一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线，所述显影液生产线的一侧设置有冷凝回收甲醇，所述冷凝回收甲醇的一侧设置有真空泵机组，所述真空泵机组主要包括有水环真空泵，所述真空泵机组的一侧设置有水封罐，所述水封罐的一侧设置有七塔，所述七塔的一侧设置有膜回收机组，所述膜回收机组的内部设置有预冷器，所述预冷器的上端设置有真空泵，所述真空泵的上端设置有旁通管辂。本实用新型专利技术所述的一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，在七塔尾气出口处安装膜回收装置，回收尾气中甲醇等有机相液态，回收液资源化利用，降低尾气浓度，减轻后续VOC治理负荷，带来更好的使用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置
本技术涉及显影液生产线的甲醇尾气回收领域，特别涉及一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置。
技术介绍
TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置是回收显影液生产线产生尾气的支撑设备，显影液生产线产生的尾气如果直接排放到空气中，容易造成环境的污染，影响人们的正常使用，随着科技的不断发展，人们对于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置的制造工艺要求也越来越高。现有的TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置在使用时存在一定的弊端，甲醇沸点低(64.7度)，真空尾气经液封、循环水冷凝、酸洗后甲醇浓度依然较高，高浓尾气(含甲醇、水蒸气)导致活性炭容易饱和，活性炭更换频繁(炭吸附装置不做脱附处理，饱和后更换活性炭)，如不及时更换活性炭，尾气浓度会超出末端治理装置允许浓度范围，存安全隐患，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，具备操作便捷，使用方便与实用性强等优点，可以有效解决
技术介绍
中的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线，所述显影液生产线的一侧设置有冷凝回收甲醇，所述冷凝回收甲醇的一侧设置有真空泵机组，所述真空泵机组主要包括有水环真空泵，所述真空泵机组的一侧设置有水封罐，所述水封罐的一侧设置有七塔，所述七塔的一侧设置有膜回收机组，所述膜回收机组的内部设置有预冷器，所述预冷器的上端设置有真空泵，所述真空泵的上端设置有旁通管辂，所述预冷器的下端设置有冷凝器，所述冷凝器的一端设置有制冷机组，所述预冷器的一端设置有气体分离膜，所述冷凝器的下端设置有甲醇回收，所述膜回收机组的一侧设置有九塔，所述九塔的一侧设置有碳吸附。优选的，所述水环真空泵的数量为三组。优选的，所述冷凝器与预冷器之间设有一号连接管道，所述冷凝器的入口通过一号连接管道与预冷器的出口固定连接。优选的，所述七塔产生的尾气流量为70-100Nm3/h，所述七塔的产生的尾气夏季最高温为38℃，且冬季最低温为20℃，所述七塔产生甲醇含量夏季为15.67Kpa，且冬季为7.24KPa。优选的，所述制冷机组与冷凝器之间设有二号连接管道，所述制冷机组的入口通过二号连接管道与冷凝器的出口固定连接。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，具备以下有益效果：该用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，提高TMAH显影液生产线产生的尾气回收效率，提高人们的使用效率，来自七塔的含甲醇等组分尾气经风机加压进入气体分离膜组件，有机相(甲醇、三甲胺、碳酸二甲酯)优先透过膜组件，在膜下游侧提浓富集，被冷凝回收至回收罐，TMAH显影液生产线产生的尾气先进入冷凝回收甲醇装置中，进行冷凝回收，接着从甲醇装置出来的尾气进入到真空泵机组进行净化，真空泵机组主要包括水环真空泵，净化后的尾气在进入到水封罐中，进行操作，操作后的尾气进入七塔中使用，然后从七塔中的尾气进入到膜回收机组中，先进入到预冷器中，然后进入到冷凝器中，冷凝器中的尾气进入到制冷机组中，进行尾气的制冷，提高尾气的回收效率，尾气从预冷器和冷凝器中操作后，产生的甲醇，可以进行回收，提高资源的有效利用，然后从一部分的尾气从真空泵中穿过，与预冷器中的尾气进入到气体分离膜中，进行尾气的分离，分离后的尾气可以进一步操作使用，最终可以将尾气净化，可以回收尾气中甲醇等有机相，未透过分离膜的成为渗余气，主要为空气(含少量有机气体)排放进入九塔及后续VOC治理装置，整个TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。附图说明图1为本技术一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置的改造后结构示意图。图2为本技术一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置中膜回收机组的结构示意图。