一种带主次凹槽的多层抛光垫制造技术

本实用新型专利技术属于抛光垫技术领域，且公开了一种带主次凹槽的多层抛光垫，包括亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述热塑性聚氨酯层位于亲水聚酰胺层与聚氯乙烯层之间的位置处，所述亲水聚酰胺层远离热塑性聚氨酯层的一侧开设有凹槽，所述凹槽包括主凹槽和次凹槽，且凹槽与次凹槽相互连通，所述亲水聚酰胺层与热塑性聚氨酯层之间连接有防水层，本实用新型专利技术通过防水层可防止大部分抛光液渗入热塑性聚氨酯层内，同时通过第一滤布与高分子树脂吸水层的配合，可进一步的将渗入的抛光液吸收，从而防止了抛光液渗入热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层内，防水保护效果较好，提高了抛光效果和装置的使用寿命。果和装置的使用寿命。果和装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种带主次凹槽的多层抛光垫


[0001]本技术属于抛光垫
，具体涉及一种带主次凹槽的多层抛光垫。

技术介绍

[0002]抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫，按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫，按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。
[0003]在专利号为CN201820190589.X的中国专利中，公开了一种带主次凹槽的多层抛光垫，该装置通过设置不同深度且彼此勾通的主次凹槽，可储存抛光液，从而使抛光后的晶片获得高度的平整度和光滑度，但该装置在实际使用时仍存在较多的缺陷，例如，未设置防渗透的结构，导致抛光液容易渗入热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，不仅影响抛光效果，且影响装置的使用寿命，另外，抛光垫的弹性性能较差，抛光处理过程中基垫容易发生变形，且容易造成热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层分离，影响稳定性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种带主次凹槽的多层抛光垫，以解决上述
技术介绍
中提出的未设置防渗透的结构，以及抛光垫的弹性性能较差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带主次凹槽的多层抛光垫，包括亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述热塑性聚氨酯层位于亲水聚酰胺层与聚氯乙烯层之间的位置处，所述亲水聚酰胺层远离热塑性聚氨酯层的一侧开设有凹槽，所述凹槽包括主凹槽和次凹槽，且主凹槽与次凹槽相互连通，所述亲水聚酰胺层与热塑性聚氨酯层之间连接有防水层，所述防水层远离亲水聚酰胺层的一侧固定有第一滤布，所述第一滤布远离防水层的一侧连接有高分子树脂吸水层，所述高分子树脂吸水层远离第一滤布的一侧安装有第二滤布。
[0006]优选的，所述热塑性聚氨酯层远离聚氯乙烯层的一侧安装有加强层，所述加强层远离热塑性聚氨酯层的一侧与第二滤布相连接，所述聚氯乙烯层靠近热塑性聚氨酯层的一侧固定有第二限位块，且聚氯乙烯层的侧壁位于两个第二限位块之间的位置处开设有第一限位槽，所述热塑性聚氨酯层靠近聚氯乙烯层的一侧固定有与第一限位槽相匹配的第一限位块，且热塑性聚氨酯层的侧壁开设有与第二限位块相匹配的第二限位槽。
[0007]优选的，所述主凹槽的深度大于次凹槽的深度，且相邻两个主凹槽之间的间距为2
‑
5mm。
[0008]优选的，所述第一限位块与第二限位块均呈突起的梯形结构，且第一限位块与第二限位块相间分布。
[0009]优选的，所述聚氯乙烯层的底部连接有背胶层，且背胶层的底部圆滑。
[0010]优选的，所所述聚氯乙烯层的厚度为0.5
‑
1.2mm，所述热塑性聚氨酯层的厚度为
0.1
‑
0.5mm。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]（1）本技术通过防水层可防止大部分抛光液渗入热塑性聚氨酯层内，同时通过第一滤布与高分子树脂吸水层的配合，可进一步的将渗入的抛光液吸收，从而防止了抛光液渗入热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层内，防水保护效果较好，提高了抛光效果和装置的使用寿命。
