电子器件的制造方法技术

本发明专利技术的一个实施方式的电子器件的制造方法具备：形成第1电极层的工序、形成器件功能部的工序和形成第2电极层的工序，第1电极层、器件功能部所具有的一个或多个功能层及第2电极层中的至少一层是通过将包含至少一层的材料的墨液从喷墨印刷装置(24)向包含基板的基底基板上涂布而形成，喷墨印刷装置具有：墨液供给部(30)、喷墨头(28)、墨液的流路(38)、驱动部(40)、和在流路上配置于驱动部与喷墨头之间的隔膜型的压力调节机构(42)，墨液满足表面张力为15mN/m～25mN/m、以及比重为1.5以上的至少一方。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子器件的制造方法
本专利技术涉及一种电子器件的制造方法。
技术介绍
电子器件具备设于基板上的第1电极层、设于第1电极层上且包含一个或多个功能层的器件功能部、和设于器件功能部上的第2电极层。在制造该电子器件时，第1电极层、一个或多个功能层及第2电极层中的至少一层例如可以如专利文献1中记载所示，使用喷墨印刷法形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-141765号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在利用喷墨印刷法形成电子器件所具有的层的情况下，从墨液供给部向喷墨头输送墨液，从喷墨头喷出墨液。在墨液供给部与喷墨头之间，配设用于使墨液从墨液供给部向喷墨头流动的驱动部(例如泵)。然而，当为了使墨液流动而以上述驱动部对墨液进行加压时，即产生墨液的压力的脉动，从喷墨头喷出的墨液的弯月面的形状变得不稳定。因此，可以考虑在墨液的流路中在上述驱动部与喷墨头之间配设具有抑制墨液的脉动的功能的压力调节机构。专利文献1中的上游侧墨液罐相当于上述压力调节机构。专利文献1中，采用利用了储气器的压力调节机构、即空气阻尼器。然而，即使如上所述地采用压力调节机构，墨液的弯月面的形状也随时间推移而变得不稳定，其结果是，有无法形成所期望的状态的层的情况。电子器件所具有的层的状态对电子器件的性能造成影响。因此，当如上所述地以不稳定的弯月面的形状喷出墨液、无法形成所期望状态的层时，则可以将所制造出的电子器件判断为不具有所期望的性能的不合格品。由此，电子器件的制造成品率降低。r>本专利技术的一个方面的目的在于，提供能够实现制造成品率的提高的电子器件的制造方法。用于解决问题的手段本专利技术的一个方面的电子器件的制造方法具备：在基板形成第1电极层的工序、在上述第1电极层上形成包含一个或多个功能层的器件功能部的工序、和在上述器件功能部上形成第2电极层的工序。上述第1电极层、上述一个或多个功能层及上述第2电极层中的至少一层通过如下操作而形成，即，将包含上述至少一层的材料的墨液从喷墨印刷装置向包含上述基板的基底基板上涂布。上述喷墨印刷装置具有：墨液供给部；喷墨头，其具有将上述墨液朝向上述基底基板喷出的墨液喷出口；上述墨液的流路，其连接上述墨液供给部与上述喷墨头；驱动部，其在上述流路上配置于上述墨液供给部与上述喷墨头之间，用于使墨液在上述流路中流动；以及隔膜型的压力调节机构，其在上述流路上配置于上述驱动部与上述喷墨头之间。上述墨液满足表面张力为15mN/m～25mN/m、以及比重为1.5以上的至少一方。上述电子器件的制造方法包括利用使用了满足表面张力为15mN/m～25mN/m、以及比重为1.5以上的至少一方的墨液的喷墨印刷法来形成层(以下为了说明的方便称作“规定层”)的工序。形成上述规定层的工序中使用的喷墨印刷装置中，在墨液的流路上在驱动部与喷墨头之间配置有隔膜型的压力调节机构。该情况下，由于通过驱动部产生的墨液的压力的脉动由压力调节机构抑制，因此易于维持从喷墨头喷出的墨液的弯月面的形状。其结果是，能够以所期望的状态形成规定层，因此可以有效地制造具有所期望的性能的电子器件。由此，上述电子器件的制造方法中，制造成品率提高。可以使上述墨液在上述墨液供给部与上述喷墨头之间循环。可以使上述墨液连续1周以上地在上述墨液供给部与上述喷墨头之间循环。该情况下，上述电子器件的制造方法更加有效。可以从上述喷墨头定期地清除(日文原文：パージ)上述墨液。由此，易于维持墨液的弯月面的形状，并且易于防止喷墨头所具有的墨液喷出口的堵塞。上述墨液可以包含沸点为200℃以上的溶剂、和相对于上述溶剂的溶解度为1％以下的物质。上述至少一层可以为上述器件功能部所具有的层。上述器件功能部可以包含有机发光层。该情况下，作为电子器件可以制造有机电致发光器件。专利技术效果根据本专利技术的一个方面，可以提供能够实现制造成品率的提高的电子器件的制造方法。附图说明图1是表示利用一个实施方式的电子器件的制造方法制造的有机EL器件(电子器件)的大致构成的示意图。图2是用于说明一个实施方式的电子器件的制造方法中使用的喷墨印刷装置的一例的示意图。图3是用于说明利用图2所示的喷墨印刷装置形成层的工序的示意图。