图3为本技术一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置的现有结构示意图。图中：1、显影液生产线；2、冷凝回收甲醇；3、水环真空泵；4、真空泵机组；5、水封罐；6、七塔；7、膜回收机组；701、制冷机组；702、冷凝器；703、预冷器；704、旁通管辂；705、真空泵；706、甲醇回收；707、气体分离膜；8、九塔；9、碳吸附。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-3所示，一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线1，显影液生产线1的一侧设置有冷凝回收甲醇2，冷凝回收甲醇2的一侧设置有真空泵机组4，真空泵机组4主要包括有水环真空泵3，真空泵机组4的一侧设置有水封罐5，水封罐5的一侧设置有七塔6，七塔6的一侧设置有膜回收机组7，膜回收机组7的内部设置有预冷器703，预冷器703的上端设置有真空泵705，真空泵705的上端设置有旁通管辂704，预冷器703的下端设置有冷凝器702，冷凝器702的一端设置有制冷机组701，预冷器703的一端设置有气体分离膜707，冷凝器702的下端设置有甲醇回收706，膜回收机组7的一侧设置有九塔8，九塔8的一侧设置有碳吸附9。进一步的，水环真空泵3的数量为三组，提高尾气的净化效率。进一步的，冷凝器702与预冷器703之间设有一号连接管道，冷凝器702的入口通过一号连接管道与预冷器703的出口固定连接，便于冷凝器702与预冷器703之间的连接使用。进一步的，七塔6产生的尾气流量为70-100Nm3/h，七塔6的产生的尾气夏季最高温为38℃，且冬季最低温为20℃，七塔6产生甲醇含量夏季为15.67Kpa，且冬季为7.24Kpa，便于人们根据相应的情况进行下一步操作使用，提高人们的处理效率。进一步的，制冷机组701与冷凝器702之间设有二号连接管道，制冷机组701的入口通过二号连接管道与冷凝器702的出口固定连接，便于制冷机组701与冷凝器702之间的连接使用。工作原理：该用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，提高TMAH显影液生产线1产生的尾气回收效率，提高人们的使用效率，来自七塔6的含甲醇等组分尾气经风机加压进入气体分离膜707组件，有机相(甲醇、三甲胺、碳酸二甲酯)优先透过膜组件，在膜下游侧提浓富集，被冷凝回收至回收罐，TMAH显影液生产线1产生的尾气先进入冷凝回收甲醇2装置中，进行冷凝回收，接着从甲醇装置出来的尾气进入到真空泵机组4进行净化，真空泵机组4主要包括水环真空泵3，净化后的尾气在进入到水封罐5中，进行操作，操作后的尾气进入七塔6中使用，然后从七塔6中的尾气进入到膜回收机组7中，先进入到预冷器703中，然后进入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线(1)，其特征在于：所述显影液生产线(1)的一侧设置有冷凝回收甲醇(2)，所述冷凝回收甲醇(2)的一侧设置有真空泵机组(4)，所述真空泵机组(4)主要包括有水环真空泵(3)，所述真空泵机组(4)的一侧设置有水封罐(5)，所述水封罐(5)的一侧设置有七塔(6)，所述七塔(6)的一侧设置有膜回收机组(7)，所述膜回收机组(7)的内部设置有预冷器(703)，所述预冷器(703)的上端设置有真空泵(705)，所述真空泵(705)的上端设置有旁通管辂(704)，所述预冷器(703)的下端设置有冷凝器(702)，所述冷凝器(702)的一端设置有制冷机组(701)，所述预冷器(703)的一端设置有气体分离膜(707)，所述冷凝器(702)的下端设置有甲醇回收(706)，所述膜回收机组(7)的一侧设置有九塔(8)，所述九塔(8)的一侧设置有碳吸附(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线(1)，其特征在于：所述显影液生产线(1)的一侧设置有冷凝回收甲醇(2)，所述冷凝回收甲醇(2)的一侧设置有真空泵机组(4)，所述真空泵机组(4)主要包括有水环真空泵(3)，所述真空泵机组(4)的一侧设置有水封罐(5)，所述水封罐(5)的一侧设置有七塔(6)，所述七塔(6)的一侧设置有膜回收机组(7)，所述膜回收机组(7)的内部设置有预冷器(703)，所述预冷器(703)的上端设置有真空泵(705)，所述真空泵(705)的上端设置有旁通管辂(704)，所述预冷器(703)的下端设置有冷凝器(702)，所述冷凝器(702)的一端设置有制冷机组(701)，所述预冷器(703)的一端设置有气体分离膜(707)，所述冷凝器(702)的下端设置有甲醇回收(706)，所述膜回收机组(7)的一侧设置有九塔(8)，所述九塔(8)的一侧设置有碳吸附(9)。


2.根据权利要求1所述的一种用于TM...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘颂军，孙炜，贾成林，郭双环，
申请(专利权)人：沧州信联化工有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13