一种TEM平面样品的定位裂片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光电材料的裂片技术领域，且公开了一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括定位裂片装置本体，所述定位裂片装置本体包括工作台和操作设备，所述工作台包括固定块、Z轴杆、受力条和底座，所述操作设备包括滑动块、Y轴杆、裂片刀和调节刀片设备，所述裂片装置本体顶部设有待裂片材质，所述待裂片材质包括待裂片位置和标记，所述工作台位于裂片装置本体底部。该TEM平面样品的定位裂片装置，通过裂片装置本体顶部安装有工作台，利用受力条的顶部平整作用，可以使得待裂片材质达到快速定位的有益效果，通过工作台和操作设备进行组装成裂片装置本体，达到了结构简单非专业人员也可使用的有益效果。用的有益效果。用的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种TEM平面样品的定位裂片装置


[0001]本技术涉及光电材料的裂片
，具体为一种TEM平面样品的定位裂片装置。

技术介绍

[0002]若光电材料经失效分析检测有漏电异常,那很有可能是因光电材料内部存在结构缺陷所致,对于这种情况，需要对该光电材料的结构缺陷部位做进一步观察分析。通常缺陷部位的尺寸比较小，而SEM(扫描式电子显微镜)的分辨率又较低,所以通常采用分辨率较高的TEM(透射电子显微镜)来对缺陷部位做进一步的观察和分析，而TEM平面样品需经过DB
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FIB(双束聚焦离子束)制备后才能进行分析。在TEM平面样品制作过程中，由于光电材料晶圆较大，无法放置于DB
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FIB机台，需要对光电材料进行裂片。
[0003]传统的对光电材料的裂片方式是：1、采用裂片刀的方式，首先按照待裂片位置划下切割线，再采用裂片刀沿着切割线进行裂片。这种方法无法很好的控制裂片刀的操作轨迹，容易造成实际的切割方向与切割线偏差，而且对于尺寸小的结构缺陷部位，无法通过肉眼观察到，导致裂片时无法精确定位，裂片效率较低；2、采用激光裂片方式，通过电子显微镜确定待裂片材料的待裂片位置，并通过设于电子显微镜上的激光装置对待裂片位置进行激光照射，以击穿待裂片材料，该方法可以精确定位，但是激光照射击穿形成的裂缝比较粗糙，不够光滑，影响样品的质量。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种TEM平面样品的定位裂片装置，具备快速定位，结构简单等优点，解决了上述技术问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括定位裂片装置本体，所述定位裂片装置本体包括工作台和操作设备，所述工作台包括固定块、Z轴杆、受力条和底座，所述操作设备包括滑动块、Y轴杆、裂片刀和调节刀片设备，所述裂片装置本体顶部设有待裂片材质，所述待裂片材质包括待裂片位置和标记。
[0008]优选的，所述工作台位于裂片装置本体底部，所述操作设备安装于裂片装置本体底部，且连接工作台左右两端Z轴杆顶端。
[0009]通过上述技术方案，通过在裂片装置本体底部安装有工作台，利用工作台可以将待裂片材质进行裂片，能够快速定位，且稳定安装在裂片装置本体顶部，通过裂片装置本体顶部安装有操作设备能够进行快速裂片。
[0010]优选的，所述固定块安装于工作台顶部四角，所述Z轴杆安装于固定块之间，所述受力条安装于底座顶部中心位置，所述底座位于工作台底部。
[0011]通过上述技术方案，通过工作台顶顶部安装有固定块，使得能过将Z轴杆进行固
定，利用Z轴杆能够将操作设备进行Z轴滑动操作，通过底座顶部安装有受力条，利用受力条将待裂片材质按压进行裂片。
[0012]优选的，所述滑动块连接于Z轴杆顶部，且位于操作设备顶部，所述Y轴杆安装于滑动块之间，所述调节刀片设备安装于Y轴杆之间，所述裂片刀安装于调节刀片设备底部。
[0013]通过上述技术方案，通过Z轴杆顶部连接于滑动块，滑动块在Z轴杆上进行滑动，来控制裂片刀进行对待裂片材质进行有效的裂片，利用在滑动块之间安装有Y轴杆，能够使操作设备进行Y轴滑动吗，进行裂片，在调节刀片设备底部安装有裂片刀，利用裂片来进行对待裂片材质顶部的，待裂片位置进行有效的快速裂片。