具体实施方式以下，在参照附图的同时对本专利技术的实施方式进行说明。对于相同要素使用相同符号，省略重复的说明。附图的尺寸比率不一定与说明的尺寸比率一致。图1是表示使用一个实施方式的电子器件的制造方法制造的有机电致发光器件(以下也称作“有机EL器件”)的大致构成的示意图。有机EL器件10具有基板12、阳极层(第1电极层)14、器件功能部16、和阴极层(第2电极层)18。阳极层14、器件功能部16及阴极层18依照阳极层14、器件功能部16及阴极层18的顺序层叠于基板12上。有机EL器件10可以是顶发射型的有机EL器件，也可以是底发射型的有机EL器件。以下，只要没有特别指出，有机EL器件10就是底发射型的有机EL器件。[基板]基板12对于有机EL器件10所射出的光(包含波长400nm～800nm的可见光)具有透光性。基板12的厚度的例子为30μm～1100μm。基板12例如可以是玻璃基板及硅基板等刚性基板，也可以是塑料基板及高分子膜等挠曲性基板。所谓挠曲性基板，是具有如下性质的基板，即，即使对基板施加规定的力，也能够在不使基板发生剪切、断裂的情况下将基板弯曲。在基板12为刚性基板的情况下，基板12的厚度的例子为50μm～1100μm。在基板12为挠曲性基板的情况下，基板12的厚度的例子为30μm～700μm。在基板12上，可以形成具有水分屏蔽功能的屏蔽层。屏蔽层可以在具有屏蔽水分的功能的基础上，还具有屏蔽气体(例如氧)的功能。[阳极层]阳极层14设于基板12上。阳极层14使用显示出透光性的电极。显示出透光性的电极的例子为包含电导率高的金属氧化物、金属硫化物、金属等的薄膜。显示出透光性的电极优选为透光率高的薄膜。阳极层14可以具有由导体(例如金属)形成的网络结构。阳极层14的厚度可以考虑光的透射性、电导率等来确定。阳极层14的厚度通常为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，更优选为50nm～500nm。作为阳极层14的材料，例如可以举出氧化铟、氧化锌、氧化锡、铟锡氧化物(IndiumTinOxide：缩略语ITO)、铟锌氧化物(IndiumZincOxide：缩略语IZO)、金、铂、银、铜等，它们当中优选ITO、IZO、或氧化锡。阳极层14例如可以作为包含所例示的材料的薄膜来形成。作为阳极层14的材料，可以使用聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物等有机物。该情况下，阳极层14可以作为透明导电膜形成。[器件功能部]器件功能部16是根据对阳极层14及阴极层18施加的电压来参与电荷的迁移及电荷的复合等有机EL器件10的发光的功能部。器件功能部16具有作为功能层的发光层。器件功能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子器件的制造方法，其具备：/n在基板形成第1电极层的工序、/n在所述第1电极层上形成包含一个或多个功能层的器件功能部的工序、以及/n在所述器件功能部上形成第2电极层的工序，/n所述第1电极层、所述一个或多个功能层及所述第2电极层中的至少一层通过将包含所述至少一层的材料的墨液从喷墨印刷装置向包含所述基板的基底基板上涂布而形成，/n所述喷墨印刷装置具有：/n墨液供给部；/n喷墨头，其具有将所述墨液朝向所述基底基板喷出的墨液喷出口；/n所述墨液的流路，其连接所述墨液供给部与所述喷墨头；/n驱动部，其在所述流路上配置于所述墨液供给部与所述喷墨头之间，用于使墨液在所述流路中流动；以及/n隔膜型的压力调节机构，其在所述流路上配置于所述驱动部与所述喷墨头之间，/n所述墨液满足表面张力为15mN/m～25mN/m、以及比重为1.5以上的条件中的至少一方。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180821 JP 2018-1546611.一种电子器件的制造方法，其具备：
在基板形成第1电极层的工序、
在所述第1电极层上形成包含一个或多个功能层的器件功能部的工序、以及
在所述器件功能部上形成第2电极层的工序，
所述第1电极层、所述一个或多个功能层及所述第2电极层中的至少一层通过将包含所述至少一层的材料的墨液从喷墨印刷装置向包含所述基板的基底基板上涂布而形成，
所述喷墨印刷装置具有：
墨液供给部；
喷墨头，其具有将所述墨液朝向所述基底基板喷出的墨液喷出口；
所述墨液的流路，其连接所述墨液供给部与所述喷墨头；
驱动部，其在所述流路上配置于所述墨液供给部与所述喷墨头之间，用于使墨液在所述流路中流动；以及
隔膜型的压力调节机构，其在所述流路上配置于所述驱动部与所述喷墨头之间，
所述墨液满足表面张力为15mN/m～25mN/m、以及比重...

【专利技术属性】
技术研发人员：野田基央，落合钢志郎，寺西宪久，泽崎浩史，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP