一种水平振动在线监测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种水平振动在线监测装置，包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部，石墨烯层置于绝缘层上，电负性材料部置于石墨烯层的一端上，石墨烯层延伸出绝缘层，并且包覆电负性材料部的侧面和顶面，源极设置在电负性材料部顶部的石墨烯层上，漏极设置在绝缘层上的石墨烯层上，固定部固定在石墨烯层上，固定部与电负性材料部接触，电正性材料部固定在固定部上，电正性材料部的侧面与电负性材料部的侧面接触。本发明专利技术具有水平振动在线监测灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种水平振动在线监测装置
本专利技术涉及振动在线监测领域，具体涉及一种水平振动在线监测装置。
技术介绍
振动在线监测是指在运行状态下对机组的振动进行监测。振动在线监测可以实时进行故障诊断和控制，是生产中的重要环节。传统针对振动的监测技术多是针对竖直方向振动的，不能针对水平方向的振动进行在线监测。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种水平振动在线监测装置，包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部，石墨烯层置于绝缘层上，电负性材料部置于石墨烯层的一端上，石墨烯层延伸出绝缘层，并且包覆电负性材料部的侧面和顶面，源极设置在电负性材料部顶部的石墨烯层上，漏极设置在绝缘层上的石墨烯层上，固定部固定在石墨烯层上，固定部与电负性材料部接触，电正性材料部固定在固定部上，电正性材料部的侧面与电负性材料部的侧面接触。更进一步地，固定部的高度小于电负性材料部高度的四分之一。更进一步地，电正性材料部的高度大于电负性材料部的高度。更进一步地，电正性材料部与石墨烯层或源极接触。更进一步地，电正性材料部的顶部设有凹槽。更进一步地，固定部的材料为绝缘材料。更进一步地，电正性材料部的材料为铝。更进一步地，电负性材料部的材料为氟化乙烯丙烯共聚物。更进一步地，源极和漏极的材料为金、银、铂。更进一步地，石墨烯层中石墨烯的层数大于1层、小于8层。本专利技术的有益效果：本专利技术提供了一种水平振动在线监测装置，包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部，石墨烯层置于绝缘层上，电负性材料部置于石墨烯层的一端上，石墨烯层延伸出绝缘层，并且包覆电负性材料部的侧面和顶面，源极设置在电负性材料部顶部的石墨烯层上，漏极设置在绝缘层上的石墨烯层上，固定部固定在石墨烯层上，固定部与电负性材料部接触，电正性材料部固定在固定部上，电正性材料部的侧面与电负性材料部的侧面接触。应用时，绝缘层粘附在待测装置上，用以监测待测装置的水平振动。当待测装置水平振动时，电正性材料部与电负性材料部分离，从而改变电负性材料部内的电荷，相当于改变了石墨烯层的栅极电压，从而改变了石墨烯层的导电特性，通过探测石墨烯层的导电特性，实现待测装置水平振动的在线监测。由于石墨烯层的导电特性严重地依赖于石墨烯层的栅极电压，所以本专利技术具有水平振动在线监测灵敏度高的优点。以下将结合附图对本专利技术做进一步详细说明。附图说明图1是一种水平振动在线监测装置的示意图。图2是又一种水平振动在线监测装置的示意图。图中：1、绝缘层；2、石墨烯层；3、电负性材料部；4、源极；5、漏极；6、固定部；7、电正性材料部；8、凹槽。具体实施方式为进一步阐述本专利技术达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本专利技术的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。实施例1本专利技术提供了一种水平振动在线监测装置，如图1所示，包括绝缘层1、石墨烯层2、电负性材料部3、源极4、漏极5、固定部6、电正性材料部7。石墨烯层2置于绝缘层1上。绝缘层1的材料为二氧化硅。石墨烯层2中石墨烯的层数大于1层、小于8层，以保证石墨烯层2的导电特性对其栅极电压的敏感性，也就是石墨烯层2的导电特性对电负性材料部3内电荷的敏感性。电负性材料部3置于石墨烯层2的一端上，石墨烯层2延伸出绝缘层1，并且包覆电负性材料部3的侧面和顶面。相当于石墨烯层2包覆电负性材料部3的三个面：底面、侧面、顶面。电负性材料部3的材料为氟化乙烯丙烯共聚物。源极4设置在电负性材料部3顶部的石墨烯层2上，漏极5设置在绝缘层1上的石墨烯层2上。源极4和漏极5用以测量石墨烯层2的导电特性。源极4和漏极5的材料为金、银、铂。固定部6固定在石墨烯层2上，固定部6与电负性材料部3接触。固定部6可以与电负性材料部3固定在一起，也可以不与电负性材料部3固定在一起。固定部6的高度小于电负性材料部3的高度。