磁悬浮隔振器制造技术

本发明专利技术公开一种磁悬浮隔振器，该磁悬浮隔振器设于磁悬浮隔振系统的定子和动子之间，该磁悬浮隔振器包括：电磁永磁模块和传感器。所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中；所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。由于本发明专利技术提出的磁悬浮隔振器的电磁永磁模块通过电磁力控制悬浮稳定并抑制振动，电磁力的大小可以根据振动情况调节，因此可以实现不同频率的、快速响应的振动控制；由于电磁永磁模块通过永磁力提供主要承载力，因此可以减小电磁力的损耗，从而能够降低磁悬浮隔振器的能耗。

【技术实现步骤摘要】
磁悬浮隔振器
本专利技术涉及精密隔振
，特别涉及一种磁悬浮隔振器。
技术介绍
本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。随着高新技术产业的快速发展，对于精密位置控制的要求越来越高。在工业精密加工、检测，尤其在半导体行业超高精度检测及运动场景，对于外界的振动干扰尤其敏感。这类设备需要对地面振动及外界扰动进行抑制、隔绝，从而实现超高精度的运动控制。传统的机械式被动隔振器、空气弹簧等现有的隔振方式难以实现不同频率的、快速响应的振动控制。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提出一种磁悬浮隔振器，旨在实现不同频率、快速响应的振动控制的同时，降低磁悬浮隔振器的能耗。为实现上述目的，本专利技术提出的磁悬浮隔振器包括：电磁永磁模块，所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中，所述固定部与所述定子固定连接，所述悬浮部与所述动子固定连接；以及，传感器，所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。优选地，所述悬浮部包括第一永磁铁；所述固定部包括铁芯、线圈和第二永磁铁，所述第二永磁铁设于所述线圈的远离所述第一永磁铁的一侧；所述线圈绕制于所述铁芯的外周壁，所述第二永磁铁和所述线圈均位于所述第一永磁铁的磁场中。优选地，所述悬浮部与所述固定部之间的永磁力被配置为与所述磁悬浮隔振器的载重相适配。优选地，所述新型磁悬浮隔振器还包括电涡流阻尼模块，所述电涡流阻尼模块包括导体感应板和永磁阵列，所述导体感应板位于所述永磁阵列的磁场中，所述导体感应板和所述永磁阵列的其中之一固设于所述定子，所述导体感应板和所述永磁阵列的其中另一固设于所述动子。优选地，所述永磁阵列为海尔贝克永磁阵列，所述海尔贝克永磁阵列包括多块尺寸参数相同，充磁强度相同，充磁方向不同的永磁铁。优选地，所述磁悬浮隔振器为竖直方向上的单向隔振器；所述单向隔振器包括以竖直方向为对称轴呈对称分布的至少两个电涡流阻尼模块。优选地，所述磁悬浮隔振器包括两个所述电涡流阻尼模块和一个所述电磁永磁模块，两个所述电涡流阻尼模块对称地分设于所述电磁永磁模块的左右两侧。优选地，所述磁悬浮隔振器包括两个所述电涡流阻尼模块和两个所述电磁永磁模块，两个所述电涡流阻尼模块关于竖直方向的对称轴呈左右对称，两个所述电磁永磁模块设于两个所述电涡流阻尼模块之间，且两个所述电磁永磁模块关于竖直方向的对称轴呈左右对称。优选地，所述磁悬浮隔振器为多向隔振器，所述多向隔振器包括X向隔振器、Y向隔振器和Z向隔振器，所述X向隔振器和所述Y向隔振器呈相同结构设置；所述Z向隔振器包括至少一个电磁永磁模块和至少两个关于所述电磁永磁模块呈对称设置的电涡流阻尼模块；所述X向隔振器包括至少一个电涡流阻尼模块和偶数个关于所述电涡流阻尼模块对称的电磁永磁模块。优选地，所述X向隔振器包括一个所述电涡流阻尼模块和两个所述电磁永磁模块，两个所述电磁永磁模块关于竖直方向的对称轴呈左右对称，所述电涡流阻尼模块设于两个所述电磁永磁模块之间。本专利还提出一种磁悬浮隔振系统，包括：相对设置的定子和动子，以及磁悬浮隔振器，所述磁悬浮隔振器设于所述定子和所述动子之间，所述磁悬浮隔振器包括：电磁永磁模块，所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中，所述固定部与所述定子固定连接，所述悬浮部与所述动子固定连接；以及，传感器，所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。本专利技术公开一种磁悬浮隔振器，该磁悬浮隔振器设于磁悬浮隔振系统的定子和动子之间，该磁悬浮隔振器包括：电磁永磁模块和传感器，由于本专利技术提出的磁悬浮隔振器包括电磁永磁模块和传感器，所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中，所述固定部与所述定子固定连接，所述悬浮部与所述动子固定连接；所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。由于本专利技术提出的磁悬浮隔振器包括电磁永磁模块，电磁永磁模块通过电磁力控制悬浮稳定并抑制振动，电磁力的大小可以根据振动情况调节，因此可以实现不同频率的、快速响应的振动控制；由于电磁永磁模块通过永磁力提供主要承载力，因此可以减小电磁力的损耗，从而能够降低磁悬浮隔振器的能耗。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本专利技术磁悬浮隔振器第一实施例与定子和动子安装后的横截面结构示意图；图2为本专利技术磁悬浮隔振器的电涡流阻尼模块的横截面结构示意图；图3为本专利技术磁悬浮隔振器的电磁永磁模块的横截面结构示意图；图4为本专利技术磁悬浮隔振器第二实施例与定子和动子安装后的横截面结构示意图；图5为本专利技术磁悬浮隔振器第三实施例与定子和动子安装后的横截面结构示意图。附图标号说明：标号名称标号名称10定子32永磁阵列20动子41第一永磁铁30电涡流阻尼模块42铁芯40电磁永磁模块43线圈31导体感应板44第二永磁铁本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明，若本专利技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，若本专利技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本专利技术要求本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型磁悬浮隔振器，设于磁悬浮隔振系统的定子和动子之间；其特征在于，所述磁悬浮隔振器包括：/n电磁永磁模块，所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中，所述固定部与所述定子固定连接，所述悬浮部与所述动子固定连接；以及，/n传感器，所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。/n