[0014]优选的，所述待裂片材质放置于裂片装置本体顶部，且底部连接受力条顶部表面。
[0015]通过上述技术方案，通过裂片装置本体顶部放置有待裂片材质，能够利用裂片装置本体对待裂片材质，快速进行裂片，且裂片为一条线，不会触碰到旁边的元件，保持对待裂片材质的有效保护。
[0016]优选的，所述待裂片位置位于待裂片材质左端，所述标记与待裂片位置处于直线上。
[0017]通过上述技术方案，通过待裂片材质左端安装有待裂片位置，且标记与待裂片位置处于一条线上，能够利用裂片刀使待裂片材质进行裂片。
[0018]与现有技术相比，本技术提供了一种TEM平面样品的定位裂片装置，具备以下有益效果：
[0019]1、该TEM平面样品的定位裂片装置，通过裂片装置本体顶部安装有工作台，利用受力条的顶部平整作用，可以使得待裂片材质达到快速定位的有益效果。
[0020]2、该TEM平面样品的定位裂片装置，通过工作台和操作设备进行组装成裂片装置本体，达到了结构简单非专业人员也可使用的有益效果。
附图说明
[0021]图1为本技术结构立体示意图；
[0022]图2为本技术结构侧面示意图；
[0023]图3为本技术结构待裂片材质示意图；
[0024]图4为本技术结构裂片刀示意图。
[0025]其中：1、裂片装置本体；2、工作台；3、操作设备；201、固定块；202、Z轴杆；203、受力条；204、底座；301、滑动块；302、Y轴杆；303、裂片刀；304、调节刀片设备；4、待裂片材质；401、待裂片位置；402、标记。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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4，一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括定位裂片装置本体1，定位裂片装置本体1包括工作台2和操作设备3，工作台2包括固定块201、Z轴杆202、受力条203和
底座204，操作设备3包括滑动块301、Y轴杆302、裂片刀303和调节刀片设备304，裂片装置本体1顶部设有待裂片材质4，待裂片材质4包括待裂片位置401和标记402。
[0028]具体的，工作台2位于裂片装置本体1底部，操作设备3安装于裂片装置本体1底部，且连接工作台2左右两端Z轴杆202顶端。
[0029]优点是通过在裂片装置本体1底部安装有工作台2，利用工作台2可以将待裂片材质4进行裂片，能够快速定位，且稳定安装在裂片装置本体1顶部，通过裂片装置本体1顶部安装有操作设备3能够进行快速裂片。
[0030]具体的，固定块201安装于工作台2顶部四角，Z轴杆202安装于固定块201之间，受力条203安装于底座204顶部中心位置，底座204位于工作台2底部。
[0031]优点是通过工作台顶2顶部安装有固定块201，使得能过将Z轴杆202进行固定，利用Z轴杆202能够将操作设备3进行Z轴滑动操作，通过底座204顶部安装有受力条203，利用受力条203将待裂片材质4按压进行裂片。
[0032]具体的，滑动块301连接于Z轴杆202顶部，且位于操作设备3顶部，Y轴杆302安装于滑动块301之间，调节刀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括定位裂片装置本体（1），其特征在于：所述定位裂片装置本体（1）包括工作台（2）和操作设备（3），所述工作台（2）包括固定块（201）、Z轴杆（202）、受力条（203）和底座（204），所述操作设备（3）包括滑动块（301）、Y轴杆（302）、裂片刀（303）和调节刀片设备（304），所述裂片装置本体（1）顶部设有待裂片材质（4），所述待裂片材质（4）包括待裂片位置（401）和标记（402）。2.根据权利要求1所述的一种TEM平面样品的定位裂片装置，其特征在于：所述工作台（2）位于裂片装置本体（1）底部，所述操作设备（3）安装于裂片装置本体（1）底部，且连接工作台（2）左右两端Z轴杆（202）顶端。3.根据权利要求1所述的一种TEM平面样品的定位裂片装置，其特征在于：所述固定块（201）安装于工作台（2）顶部四角，所述Z轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：严祥平，
申请(专利权)人：上海芯愿集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：