挡板阀门及具有其的真空机组制造技术

本实用新型专利技术涉及真空技术领域，提出了一种挡板阀门及具有其的真空机组。挡板阀门包括主体、法兰、阀板、冷却管以及挡板组件，主体具有腔体；法兰与主体相连接，法兰具有气流通道；阀板可移动地设置在腔体内，以具有阻挡腔体与气流通道相连通的第一位置，和释放腔体与气流通道相连通的第二位置；冷却管的至少部分位于气流通道内；挡板组件设置在冷却管上，且位于气流通道内，挡板组件具有供气体通过的间隙。连接有挡板组件的冷却管设置在法兰上，且使得冷却管以及挡板组件均位于气流通道内，不仅能够保证挡板组件对油蒸汽分子的阻挡，避免了挡板组件占用外部空间，且避免了挡板组件与外部泵体的直接连接，不仅成本降低，且密封性能也会进一步提升。

【技术实现步骤摘要】
挡板阀门及具有其的真空机组
本技术涉及真空
，尤其涉及一种挡板阀门及具有其的真空机组。
技术介绍
相关技术中，在以油扩散泵或油增压泵为主抽泵的高真空机组上，需要配置一个与主泵口径相同或相近的高真空气动挡板阀作为主抽阀。由于油扩散泵和油增压泵工作前需要预热，在预热阶段，扩散泵需要与真空室断开连接。主抽阀的作用就是在扩散泵或油增压泵预热阶段关闭，切断其与真空室的连接，待预热结束，达到工作条件后才开启。油扩散泵和油增压泵是利用大分子的油蒸汽通过喷咀自上而下高速喷出，将被抽真空室的气体分子向泵出口压缩，从而实现抽真空作用的。由于油蒸汽喷射后会与泵腔内壁及泵内元件发生碰撞，部分油蒸汽分子会反弹至进气口处，并扩散到真空室内，造成返油现象。为避免返油现象，油扩散泵或油增压泵与主抽阀之间，通常需要设置一个水冷挡板来捕集反弹的油分子。目前，气动挡板阀和水冷挡板均为分体式，即阀归阀，挡板归挡板，二者通过螺栓与扩散泵连接。这种结构各自有各自的法兰和密封槽，耗材多，不仅生产成本高，装配不方便。二者之间由于结构上各自独立，存在2个密封面，增加了泄漏的可能性。组装后，由于阀门和挡板是叠加起来装配，不利于控制安装高度。在一些场合下，不得不提高主体设备的高度来适应真空机组的安装，这将影响设备的操作性和整体布局的美观。对于不同厂家生产的阀、挡板、泵，还存在法兰连接尺寸不匹配、通用性差的情况。
技术实现思路
本技术提供一种挡板阀门及具有其的真空机组，以改善挡板阀门的使用性能。根据本技术的第一个方面，提供了一种挡板阀门，包括：主体，主体具有腔体；法兰，法兰与主体相连接，法兰具有气流通道；阀板，阀板可移动地设置在腔体内，以具有阻挡腔体与气流通道相连通的第一位置，和释放腔体与气流通道相连通的第二位置；冷却管，冷却管设置在法兰上，且冷却管的至少部分位于气流通道内；挡板组件，挡板组件设置在冷却管上，且位于气流通道内，挡板组件具有供气体通过的间隙。在本技术的一个实施例中，挡板组件包括多个阻挡部，多个阻挡部间隔地设置在冷却管上，且相邻两个阻挡部之间形成间隙。在本技术的一个实施例中，相邻两个阻挡部朝向法兰所在平面的垂直投影相交。在本技术的一个实施例中，阻挡部为挡板，挡板相对于冷却管倾斜设置。在本技术的一个实施例中，阻挡部为圆锥挡环，相邻两个圆锥挡环套设。在本技术的一个实施例中，冷却管包括进口和出口，进口和出口均位于气流通道的外侧，进口和出口分别用于供冷却液流入和流出冷却管。在本技术的一个实施例中，冷却管为一个，冷却管为弯管。在本技术的一个实施例中，冷却管包括：过渡管段，过渡管段设置在法兰上，过渡管段为两个，两个过渡管段分别包括进口和出口；冷却管段，冷却管段的两端分别连接两个过渡管段，挡板组件设置在冷却管段上。在本技术的一个实施例中，挡板阀门还包括：驱动部，驱动部设置在主体上，驱动部与阀板驱动连接，以驱动阀板移动。根据本技术的第二个方面，提供了一种真空机组，包括上述的挡板阀门。本技术的挡板阀门通过阀板控制腔体与气流通道的连通与断开，且通过设置在气流通道内的挡板组件实现对油蒸汽分子的阻挡，而冷却管对挡板组件进行冷却降温。通过将连接有挡板组件的冷却管设置在法兰上，且使得冷却管以及挡板组件均位于气流通道内，不仅能够保证挡板组件对油蒸汽分子的阻挡，避免了挡板组件占用外部空间，且避免了挡板组件与外部泵体的直接连接，不仅成本降低，且密封性能也会进一步提升。附图说明通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施方式的详细说明，本技术的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种挡板阀门的结构示意图；图2是根据另一示例性实施方式示出的一种挡板阀门的结构示意图；图3是根据一示例性实施方式示出的一种挡板阀门的法兰、冷却管和挡板组件的连接结构示意图；图4是图3中A-A处的剖面结构示意图。附图标记说明如下：10、主体；11、腔体；20、法兰；21、气流通道；30、阀板；31、密封件；40、冷却管；41、进口；42、出口；43、过渡管段；44、冷却管段；50、挡板组件；51、间隙；52、阻挡部；60、驱动部；61、驱动杆；70、支撑块。具体实施方式体现本技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本技术。在对本技术的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本技术的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本技术的多个方面的不同示例性结构，系统和步骤。应理解的是，可以使用部件，结构，示例性装置，系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本技术范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”，“之间”，“之内”等来描述本技术的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本技术的范围内。本技术的一个实施例提供了一种挡板阀门，请参考图1和图2，挡板阀门包括：主体10，主体10具有腔体11；法兰20，法兰20与主体10相连接，法兰20具有气流通道21；阀板30，阀板30可移动地设置在腔体11内，以具有阻挡腔体11与气流通道21相连通的第一位置，和释放腔体11与气流通道21相连通的第二位置；冷却管40，冷却管40设置在法兰20上，且冷却管40的至少部分位于气流通道21内；挡板组件50，挡板组件50设置在冷却管40上，且位于气流通道21内，挡板组件50具有供气体通过的间隙51。本技术一个实施例的挡板阀门通过阀板30控制腔体11与气流通道21的连通与断开，且通过设置在气流通道21内的挡板组件50实现对油蒸汽分子的阻挡，而冷却管40对挡板组件50进行冷却降温。通过将连接有挡板组件50的冷却管40设置在法兰20上，且使得冷却管40以及挡板组件50均位于气流通道21内，不仅能够保证挡板组件50对油蒸汽分子的阻挡，避免了挡板组件50占用外部空间，且避免了挡板组件50与外部泵体的直接连接，不仅成本降低，且密封性能也会进一步提升。需要说明的是，法兰20用于连接外部泵体，泵体可以是油扩散泵或油增压泵等，挡板组件50用于阻挡由油扩散泵或油增压泵内产生的油蒸汽分子，但挡板组件50形成的间隙51可以确保气体流通，当然也不排除油蒸汽分子通过间隙51进入到腔体11内，但毕竟有挡板组件50的阻挡会使得通过的部分较少。在一个实施例中，阀板30本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种挡板阀门，其特征在于，包括：/n主体(10)，所述主体(10)具有腔体(11)；/n法兰(20)，所述法兰(20)与所述主体(10)相连接，所述法兰(20)具有气流通道(21)；/n阀板(30)，所述阀板(30)可移动地设置在所述腔体(11)内，以具有阻挡所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第一位置，和释放所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第二位置；/n冷却管(40)，所述冷却管(40)设置在所述法兰(20)上，且所述冷却管(40)的至少部分位于所述气流通道(21)内；/n挡板组件(50)，所述挡板组件(50)设置在所述冷却管(40)上，且位于所述气流通道(21)内，所述挡板组件(50)具有供气体通过的间隙(51)。/n

