一种基于信息安全的生产配方解析方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基于信息安全的生产配方解析管理方法及系统，它包括EQP用于根据EAP系统指定的配方ID及相应的参数进行生产，以及清空机台内的配方ID及相应的参数；EAP系统用于控制产品跑货流程，根据MES获取产品配方ID想RMS系统请求产品配方参数，并向EQP发送生产所需的配方ID及相关参数，以及给EQP下发指令清仓机台内的配方ID及相关参数；RMS系统用于配置机台信息、产品配方信息，并在EAP系统请求时提供对应的参数，以及通过配方由参数根据规则生成为机台识别的字符串。本发明专利技术集中管理机台生产配方，方便对配方的访问修改签核等进行权限管控，促进生产配方的信息安全，避免直接从机台上拷贝、抄写到生产配方，解决了现有产品生产配方管理安全性低的问题。生产配方管理安全性低的问题。生产配方管理安全性低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于信息安全的生产配方解析方法及系统


[0001]本专利技术涉及配方管理
，尤其涉及一种基于信息安全的生产配方解析方法及系统。

技术介绍

[0002]RMS系统(RecipeManagementSystem)即配方(recipe)管理系统，对半导体和面板生产中的配方(recipe)进行管理，对产品在每个机台生产的配方及参数进行检查，以满足配方内容的可见性、参数的可追溯性及生产的稳定性，从而实现配方的先进工艺控制以提高生产的可靠性。
[0003]半导体和面板生产时，产品被搬送到机台，然后EAP(或BC)系统向MES系统请求生产资料，通过生产资料获取此产品在该机台上需要使用的配方。接着查询此机台上是否存在此配方，如果存在，则向MES确认是否需要检查此配方的参数，如果MES回复需要检查，则EAP(或BC)系统向机台查询此配方的参数，机台上报一串未知字符后，EAP根据配方的解析规则解析出需要管控的配方参数，然后上报RMS系统。RMS系统上如果有维护此机台此配方的管控参数，则RMS系统将比对EAP(或BC)系统上报的配方参数同维护的参数配置，如果比对一致则回复EAP(或BC)系统OK,否则回复NG。在EAP(或)BC系统接收RMS系统回复为OK后，则将包含配方的生产资料发送给机台并通知机台开始生产。
[0004]生产配方是半导体和面板行业重要的资产，重要的生产配方如果可以轻易地被拷贝、记录，则存在很明显的信息安全风险而造成重大损失；传统的配方管理方式都是在机台上会保存生产配方，EAP(或BC)系统上也会记录到配方信息；但是机台和EAP(或BC)系统是很多人员都可以很容易接触到的，这无疑将影响到生产配方的安全性。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供了一种基于信息安全的生产配方解析管理方法及系统，解决了现有产品生产配方管理安全性低的问题。
[0006]本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：一种基于信息安全的生产配方解析管理系统，它包括MES系统、EQP、EAP系统和MES系统；
[0007]所述MES系统用于提供产品的产品配方ID给所述EAP系统；
[0008]所述EQP用于根据所述EAP系统指定的配方ID及相应的参数进行生产，同时根据每批产品生产结束后EAP下达的指令清空机台内的配方ID及相应的参数；
[0009]所述EAP系统用于控制产品跑货流程，根据所述MES获取产品配方ID想所述RMS系统请求产品配方参数，并向所述EQP发送生产所需的配方ID及相关参数，以及给所述EQP下发指令清仓机台内的配方ID及相关参数；
[0010]所述RMS系统用于配置机台信息、产品配方信息，并在所述EAP系统请求时提供对应的参数，以及通过配方由参数根据规则生成为机台识别的字符串。
[0011]一种基于信息安全的生产配方解析管理方法，所述生产配方解析管理方法包括：
[0012]获取产品配方ID步骤：根据产品载具信息拆解出配方ID；
[0013]解析产品配方ID步骤：请求配方参数并解析成可识别格式后将配方参数发送到机台；
[0014]产品生产及清除步骤：机台根据接收到的配方参数进行生产，并在生产完成后清空配方参数信息。
[0015]所述获取产品配方ID步骤具体包括：
[0016]EQP系统上报产品载具ID到EAP系统，EAP系统处理产品载具信息后向MES系统请求产品资料信息；
