Micro displacement self mixing interference measuring device and signal controller and measuring method is a kind of high precision displacement measurement instrument and measuring method, the measuring device and the target mirror bracket are respectively fixed on the same side of the base is fixed on the bracket on both ends of the outer cylinder and the connecting ring, a middle connecting ring is a metal plate, connecting ring on the other side of the ring laser, laser laser is located in the middle ring, the other side of the collimating lens, a collimating lens collimating lens is located in the sleeve sleeve outer ring laser detector located in the port, a metal plate, and is connected with the laser and target lens barrel in target laser, collimating lens, median filter, and target lens light axis in turn arrangement, the signal controller is composed of drive power supply, sawtooth wave generator, differential amplifier, signal sampling components, power transmission The output end is connected with the laser, and the output end of the detector and sawtooth wave generator is connected with the input of the differential amplifier, and the output of the differential amplifier is connected with the input end of the signal sampling component.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及位移精密测量仪器,准确地说是涉及微小位移自混合干涉测量仪器和测量方法。
技术介绍
位移测量在精密机械、材料、光学、生物和医学等领域有很重要的作用。对于亚微米到微米范围的微位移测量,激光干涉是应用比较多的高精度的测量方法。由于半导体激光器(LD)具有体积小、重量轻和波长可调的特点,因此在光学位移传感器中得到应用。有许多以半导体激光干涉为基础的测量微位移的干涉仪,例如,日本的KLA130系列光干涉微米计,在80μ~200μ工作范围内误差为0.01μ~0.02μ。Zygo公司生产的带有20MHz频率声光调制器和1.5~2.5nm分辨率的Axiom2/20干涉仪。现有的微小位移的半导体激光干涉测量仪从CN2391169号专利已知,包括原光源和调制光源,调制光源和原光源均为半导体激光器。置有第一透镜和第二透镜。偏振分束器和普通分束器,避免了已有技术中的补偿问题,提高了测量精度。这些方法都需要许多光学元器件,因而难以做出结构紧凑、价格低的测量装置。三、
技术实现思路
1、专利技术目的本专利技术的目的是提供一种结构紧凑、价格低廉、精度高的。2、技术方案本专利技术的测量装置主要由光学系统组成,该测量装置包括激光器、准直透镜、中值滤波器、散热器、靶镜、探测器、金属板、支架、底座,靶镜和支架分别固定在底座同一面的两端,在支架上固定有外筒和连接环,连接环的中间是金属板,连接环的另一侧接激光器套环,激光器位于激光器套环中间,激光器套环的另一侧接准直透镜套筒、准直透镜位于准直透镜套筒的外端口,探侧器位于金属板中,并与激光器相接,靶镜位于靶镜筒中激光器、准直、透镜,中值滤波 ...
【技术保护点】
一种微小位移自混合干涉测量装置,由激光器光源、透镜等所组成,其特征在于该测量装置包括激光器(1)、准直透镜(2)、中值滤波器(3)、散热器(4)、靶镜(5)、探测器(6)、金属板(7)、支架(8)、底座(9),靶镜(5)和支架(8)分别固定在底座(9)同一面的两端,在支架(8)上固定有外筒(10)和连接环(11),连接环(11)的中间是金属板(7),连接环(11)的另一侧接激光器套环(12),激光器(1)位于激光器套环(12)中间,激光器套环(12)的另一侧接准直透镜套筒(13)、准直透镜(2)位于准直透镜套筒(12)的外端口,探测器(6)位于金属板(7)中,并与激光器(1)相接,靶镜(5)位于靶镜筒(14)中激光器(1)、准直、透镜(2),中值滤波器(3)、靶镜(5)同光轴地依次排列。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王鸣,聂守平,
申请(专利权)人:南京师范大学,
类型:发明
国别省市:84[中国|南京]
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