一种金属氧化物涂层辅助激光正面刻蚀蓝宝石的加工方法技术

本发明专利技术属于特种加工的应用领域，具体为一种金属氧化物涂层辅助激光正面刻蚀蓝宝石的加工方法，其能够实现连续且刻蚀率较高的刻蚀，其包括以下步骤：（1）确定金属氧化物种类、颗粒直径以及涂层的厚度、成分配比；（2）在蓝宝石表面涂抹均匀的金属氧化物涂层；（3）确定激光系统的工艺参数；（4）确定激光扫描路径和扫描速度；（5）激光按照扫描路径进行刻蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种金属氧化物涂层辅助激光正面刻蚀蓝宝石的加工方法
本专利技术属于特种加工的应用领域，具体为一种金属氧化物涂层辅助激光正面刻蚀蓝宝石的加工方法。
技术介绍
蓝宝石有着优异的物理化学性能，是微电子、光电子、光学以及光纤行业的重要材料。蓝宝石晶体具有透光性好，在紫外红外波段透过率85%以上，熔点高，硬度高，热传导性良好，化学性能稳定等特性，在超导、光电子、微电子、国防等领域具有广泛的应用。随着现代科学技术的发展，对透明晶体蓝宝石的加工精度和表面质量都有非常高的要求。由于蓝宝石属于硬脆材料，在传统机械加工过程中容易出现裂纹、崩边等现象。又因为蓝宝石化学稳定性较好，使得化学加工方法对其难以加工。其加工效率低，加工成本高，加工精度低，很难实现自动化，限制了透明晶体加工技术的发展。激光刻蚀技术是一种无接触、无切削力、热影响小的加工方法，它具有加工质量优、效率高、加工范围广、经济效益好等优点。可用于硬脆性材料的微加工，而且还能与数控技术相结合，能够实现柔性制造，符合未来发展趋势。激光通过透镜聚焦后，可形成直径几微米的激光束，达到很高的能量密度，与被加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属氧化物涂层辅助激光正面刻蚀蓝宝石的加工方法，其特征在于，其包括以下步骤：/n（1）确定金属氧化物种类、颗粒直径以及涂层的厚度、成分配比；/n（2）在蓝宝石表面涂抹均匀的金属氧化物涂层；/n（3）确定激光系统的工艺参数；/n（4）确定激光扫描路径和扫描速度；/n（5）激光按照扫描路径进行刻蚀。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属氧化物涂层辅助激光正面刻蚀蓝宝石的加工方法，其特征在于，其包括以下步骤：
（1）确定金属氧化物种类、颗粒直径以及涂层的厚度、成分配比；
（2）在蓝宝石表面涂抹均匀的金属氧化物涂层；
（3）确定激光系统的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨富理，袁根福，李浩，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32