【技术实现步骤摘要】
一种带主次凹槽的多层抛光垫
[0001]本技术属于抛光垫
，具体涉及一种带主次凹槽的多层抛光垫。
技术介绍
[0002]抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫，按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫，按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。
[0003]在专利号为CN201820190589.X的中国专利中，公开了一种带主次凹槽的多层抛光垫，该装置通过设置不同深度且彼此勾通的主次凹槽，可储存抛光液，从而使抛光后的晶片获得高度的平整度和光滑度，但该装置在实际使用时仍存在较多的缺陷，例如，未设置防渗透的结构，导致抛光液容易渗入热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，不仅影响抛光效果，且影响装置的使用寿命，另外，抛光垫的弹性性能较差，抛光处理过程中基垫容易发生变形，且容易造成热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层分离，影响稳定性。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种带主次凹槽的多层抛光垫，以解决上述...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带主次凹槽的多层抛光垫，其特征在于：包括亲水聚酰胺层（5）、热塑性聚氨酯层（3）和聚氯乙烯层（2），所述热塑性聚氨酯层（3）位于亲水聚酰胺层（5）与聚氯乙烯层（2）之间的位置处，所述亲水聚酰胺层（5）远离热塑性聚氨酯层（3）的一侧开设有凹槽（14），所述凹槽（14）包括主凹槽（141）和次凹槽（142），且主凹槽（141）与次凹槽（142）相互连通，所述亲水聚酰胺层（5）与热塑性聚氨酯层（3）之间连接有防水层（4），所述防水层（4）远离亲水聚酰胺层（5）的一侧固定有第一滤布（6），所述第一滤布（6）远离防水层（4）的一侧连接有高分子树脂吸水层（7），所述高分子树脂吸水层（7）远离第一滤布（6）的一侧安装有第二滤布（8）。2.根据权利要求1所述的一种带主次凹槽的多层抛光垫，其特征在于：所述热塑性聚氨酯层（3）远离聚氯乙烯层（2）的一侧安装有加强层（9），所述加强层（9）远离热塑性聚氨酯层（3）的一侧与第二滤布（8）相连接，所述聚氯乙烯层（2）靠近热塑性聚氨酯层（3）的一侧固定有第二限位块（12），且聚氯乙烯层（2）的侧壁位于两个第二限位块（12）...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋献礼，
申请(专利权)人：拓高工贸苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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