一种恒液面气体蒸发器制造技术

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积技术领域，具体地说就是提供了一种气体载流法中使用的气体蒸发器，即一种恒液面气体蒸发器。本实用新型专利技术的特征在于，整个装置由耐腐蚀材料制成，用球阀实现液面的恒定。本实用新型专利技术是一种简便、实用的恒液面气体蒸发器，特别适用于实验室、科研工作等场合，可以广泛地应用于化工、半导体材料等领域，涉及制备高沸点，有毒有害腐蚀性液体的气体情况。（*该技术在2002年保护过期，可自由使用*）

Constant liquid level gas evaporator

The utility model relates to the technical field of chemical vapor deposition, in particular to a gas evaporator used in a gas current carrying method, namely a constant liquid level gas evaporator. The utility model is characterized in that the whole device is made of corrosion-resistant material, and the liquid surface is kept constant by using a ball valve. The utility model relates to a constant liquid level gas evaporator is simple and practical, especially suitable for laboratory and research work and so on, can be widely used in the field of chemical, semiconductor materials, relates to the preparation of high boiling point gases, toxic and harmful corrosive liquids.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学气相沉积
，具体地说就是提供了一种气体载流法中使用的气体蒸发器，即一种恒液面气体蒸发器。使用化学气相沉积工艺制备新材料时，经常需要将高沸点腐蚀性液体原料转变成气体状态使用。常用的方法是气体载流法，即将载流气体(氢气或其它惰性气体)通入液体原料中，载流气体把液体原料的蒸汽带走，形成混合气体。使用这种方法时，由于随着液体蒸气被载流气体的不断带出，容器中的液体减少而液面不断下降，造成形成的混合气体的浓度发生变化，造成沉积质量不均一，另外当液体消耗尽时，整个工艺将中止。因此，需要在工艺过程中始终保持恒定的液面，常用的保持恒液面的方法为电磁液面控制装置，但这种装置复杂且不适用于有毒、腐蚀性液体。本技术的目的在于，提供一种能使液面保持恒定以保证整个工艺的顺利完成，并且整个装置又很简单易于实现的蒸发器，即一种恒液面气体蒸发器。本技术为一带有载流气体进入管道和混合气体出口的容器，其特征在于容器中另有一液体补充管道，补充管道下面有一浮球式阀门自动控制蒸发器中液面保持在恒定高度，整个装置由耐腐蚀材料，如玻璃、陶瓷等制成，球阀与液体补充管道的接触面部分可用磨口来实现密封。以下结合附图详述一实施例。附附图说明图1为一种恒液面气体蒸发器示意图。图中1、混合气体出口；2、液体补充管道；3、载流气体进入管道；4、玻璃磨口封闭面；5、密封杆；6、浮漂；7、化学腐蚀性高沸点液体。实施例如附图1所示为一种全玻璃制做的恒液面气体蒸发器。液体补充管道2为上细下粗结构，球阀则由浮漂6与密封杆5两部分组成，密封杆5直径小于液体补充管道2粗口大于细口，密封杆顶端有磨口封闭面4。使用时，浮漂6在液体7中受到向上的浮力，使液体补充管道2与密封杆5的磨口封闭面4接触，阻止了液体向容器中的流入，随着载流气体由气体进入管道3的不断进入，由气体出口1的不断排出，液面将下降，浮漂6所受到的浮力减小，磨口封密面4分离，液体由管道2向容器中补充，当液面恢复到原来的位置时，因浮漂6受到的浮力增大使磨口密封面4又重新接触阻止了液体的继续补充，而且其液面始终基本保持不变。这样不仅混合气体的浓度能够基本保持不变，而且实现了自动加料，保证了工艺的连续性。同时，由于几个装置全部由玻璃制成，不仅装置简单易做，而且不怕腐蚀，解决了使用腐蚀性液体的问题。本装置已在化学气相沉积方法制备SlC纤维工艺中得到使用，使用的液体原料为CH3SlCl3和CH3SlHCl2，使用的载流气体为高纯氢气或氩气。使用这种装置解决了混合气体浓度变化和SlC纤维的连续化问题。总之，本技术是一种简便，实用的恒液面气体蒸发器，特别适用于实验室、科研工作等场合，可以广泛地应用于化工、半导体材料等领域，涉及制备高沸点，有毒有害腐蚀性液体的气体情况。权利要求1.一种带有载流气体进入管道和混合气体出口的恒液面气体蒸发器，其特征在于(1)蒸发器中另设有一液体补充管道；(2)液体补充管道下面设有一浮球式阀门，自动控制蒸发器中液面保持恒定；(3)整个装置由耐腐蚀材料制成。2.按权利要求1所述蒸发器，其特征在于，球阀与液体补充管道的接触面部分可以用磨口实现密封。3.按权利要求1、2所述蒸发器，其特征在于，所用耐腐蚀材料可以为玻璃或陶瓷等。专利摘要本技术涉及化学气相沉积
，具体地说就是提供了一种气体载流法中使用的气体蒸发器，即一种恒液面气体蒸发器。本技术的特征在于，整个装置由耐腐蚀材料制成，用球阀实现液面的恒定。本技术是一种简便、实用的恒液面气体蒸发器，特别适用于实验室、科研工作等场合，可以广泛地应用于化工、半导体材料等领域，涉及制备高沸点，有毒有害腐蚀性液体的气体情况。文档编号G05D9/02GK2111958SQ9221010公开日1992年8月5日 申请日期1992年1月18日 优先权日1992年1月18日专利技术者石南林 申请人:中国科学院金属研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有载流气体进入管道和混合气体出口的恒液面气体蒸发器，其特征在于：（１）蒸发器中另设有一液体补充管道；（２）液体补充管道下面设有一浮球式阀门，自动控制蒸发器中液面保持恒定；（３）整个装置由耐腐蚀材料制成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：石南林，张振伟，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]