钽、铌管状靶材生产方法技术

本发明专利技术提供了一种钽、铌管状靶材生产方法，包括以下步骤：在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。采用本发明专利技术技术方案的钽、铌管状靶材生产方法生产的钽、铌管状靶材内部组织一致性较好，保证溅射膜的质量；同时靶材成才率高，有效节约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
钽、铌管状靶材生产方法
本专利技术涉及溅射靶材生产领域，具体而言，涉及一种钽、铌管状靶材生产方法。
技术介绍
磁控溅射镀膜是一种物理气相镀膜方式，现技术已较为成熟，主要应用于装饰薄膜靶材，建筑玻璃、汽车玻璃、低辐射玻璃，平面显示器，光通讯/光学工业，光数据存储工业，光数据存储工业，磁数据存储工业。而钽、铌管状靶材作为一种重要的金属溅射靶材，在光学和功能玻璃镀膜领域已经得到了广泛的应用。现有的钽、铌管状靶材采用纯的钽、铌锭材进行打孔挤压，热处理和机械加工而成。通过现有工艺生产的钽、铌管状靶材存在以下问题：1)通过挤压成型的靶材一致性差，内部组织极度不均匀，影响溅射膜的质量；2)挤压靶材成材率差，只有30-50％。生产成本高。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种钽、铌管状靶材生产方法，以至少解决采用现有的钽、铌管状靶材生产工艺制造的靶材一致性差，内部组织极度不均匀的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种钽、铌管状靶材生产方法，包括以下步骤：在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，包括以下步骤：/n在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；/n采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；/n采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；/n对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；/n对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。/n

【技术特征摘要】
1.一种钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，包括以下步骤：
在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；
采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；
采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；
对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；
对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。


2.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，选定的钽或铌粉末为冶金级钽或铌粉末。


3.根据权利要求2所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，选定的钽或铌粉末平均粒径60-120目，粉的纯度大于99.95％。


4.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生产方法，其特征在于，所述粘结剂为酒精。


5.根据权利要求1所述的钽、铌管状靶材生...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴正伍，
申请(专利权)人：宝鸡同盈稀有金属有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61