[0013]（2）本技术通过第二限位槽、第二限位块、第一限位块与第一限位槽的配合，可使热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层更加紧密的贴合在一起，防止了热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层发生分离，提高了结构的稳定性，同时通过加强层可提高抛光垫的弹性性能，防止了抛光垫抛光时变形损坏。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术亲水聚酰胺层的俯视图；
[0016]图3为图1中A部的放大图；
[0017]图中：1、背胶层；2、聚氯乙烯层；3、热塑性聚氨酯层；4、防水层；5、亲水聚酰胺层；6、第一滤布；7、高分子树脂吸水层；8、第二滤布；9、加强层；10、第一限位块；11、第一限位槽；12、第二限位块；13、第二限位槽；14、凹槽；141、主凹槽；142、次凹槽。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
‑
图3所示，本技术提供如下技术方案：一种带主次凹槽的多层抛光垫，包括亲水聚酰胺层5、热塑性聚氨酯层3和聚氯乙烯层2，热塑性聚氨酯层3位于亲水聚酰胺层5与聚氯乙烯层2之间的位置处，亲水聚酰胺层5远离热塑性聚氨酯层3的一侧开设有凹槽14，凹槽14包括主凹槽141和次凹槽142，且主凹槽141与次凹槽142相互连通，亲水聚酰胺层5与热塑性聚氨酯层3之间连接有防水层4，防水层4采用聚四氟乙烯组成，通过防水层4可防止大部分抛光液渗入热塑性聚氨酯层3内，同时在少部分抛光液渗出时，通过第一滤布6可对抛光液进行初步吸收，而后通过高分子树脂吸水层7进一步的将抛光液吸收，从而防止了抛光液渗入热塑性聚氨酯层3与聚氯乙烯层2内，同时也可防止外部雨水渗入亲水聚酰胺层5，防水保护效果较好，提高了抛光效果和装置的使用寿命，防水层4远离亲水聚酰胺层5的一侧固定有第一滤布6，第一滤布6远离防水层4的一侧连接有高分子树脂吸水层7，高分子树脂吸水层7远离第一滤布6的一侧安装有第二滤布8。
[0020]进一步的，热塑性聚氨酯层3远离聚氯乙烯层2的一侧安装有加强层9，加强层9远离热塑性聚氨酯层3的一侧与第二滤布8相连接，聚氯乙烯层2靠近热塑性聚氨酯层3的一侧固定有第二限位块12，且聚氯乙烯层2的侧壁位于两个第二限位块12之间的位置处开设有第一限位槽11，热塑性聚氨酯层3靠近聚氯乙烯层2的一侧固定有与第一限位槽11相匹配的
第一限位块10，且热塑性聚氨酯层3的侧壁开设有与第二限位块12相匹配的第二限位槽13，通过第二限位槽13与第二限位块12相互咬合，第一限位块10与第一限位槽11相互咬合，从而使热塑性聚氨酯层3与聚氯乙烯层2更加紧密的贴合在一起，防止了热塑性聚氨酯层3与聚氯乙烯层2发生分离，提高了结构的稳定性，同时加强层9采用涤纶弹力绒絮片与橡筋混纺混合制成，结构紧凑且弹性效果好，大大提高了抛光垫的弹性性能，防止了抛光垫抛光时变形损坏。
[0021]进一步的，主凹槽141的深度大于次凹槽142的深度，且相邻两个主凹槽141之间的间距为2
‑
5mm，通过主凹槽141与次凹槽142的配合，使得抛光垫具有较强的储存、运送抛光液的能力。
[0022]具体地，第一限位块10与第二限位块12均呈突起的梯形结构，且第一限位块10与第二限位块12相间分布。
[0023]具体地，聚氯乙烯层2的底部连接有背胶层1，通过背胶层1的加入，能够显著拓宽抛光垫的使用范围，且背胶层1的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带主次凹槽的多层抛光垫，其特征在于：包括亲水聚酰胺层（5）、热塑性聚氨酯层（3）和聚氯乙烯层（2），所述热塑性聚氨酯层（3）位于亲水聚酰胺层（5）与聚氯乙烯层（2）之间的位置处，所述亲水聚酰胺层（5）远离热塑性聚氨酯层（3）的一侧开设有凹槽（14），所述凹槽（14）包括主凹槽（141）和次凹槽（142），且主凹槽（141）与次凹槽（142）相互连通，所述亲水聚酰胺层（5）与热塑性聚氨酯层（3）之间连接有防水层（4），所述防水层（4）远离亲水聚酰胺层（5）的一侧固定有第一滤布（6），所述第一滤布（6）远离防水层（4）的一侧连接有高分子树脂吸水层（7），所述高分子树脂吸水层（7）远离第一滤布（6）的一侧安装有第二滤布（8）。2.根据权利要求1所述的一种带主次凹槽的多层抛光垫，其特征在于：所述热塑性聚氨酯层（3）远离聚氯乙烯层（2）的一侧安装有加强层（9），所述加强层（9）远离热塑性聚氨酯层（3）的一侧与第二滤布（8）相连接，所述聚氯乙烯层（2）靠近热塑性聚氨酯层（3）的一侧固定有第二限位块（12），且聚氯乙烯层（2）的侧壁位于两个第二限位块（12）...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋献礼，
申请(专利权)人：拓高工贸苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：