垂直腔表面发射激光设备制造技术

一种VCSEL设备包括基板和激光腔，该激光腔包括设置在第一和第二反射器之间的增益部分。VCSEL设备可操作以通过VCSEL设备的第一端发光。VCSEL设备包括阳极表面安装触点和阴极表面安装触点，它们各自设置在VCSEL设备的第二端，该第二端与VCSEL设备的第一端相对。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】垂直腔表面发射激光设备
本公开涉及高速垂直腔表面发射激光器(VCSEL)设备。
技术介绍
通过光纤链路的高速数字通信的需求不断增长。高速数字通信已部署在传统的远程通信系统中。近年来，高速数字通信越来越多地用于短途链路中。这些链路包括用于计算机，高速以太网和高速互联网的短途高速数据链路，包括到户的高带宽本地服务。对于用于云计算的短链接数据传输应用的这些高速设备也引起了极大的兴趣。此类应用程序包括计算机之间的数据链接以及用于大型服务器的安装。更高功率，更高速度的VCSEL设备的开发可以促进并有可能拓宽高速数据链路的应用。利用VCSEL设备进行高带宽光通信和高速数据通信的某些应用要求VCSEL设备经过优化，可以以极高的速度运行，包括高达25GHz的带宽，在某些情况下还高达40GHz或更高的带宽。VCSEL设计的进步有助于降低串联电阻和设备电容，从而实现更高带宽的调制。尽管如此，仍有改进的空间。例如，用于将高速VCSEL设备连接到驱动器电子设备的一种方法是通过引线接合将VCSEL上的两个接触焊盘直接连接到驱动器集成电路(IC)上的焊盘。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种VCSEL设备，包括：/n基板；/n基板上的激光腔，该激光腔包括设置在第一和第二反射器之间的增益部分，其中VCSEL设备可操作以通过VCSEL设备的第一端发光，第一端比第二反射器更靠近第一反射器；/n阳极表面安装触点；以及/n阴极表面安装触点，/n其中，阳极表面安装触点和阴极表面安装触点中的每个均设置在VCSEL设备的与VCSEL设备的第一端相对的第二端，VCSEL设备还包括：/n在VCSEL设备的第一端的第一电连接，其中第一电连接通过穿过基板的开口被引到阳极表面安装触点；以及/n在第二反射器的表面处的第二电连接，其中第二电连接通过穿过基板的开口被引到阴极表面安装触点。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180604 US 62/680,1261.一种VCSEL设备，包括：
基板；
基板上的激光腔，该激光腔包括设置在第一和第二反射器之间的增益部分，其中VCSEL设备可操作以通过VCSEL设备的第一端发光，第一端比第二反射器更靠近第一反射器；
阳极表面安装触点；以及
阴极表面安装触点，
其中，阳极表面安装触点和阴极表面安装触点中的每个均设置在VCSEL设备的与VCSEL设备的第一端相对的第二端，VCSEL设备还包括：
在VCSEL设备的第一端的第一电连接，其中第一电连接通过穿过基板的开口被引到阳极表面安装触点；以及
在第二反射器的表面处的第二电连接，其中第二电连接通过穿过基板的开口被引到阴极表面安装触点。


2.根据权利要求1所述的VCSEL设备，其中，第一电连接通过穿过基板的第一开口被引到阳极表面安装触点，并且其中，第二电连接通过穿过基板的不同的第二开口被引到阴极表面安装触点。


3.根据权利要求1所述的VCSEL设备，包括将第一电连接与增益区域，基板和第二反射器分开的介电层。


4.根据权利要求3所述的VCSEL设备，其中，介电层沿第二端附近的基板表面部分地延伸，以防止阳极表面安装触点和基板之间的电气连续性。


5.根据前述权利要求中任一项所述的VCSEL设备，其中，第一反射器是部分反射率分布式布拉格光栅反射器。


6.根据权利要求1-5中任一项所述的VCSEL设备，其中，基板是重掺杂半导体基板。


7.根据权利要求1-5中任一项所述的VCSEL设备，其中，基板是半绝缘半导体基板。


8.根据权利要求1所述的VCSEL设备，其中，第二电连接通过与第一电连接被引到阳极表面安装触点相同的穿过基板的开口被引到阴极表面安装触点。


9.根据前述权利要求中任一项所述的VCSEL设备，其中，增益部分包括多个量子阱的多个级。


10.一种顶部发射VCSEL设备，包括：
基板；
基板上的多个外延层，包括具有设置在第一和第二分布式分拉格光栅反射器之间的增益部分的激光腔，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：劳伦斯沃特金斯，让弗朗西斯苏仁，C高希，
申请(专利权)人：ams传感器亚洲私人有限公司，
类型：发明
国别省市：新加坡;SG