着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、红外光截止滤色器以及固体成像元件技术

本发明专利技术提供一种着色感光性组合物，其能够密合性良好地形成对波长365nm的光的透射率较低的膜。并且，提供使用着色感光性组合物的固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器。所述着色感光性组合物，包含含氟原子的肟酯系光聚合引发剂、具有烯属不饱和双键的聚合性化合物、碱可溶性树脂、及着色剂，其中，所述含氟原子的肟酯系光聚合引发剂与所述α

【技术实现步骤摘要】
着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、红外光截止滤色器以及固体成像元件
本申请是PCT国际申请日为2016年2月25日、PCT国际申请号为PCT/JP2016/055661、国家申请号为201680017381.1并且专利技术名称为“着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器”的申请的分案申请。


本专利技术涉及一种着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器。

技术介绍

滤色器是固体成像元件及图像显示装置中不可或缺的构成元件。固体成像元件及图像显示装置有时会通过可见光的反射而产生噪声。由此，在固体成像元件及图像显示装置中进行设置遮光膜来实现抑制噪声的产生。作为此种滤色器及遮光膜的制造方法，已知有如下方法，即，使用包含着色剂、聚合性化合物、光聚合引发剂及碱可溶性树脂的着色感光性组合物而形成着色组合物层，将该着色组合物层进行曝光及显影而形成图案。作为光聚合引发剂，已知含氟原子的肟酯系光聚合引发剂(参考专利文献1～3)。以往技术文献专利文献专利文献1：日本专利公表2014
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500852号公报专利文献2：日本特开2010
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262028号公报专利文献3：日本特开2013
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164471号公报