[0017]MES系统发送产品资料信息到EAP系统，EAP系统根据接收到的产品资料信息拆解出产品生产配方ID。
[0018]所述解析产品配方ID步骤具体包括：
[0019]EAP系统向RMS请求配方参数，RMS系统判断处理配方ID并将配方参数解析成EQP可识别的格式；
[0020]RMS系统发送将解析后的配方参数信息发送到EAP系统中，EAP系统将解析后的配方参数信息发送到EQP中。
[0021]所述产品生产及清除步骤具体包括：
[0022]EQP接收到解析后的配方参数信息后并在机台上进行产品生产；
[0023]在产品生产完毕或者产品搬走后向EAP系统发送完成信息；
[0024]EAP系统接收到完成信息后想EQP发送清空配方参数指令，EQP接收到指令后清空机台内的配方参数信息。
[0025]本专利技术具有以下优点：一种基于信息安全的生产配方解析管理方法及系统，集中管理机台生产配方，方便对配方的访问修改签核等进行权限管控，促进生产配方的信息安全，避免直接从机台上拷贝、抄写到生产配方，解决了现有产品生产配方管理安全性低的问题。
附图说明
[0026]图1为本专利技术系统的结构示意图。
具体实施方式
[0027]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下结合附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的保护范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。下面结合附图对本专利技术做进一步的描述。
[0028]如图1所示，本专利技术涉及一种基于信息安全的生产配方解析管理系统，它包括MES系统、EQP、EAP系统和MES系统；
[0029]其中，RMS系统(RecipeManagementSystem)即配方(recipe)管理系统,对半导体和
面板生产中的配方(recipe)进行管理，对产品在每个机台生产的配方及参数进行检查，以满足配方内容的可见性、参数的可追溯性及生产的稳定性，从而实现配方的先进工艺控制以提高生产的可靠性。
[0030]EAP系统的程序(EquipmentAutomationProgram)即设备自动化程序，介于MES(ManufacturingExecutionSystem，制造执行系统)与设备之间，用于信息传输、数据收集、流程控制等几个方面，以达到工厂自动化作业的目的，在很大程度上降低人员手动作业的失误风险，提高生产效率及产品良率。
[0031]所述MES系统用于提供产品的产品配方ID给所述EAP系统；
[0032]所述EQP(机台)用于根据所述EAP系统指定的配方ID及相应的参数进行生产，同时根据每批产品生产结束后EAP下达的指令清空机台内的配方ID及相应的参数；
[0033]所述EAP系统用于控制产品跑货流程，根据所述MES获取产品配方ID想所述RMS系统请求产品配方参数，并向所述EQP发送生产所需的配方ID及相关参数，以及给所述EQP下发指令清仓机台内的配方ID及相关参数；
[0034]所述RMS系统用于配置机台信息、产品配方信息，并在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于信息安全的生产配方解析管理系统，其特征在于：它包括MES系统、EQP、EAP系统和MES系统；所述MES系统用于提供产品的产品配方ID给所述EAP系统；所述EQP用于根据所述EAP系统指定的配方ID及相应的参数进行生产，同时根据每批产品生产结束后EAP下达的指令清空机台内的配方ID及相应的参数；所述EAP系统用于控制产品跑货流程，根据所述MES获取产品配方ID想所述RMS系统请求产品配方参数，并向所述EQP发送生产所需的配方ID及相关参数，以及给所述EQP下发指令清仓机台内的配方ID及相关参数；所述RMS系统用于配置机台信息、产品配方信息，并在所述EAP系统请求时提供对应的参数，以及通过配方由参数根据规则生成为机台识别的字符串。2.一种基于信息安全的生产配方解析管理方法，其特征在于：所述生产配方解析管理方法包括：获取产品配方ID步骤：根据产品载具信息拆解出配方ID；解析产品配方ID步骤：请求配方参数并解析成可识别格式后将配方参数发送到机台；产品生产及清除步骤：机台根据接收到的配方参数进行生产，并在生产完成后清空配方参数信息。...

【专利技术属性】
技术研发人员：金俊杰，贺远苗，刘丰洋，郭翥，邹良栋，
申请(专利权)人：中电九天智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：