教师数据生成方法以及吐出状态的判断方法技术

本发明专利技术提供一种可生成与吐出喷嘴的吐出状态相应的教师数据的教师数据生成方法。生成教师数据的方法，包括：保持步骤、处理液吐出步骤、摄像步骤及教师数据生成步骤。在保持步骤中，将基板大致水平地保持于基板保持机构。在处理液吐出步骤中，自吐出喷嘴向基板的主表面吐出处理液。在摄像步骤中，利用相机在包含处理液吐出步骤的至少一部分期间内，对以包含吐出喷嘴、及处理液吐出步骤中所吐出的处理液的至少一部分的方式被调整的摄像区域进行摄像，取得多个图像数据。在教师数据生成步骤中，针对多个图像数据中的至少一个，将与该图像数据中所映现的处理液吐出状态相应的标签赋予至该图像数据，生成教师数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】教师数据生成方法以及吐出状态的判断方法
本专利技术涉及一种教师数据生成方法以及吐出状态的判断方法。
技术介绍
一直以来，提出有对基板供给处理液的基板处理装置。该基板处理装置包括：基板保持部，将基板保持为水平姿势；旋转机构，使基板保持部旋转而使基板在水平面内旋转；以及吐出喷嘴，自基板的上方吐出处理液。若自吐出喷嘴向基板吐出处理液，则该处理液着落于基板的中央附近，受到伴随着基板的旋转生成的离心力而在基板上扩展，从而自基板的周缘飞散。由此，处理液作用于基板的整个面而可对基板进行与该处理液相应的处理。作为处理液，使用SC1液(氨水、过氧化氢水及水的混合液)、SC2液(盐酸、过氧化氢水及水的混合液)及DHF(DiluteHydrofluoricAcid)液(稀氢氟酸)等药液、或者纯水等冲洗液。另外，亦提出有一种利用相机监视处理液自吐出喷嘴的吐出状态的技术(例如，专利文献1)。专利文献1中，利用相机对包含吐出喷嘴的前端的摄像区域进行摄像，并基于由该相机取得的图像数据，判断是否自吐出喷嘴吐出有处理液。现有技术文献<br>专利文献...

【技术保护点】
1.一种教师数据生成方法，生成与基板处理装置中的吐出喷嘴的吐出状态相关的教师数据，其中，包括：/n保持步骤，将基板大致水平地保持于基板保持机构；/n处理液吐出步骤，自所述吐出喷嘴向所述基板的主表面吐出处理液；/n摄像步骤，利用相机在包含所述处理液吐出步骤的至少一部分的期间内，对以包含所述吐出喷嘴、及所述处理液吐出步骤中所吐出的所述处理液的至少一部分的方式被调整的摄像区域进行摄像，取得多个图像数据；以及/n教师数据生成步骤，针对多个所述图像数据中的至少一个，将与所述图像数据中所映现的所述处理液的吐出状态相应的标签赋予至所述图像数据，生成所述教师数据。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180827 JP 2018-158343;20190816 JP 2019-1494281.一种教师数据生成方法，生成与基板处理装置中的吐出喷嘴的吐出状态相关的教师数据，其中，包括：
保持步骤，将基板大致水平地保持于基板保持机构；
处理液吐出步骤，自所述吐出喷嘴向所述基板的主表面吐出处理液；
摄像步骤，利用相机在包含所述处理液吐出步骤的至少一部分的期间内，对以包含所述吐出喷嘴、及所述处理液吐出步骤中所吐出的所述处理液的至少一部分的方式被调整的摄像区域进行摄像，取得多个图像数据；以及
教师数据生成步骤，针对多个所述图像数据中的至少一个，将与所述图像数据中所映现的所述处理液的吐出状态相应的标签赋予至所述图像数据，生成所述教师数据。


2.如权利要求1所述的教师数据生成方法，其中，
所述教师数据生成步骤包括：
存储步骤，将由所述相机在包含所述处理液的吐出状态发生变化的时间点且比所述处理液吐出步骤的期间短的期间内取得的所述图像数据，作为所述教师数据的候补而存储于存储介质；
选定步骤，自所述候补选定作为所述教师数据而采用的所述图像数据；以及
标签赋予步骤，对所述教师数据赋予与所述教师数据中所映现的所述处理液的吐出状态相应的标签。


3.如权利要求1或2所述的教师数据生成方法，其中，还包括：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：沖田有史，犹原英司，增井达哉，角间央章，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP