20摄氏度的低温环境，甚至有些极少数工艺需要-100摄氏度的严苛环境)，其中，工艺设备的低温环境通常是由低温恒温液循环装置连通工艺设备中控温液管道提供。如图1所示，现有低温恒温液循环装置主要由循环液回路、冷冻回路和冷却水回路等构成。所述循环液回路用于通过循环泵(其依靠单级离心泵控制循环液的流量大小，维持循环系统的压力要求，在稳定工作条件下，泵的流量变化极小，其作用是把控温液管道中的液体循环起来)向温度受控装置输出循环液，循环液在冷却或加热温度受控装置后，经过热交换器返回储液箱的主罐(通常的运转不会使用辅罐，其用于盛装加入的循环液，并可通过使用内部泵将循环液从辅罐转移至主罐中)。所述冷冻回路一方面用于相对设定循环液温度较低的场合，打开膨胀阀(a)，将低温的...
【技术保护点】
1.一种低温恒温液循环装置，其特征在于：包括有循环液储箱(1)、循环泵(2)、输出接头(3)、回流接头(4)、第一常开型截止阀(5)、冰晶过滤器(6)、第二常开型截止阀(7)、常闭型截止阀(8)、换热器(9)、加热器(10)、第一阀门(11)、第二阀门(12)、排气接头和第一氮气接头，其中，所述加热器(10)用于加热所述冰晶过滤器(6)；/n所述循环泵(2)用于将所述循环液储箱(1)中的循环液加压送入所述输出接头(3)，所述输出接头(3)用于对接温度受控装置中控温液管道的一端，所述回流接头(4)用于对接所述控温液管道的另一端；/n所述回流接头(4)分别连通所述第一常开型截止...
【技术特征摘要】
1.一种低温恒温液循环装置，其特征在于：包括有循环液储箱(1)、循环泵(2)、输出接头(3)、回流接头(4)、第一常开型截止阀(5)、冰晶过滤器(6)、第二常开型截止阀(7)、常闭型截止阀(8)、换热器(9)、加热器(10)、第一阀门(11)、第二阀门(12)、排气接头和第一氮气接头，其中，所述加热器(10)用于加热所述冰晶过滤器(6)；
所述循环泵(2)用于将所述循环液储箱(1)中的循环液加压送入所述输出接头(3)，所述输出接头(3)用于对接温度受控装置中控温液管道的一端，所述回流接头(4)用于对接所述控温液管道的另一端；
所述回流接头(4)分别连通所述第一常开型截止阀(5)的一端和所述常闭型截止阀(8)的一端，所述第一常开型截止阀(5)的另一端连通所述冰晶过滤器(6)的一端，所述冰晶过滤器(6)的另一端连通所述第二常开型截止阀(7)的一端，所述第二常开型截止阀(7)的另一端和所述常闭型截止阀(8)的另一端分别连通所述换热器(9)的循环液输入端；
所述换热器(9)位于所述循环液储箱(1)的内部且用于对回流的循环液进行换热，以便使循环液恒温；
所述冰晶过滤器(6)还分别连通所述第一阀门(11)的一端和所述第二阀门(12)的一端，所述第一阀门(11)的另一端连通所述排气接头，所述第二阀门(12)的另一端连通所述第一氮气接头。
2.如权利要求1所述的低温恒温液循环装置，其特征在于：还包括有加液盖(15)、泄压阀(16)、第二氮气接头(17)、水汽过滤器(18)和第一调压阀(19)，其中，所述加液盖(15)用于打开/封闭所述循环液储箱(1)的加液口；
所述泄压阀(16)位于所述循环液储箱(1)的上方且连通所述循环液储箱(1)的箱内空腔顶部；
所述第二氮气接头(17)、所述水汽过滤器(18)、所述第一调压阀(19)和所述循环液储箱(1)的箱内空腔顶部依次连通。
3.如权利要求2所述的低温恒温液循环装置，其特征在于：还包括有第二调压阀(20)和第一逆止阀(21)；
所述第二氮气接头(17)、所述第二调压阀(20)、所述第一逆止阀(21)和所述输出接头(3)依次连通。
4.如权利要求3所述的低温恒温液循环装置，其特征在于：还包括有第二逆止阀(22)，其中，所述第二逆止阀(22)的输入端连通所述循环泵(2)的输出端，所述第二逆止阀(22)的输出端和所述第一逆止阀(21)的输出端分别连通所述输出接头(3)。
5.如权利要求1所述的低温恒温液循环装置，其特征在于：还包括有内部泵(23)和循环液主罐(24)，其中，所述循环液主罐(24)位于所述循环液储箱(1)的内部；
所述内部泵(23)用于将循环液从所述循环液储箱(1)的箱内空腔底...
【专利技术属性】
技术研发人员：许文泽，邱勇，
申请(专利权)人：上海谙邦半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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