技术实现思路

专利技术要解决的技术课题根据本专利技术人等的研究，得知使用用于形成对365nm的光的透射率较低的固化膜的着色感光性组合物进行曝光及显影来形成图案之后，所得到的图案与支撑体等的密合性不充分。另外，专利文献1～3中公开了一种含氟原子的肟酯系光聚合引发剂，而专利文献1～3中并没有公开或启示关于使用含有含氟原子的肟酯系光聚合引发剂的着色感光性组合物来密合性良好地形成对波长365nm的光的透射率较低的膜。由此，本专利技术的目的在于提供一种着色感光性组合物，其能够密合性良好地形成对波长365nm的光的透射率较低的膜。并且提供使用了着色感光性组合物的固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器。用于解决技术课题的手段
本专利技术人等经过详细研究，结果发现制成干燥后的膜的膜厚为2.0μm的膜时，通过使膜在波长365nm中的光学浓度成为1.5以上的着色感光性组合物含有含氟原子的肟酯系光聚合引发剂，能够实现上述目的，以至完成本专利技术。即，本专利技术为如下。<1>一种着色感光性组合物，包含含氟原子的肟酯系光聚合引发剂、具有烯属不饱和双键的聚合性化合物、碱可溶性树脂、及着色剂，其中，使用着色感光性组合物制成干燥后的膜厚为2.0μm的膜时，膜在波长365nm中的光学浓度为1.5以上。<2>如<1>所述的着色感光性组合物，其中，含氟原子的肟酯系光聚合引发剂选自具有氟原子的烷基、及包含具有氟原子的烷基的基团的至少1种。<3>如<1>或<2>所述的着色感光性组合物，其中，含氟原子的肟酯系光聚合引发剂包含下式(1a)所表示的化合物。[化学式1]通式(1a)中，A1及A2分别独立地表示烷基、酰基、芳基或杂环基，A3表示烷基、芳基或杂环基，其中，A1～A3中的至少1个包含氟原子。<4>如<1>或<2>所述的着色感光性组合物，其中，含氟原子的肟酯系光聚合引发剂包含下式(1)所表示的化合物。[化学式2]式(1)中，Ar1及Ar2分别独立地表示也可以具有取代基的芳香族烃环，R1表示具有含氟原子的基团的芳基，R2及R3分别独立地表示烷基或芳基。<5>如<1>～<4>中任一项所述的着色感光性组合物，其进一步包含有机颜料，并且着色感光性组合物的在波长400nm以上且小于580nm的范围中的吸光度的最小值A与波长580nm以上且750nm以下的范围中的吸光度的最小值B的比率A/B为0.3～3，波长400nm以上且750nm以下的范围中的吸光度的最小值C与波长1000nm以上且1300nm以下的范围中的吸光度的最大值D的比率C/D为5以上。<6>如<1>～<4>中任一项所述的着色感光性组合物，其进一步包含具有氟原子及固化性官能团的固化性化合物。<7>如<6>所述的着色感光性组合物，其进一步包含黑色颜料。<8>如<1>～<7>中任一项所述的着色感光性组合物，其进一步包含α
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氨基酮系光聚合引发剂，且含氟原子的肟酯系光聚合引发剂与α
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氨基酮系光聚合引发剂的质量比为1∶
1.5～1∶10。<9>如<1>～<8>中任一项所述的着色感光性组合物，其进一步包含除了含氟原子的肟酯系光聚合引发剂以外的肟系光聚合引发剂。<10>如<1>～<9>中任一项所述的着色感光性组合物，其中，一氯苯与甲基叔丁基醚的质量之合相对于着色感光性组合物的总质量为2ppm以下。<11>如<1>～<10>中任一项所述的着色感光性组合物，其用于i射线曝光。<12>一种使用如<1>～<11>中任一项所述的着色感光性组合物的固化膜。<13>如<12>所述的固化膜，其为滤色器或遮光膜。<14>一种图案形成方法，其包括，使用如<1>～<11>中任一项所述的着色感光性组合物在支撑体上形成着色组合物层的工序、将着色组合物层曝光成为图案状的工序、显影去除所述着色组合物层的未曝光部而形成着色图案的工序。<15>如<14>所述的图案形成方法，其用i射线进行曝光。<16>一种带遮光膜的红外光截止滤色器，具有红外光截止滤色器、配置于红外光截止滤色器的表面上的至少一部分的、由固化<7>所述的着色感光性组合物而形成的遮光膜。<17>一种具有如<12>所述的固化膜的固体成像元件。<18>一种具有如&本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种着色感光性组合物，其包含：含氟原子的肟酯系光聚合引发剂；α
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氨基酮系光聚合引发剂；具有烯属不饱和双键的聚合性化合物；碱可溶性树脂；以及着色剂，其中，所述含氟原子的肟酯系光聚合引发剂与所述α
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氨基酮系光聚合引发剂的质量比为1∶1.5～1∶10，使用所述着色感光性组合物制成干燥后的膜厚为2.0μm的膜时，所述膜在波长365nm处的光学浓度为1.5以上。2.根据权利要求1所述的着色感光性组合物，其中，所述含氟原子的肟酯系光聚合引发剂含有选自具有氟原子的烷基、及包含具有氟原子的烷基的基团中的至少1种。3.根据权利要求1或2所述的着色感光性组合物，其中，所述含氟原子的肟酯系光聚合引发剂包含下式(1a)所表示的化合物，通式(1a)中，A1及A2分别独立地表示烷基、酰基、芳基或杂环基、A3表示烷基、芳基或杂环基，其中，A1～A3中的至少1个包含氟原子。4.根据权利要求1或2所述的着色感光性组合物，其中，所述含氟原子的肟酯系光聚合引发剂包含下式(1)所表示的化合物，式(1)中，Ar1及Ar2分别独立地表示可以具有取代基的芳香族烃环，R1表示具有含氟原子的基团的芳基，R2及R3分别独立地表示烷基或芳基。5.根据权利要求1或2所述的着色感光性组合物，其进一步包含有机颜料，所述着色感光性组合物的在波长400nm以上且小于580nm的范围中的吸光度的最小值A与在波长580nm以上且750nm以下的范围中的吸光度的最小值B的比率A/B为0.3～3，在波长400nm以上且750nm以下的范围中的吸光度的最小值C与在波长1000nm以上且1300nm以...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥和敬，浜田大辅，北岛峻辅，京田浩和，青柳薰，吉林光司，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：