一种实现显影液快速更换的显影设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种实现显影液快速更换的显影设备，箱体内部设有工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓；存储模块仓内部设有用于将显影液瓶固设在存储模块仓内部的固定组件；显影液瓶通过导管及泵与工作模块仓连通；控制模块仓设有控制泵启停运行的控制按钮。在更换显影液方面设计快接模块，将原来显影液密封舱或者密封罐的存储方式变为可以快接的密封瓶存储，从而实现显影液在不停机的情况下快速更换显影液种类，同时这样设计也可以简化喷嘴数量，实现了单喷嘴对应多仓的模式。其次采用模块化设计，设备由工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓三大部分构成，每大模块仓又包含若干小模块，当产品设计或者维护的时候更换模块即刻，灵活方便。

【技术实现步骤摘要】
一种实现显影液快速更换的显影设备
本技术涉及光刻显影领域，特别涉及一种实现显影液快速更换的显影设备。
技术介绍
目前光刻显影方式主要有两种，手动显影和专用显影设备，手动显影一般用于临时性操作，工作方式是由人工夹持显影样片放入显影液中反复冲洗几次完成显影，这样并不能很好的把控每次显影的角度和时间，造成显影质量不稳定，同时人工操作也无法充分的保障显影时间范围，影响显影效果。进而目前提供了一些专用显影设备，专用显影设备一般分为多喷嘴多液仓或单喷嘴固定液仓的模式，将人工显影模式进行自动化虽然可以避免一些人工显影的问题，但是在面临更换不同显影液的时候，需要设备停机对液仓进行清洗然后灌入需要使用的显影液，不能快速的对显影液进行更换。
技术实现思路
为了克服上述现有技术中的不足，本技术提供一种实现显影液快速更换的显影设备，包括：箱体，箱体上端开口；箱体内部设有工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓；工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓之间分别设有隔板，使工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓之间相互隔离；>存储模块仓内部设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实现显影液快速更换的显影设备，其特征在于，包括：箱体，箱体上端开口；/n箱体内部设有工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓；/n工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓之间分别设有隔板，使工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓之间相互隔离；/n存储模块仓内部设有用于将显影液瓶固设在存储模块仓内部的固定组件；/n显影液瓶通过导管及泵与工作模块仓连通；/n控制模块仓设有控制泵启停运行的控制按钮。/n

【技术特征摘要】
1.一种实现显影液快速更换的显影设备，其特征在于，包括：箱体，箱体上端开口；
箱体内部设有工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓；
工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓之间分别设有隔板，使工作模块仓、控制模块仓以及存储模块仓之间相互隔离；
存储模块仓内部设有用于将显影液瓶固设在存储模块仓内部的固定组件；
显影液瓶通过导管及泵与工作模块仓连通；
控制模块仓设有控制泵启停运行的控制按钮。


2.根据权利要求1所述的实现显影液快速更换的显影设备，其特征在于，
固定组件设有显影液瓶放置底座和快换接头；
显影液瓶放置底座上设有多个安装孔；
显影液瓶底部固设在安装孔内；
快换接头固设在显影液瓶的顶部；
快换接头上设有连通管，连通管的一端伸入显影液瓶内部；
连通管的另一端连接导管。


3.根据权利要求2所述的实现显影液快速更换的显影设备，其特征在于，
显影液瓶口处设有外螺纹；
快换接头上设有与所述外螺纹相适配的内螺纹，显影液瓶口的外螺纹与内螺纹螺纹连接；
连通管设置在内螺纹的中心处。


4.根据权利要求2所述的实现显影液快速更换的显影设备，其特征在于，
显影液瓶放置底座设置在存储模块仓的底部，显影液瓶放置底座与存储模块...

【专利技术属性】
技术研发人员：史强，韩旭东，范迦琪，胡海龙，
申请(专利权)人：烟台魔技纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37