【技术特征摘要】
1.一种挡板阀门，其特征在于，包括：
主体(10)，所述主体(10)具有腔体(11)；
法兰(20)，所述法兰(20)与所述主体(10)相连接，所述法兰(20)具有气流通道(21)；
阀板(30)，所述阀板(30)可移动地设置在所述腔体(11)内，以具有阻挡所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第一位置，和释放所述腔体(11)与所述气流通道(21)相连通的第二位置；
冷却管(40)，所述冷却管(40)设置在所述法兰(20)上，且所述冷却管(40)的至少部分位于所述气流通道(21)内；
挡板组件(50)，所述挡板组件(50)设置在所述冷却管(40)上，且位于所述气流通道(21)内，所述挡板组件(50)具有供气体通过的间隙(51)。


2.根据权利要求1所述的挡板阀门，其特征在于，所述挡板组件(50)包括多个阻挡部(52)，多个所述阻挡部(52)间隔地设置在所述冷却管(40)上，且相邻两个所述阻挡部(52)之间形成所述间隙(51)。


3.根据权利要求2所述的挡板阀门，其特征在于，相邻两个所述阻挡部(52)朝向所述法兰(20)所在平面的垂直投影相交。


4.根据权利要求2或3所述的挡板阀门，其特征在于，所述阻挡部(52)为挡板，所述挡板相对于所述冷却管(40)倾斜设置。


5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡勇，张伟，胡双丽，邓从跃，苏亮，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44