固定部6的材料为绝缘材料。电正性材料部7固定在固定部6上，电正性材料部7的侧面与电负性材料部3的侧面接触。电正性材料部7的侧面不与电负性材料部3的侧面固定在一起。当待测装置水平振动时，电正性材料部7与电负性材料部3分离。电正性材料部7的材料为铝。应用时，绝缘层1粘附在待测装置上，用以监测待测装置的水平振动。当待测装置水平振动时，电正性材料部7与电负性材料部3分离，从而改变电负性材料部3内的电荷，相当于改变了石墨烯层2的栅极电压，从而改变了石墨烯层2的导电特性，通过探测石墨烯层2的导电特性，实现待测装置水平振动的在线监测。由于石墨烯层2的导电特性严重地依赖于石墨烯层2的栅极电压，所以本专利技术具有水平振动在线监测灵敏度高的优点。在本专利技术中，可以容易地调节电正性材料部7的高度，以调节振动时，电正性材料部7对电负性材料部3的压力，从而更多地改变电负性材料部3内的电荷，从而实现更高灵敏度的水平振动在线监测。另外，在本专利技术中，可以在电正性材料部7与电负性材料部接触3的相对侧面，也就是图1中电正性材料部7的右侧面粘附其他半导体材料片，例如硅材料片，以调节电正性材料部7的力学特性，从而改变电正性材料部7的振动特性，从而更多地改变电负性材料部3内的电荷，从而实现更高灵敏度的水平振动在线监测。实施例2在实施例1的基础上，固定部6的高度小于电负性材料部3高度的四分之一。这样一来，电正性材料部7与电负性材料部3具有更多的接触面积。当电正性材料部7振动时，更多地改变电负性材料部3内的电荷，从而实现更高灵敏度的水平振动在线监测。实施例3在实施例1的基础上，电正性材料部7的高度大于电负性材料部3的高度。这样一来，当电正性材料部7振动、电正性材料部7压迫电负性材料部3时，电正性材料部7对电负性材料部3的压力更大；当电正性材料部7与电负性材料部3分离时，电正性材料部7与电负性材料部3接触面积改变更多。这两方面的效果均使得电负性材料部3内的电荷变化更多，从而实现更高灵敏度的水平振动在线监测。实施例4在实施例1的基础上，电正性材料部7与石墨烯层2或源极4接触。这样一来，当电正性材料部7振动时，电正性材料部7挤压石墨烯层2，从而改变石墨烯层2的微观形貌，从而更多地改变石墨烯层2的导电特性，从而实现更高灵敏度的水平振动监测。实施例5在实施例1的基础上，如图2所示，电正性材料部7的顶部设有凹槽8。应用时，可以在凹槽8内填充不同质量的固体，从而调节电正性材料部7的共振频率，从而与待测装置的振动频率接近，从而更大幅度地改变电负性材料部3内的电荷，从而更多地改变石墨烯层2的导电特性，从而实现更高灵敏度的水平振动监测。以上内容是结合具体的优选实施方式对本专利技术所作的进一步详细说明，不能认定本专利技术的具体实施只局限于这些说明。对于本专利技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水平振动在线监测装置，其特征在于，包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部，所述石墨烯层置于所述绝缘层上，所述电负性材料部置于所述石墨烯层的一端上，所述石墨烯层延伸出所述绝缘层，并且包覆所述电负性材料部的侧面和顶面，所述源极设置在所述电负性材料部顶部的所述石墨烯层上，所述漏极设置在所述绝缘层上的所述石墨烯层上，所述固定部固定在所述石墨烯层上，所述固定部与所述电负性材料部接触，所述电正性材料部固定在所述固定部上，所述电正性材料部的侧面与所述电负性材料部的侧面接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种水平振动在线监测装置，其特征在于，包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部，所述石墨烯层置于所述绝缘层上，所述电负性材料部置于所述石墨烯层的一端上，所述石墨烯层延伸出所述绝缘层，并且包覆所述电负性材料部的侧面和顶面，所述源极设置在所述电负性材料部顶部的所述石墨烯层上，所述漏极设置在所述绝缘层上的所述石墨烯层上，所述固定部固定在所述石墨烯层上，所述固定部与所述电负性材料部接触，所述电正性材料部固定在所述固定部上，所述电正性材料部的侧面与所述电负性材料部的侧面接触。


2.如权利要求1所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述固定部的高度小于所述电负性材料部高度的四分之一。


3.如权利要求1所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述电正性材料部的高度大于所述电负性材料部的高度。


4.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：西安柯莱特信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61