挡板阀门及具有其的真空机组制造技术

本实用新型专利技术涉及真空技术领域，提出了一种挡板阀门及具有其的真空机组。挡板阀门包括主体、法兰、阀板、冷却管以及挡板组件，主体具有腔体；法兰与主体相连接，法兰具有气流通道；阀板可移动地设置在腔体内，以具有阻挡腔体与气流通道相连通的第一位置，和释放腔体与气流通道相连通的第二位置；冷却管的至少部分位于气流通道内；挡板组件设置在冷却管上，且位于气流通道内，挡板组件具有供气体通过的间隙。连接有挡板组件的冷却管设置在法兰上，且使得冷却管以及挡板组件均位于气流通道内，不仅能够保证挡板组件对油蒸汽分子的阻挡，避免了挡板组件占用外部空间，且避免了挡板组件与外部泵体的直接连接，不仅成本降低，且密封性能也会进一步提升。

【技术实现步骤摘要】
挡板阀门及具有其的真空机组
本技术涉及真空
，尤其涉及一种挡板阀门及具有其的真空机组。
技术介绍
相关技术中，在以油扩散泵或油增压泵为主抽泵的高真空机组上，需要配置一个与主泵口径相同或相近的高真空气动挡板阀作为主抽阀。由于油扩散泵和油增压泵工作前需要预热，在预热阶段，扩散泵需要与真空室断开连接。主抽阀的作用就是在扩散泵或油增压泵预热阶段关闭，切断其与真空室的连接，待预热结束，达到工作条件后才开启。油扩散泵和油增压泵是利用大分子的油蒸汽通过喷咀自上而下高速喷出，将被抽真空室的气体分子向泵出口压缩，从而实现抽真空作用的。由于油蒸汽喷射后会与泵腔内壁及泵内元件发生碰撞，部分油蒸汽分子会反弹至进气口处，并扩散到真空室内，造成返油现象。为避免返油现象，油扩散泵或油增压泵与主抽阀之间，通常需要设置一个水冷挡板来捕集反弹的油分子。目前，气动挡板阀和水冷挡板均为分体式，即阀归阀，挡板归挡板，二者通过螺栓与扩散泵连接。这种结构各自有各自的法兰和密封槽，耗材多，不仅生产成本高，装配不方便。二者之间由于结构上各自独立，存在2个密封面，增加了泄漏本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种挡板阀门，其特征在于，包括：/n主体(10)，所述主体(10)具有腔体(11)；/n法兰(20)，所述法兰(20)与所述主体(10)相连接，所述法兰(20)具有气流通道(21)；/n阀板(30)，所述阀板(30)可移动地设置在所述腔体(11)内，以具有阻挡所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第一位置，和释放所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第二位置；/n冷却管(40)，所述冷却管(40)设置在所述法兰(20)上，且所述冷却管(40)的至少部分位于所述气流通道(21)内；/n挡板组件(50)，所述挡板组件(50)设置在所述冷却管(40)上，且位于所述气流通道(21)...

【技术特征摘要】
1.一种挡板阀门，其特征在于，包括：
主体(10)，所述主体(10)具有腔体(11)；
法兰(20)，所述法兰(20)与所述主体(10)相连接，所述法兰(20)具有气流通道(21)；
阀板(30)，所述阀板(30)可移动地设置在所述腔体(11)内，以具有阻挡所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第一位置，和释放所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第二位置；
冷却管(40)，所述冷却管(40)设置在所述法兰(20)上，且所述冷却管(40)的至少部分位于所述气流通道(21)内；
挡板组件(50)，所述挡板组件(50)设置在所述冷却管(40)上，且位于所述气流通道(21)内，所述挡板组件(50)具有供气体通过的间隙(51)。


2.根据权利要求1所述的挡板阀门，其特征在于，所述挡板组件(50)包括多个阻挡部(52)，多个所述阻挡部(52)间隔地设置在所述冷却管(40)上，且相邻两个所述阻挡部(52)之间形成所述间隙(51)。


3.根据权利要求2所述的挡板阀门，其特征在于，相邻两个所述阻挡部(52)朝向所述法兰(20)所在平面的垂直投影相交。


4.根据权利要求2或3所述的挡板阀门，其特征在于，所述阻挡部(52)为挡板，所述挡板相对于所述冷却管(40)倾斜设置。


5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡勇，张伟，胡双丽，邓从跃，苏亮，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44