【技术特征摘要】
20200521 CN 20201043326181.一种新型磁悬浮隔振器，设于磁悬浮隔振系统的定子和动子之间；其特征在于，所述磁悬浮隔振器包括：
电磁永磁模块，所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中，所述固定部与所述定子固定连接，所述悬浮部与所述动子固定连接；以及，
传感器，所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。


2.如权利要求1所述的磁悬浮隔振器，其特征在于，所述悬浮部包括第一永磁铁；
所述固定部包括铁芯、线圈和第二永磁铁，所述第二永磁铁设于所述线圈的远离所述第一永磁铁的一侧；所述线圈绕制于所述铁芯的外周壁，所述第二永磁铁和所述线圈均位于所述第一永磁铁的磁场中。


3.如权利要求2所述的磁悬浮隔振器，其特征在于，所述悬浮部与所述固定部之间的永磁力被配置为与所述磁悬浮隔振器的载重相适配。


4.如权利要求1所述的磁悬浮隔振器，其特征在于，所述新型磁悬浮隔振器还包括电涡流阻尼模块，所述电涡流阻尼模块包括导体感应板和永磁阵列，所述导体感应板位于所述永磁阵列的磁场中，所述导体感应板和所述永磁阵列的其中之一固设于所述定子，所述导体感应板和所述永磁阵列的其中另一固设于所述动子。


5.如权利要求4所述的磁悬浮隔振器，其特征在于，所述永磁阵列为海尔贝克永磁阵列，所述海尔贝克永磁阵列包括多块尺寸参数相同，充磁强度相...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：槃实科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44