【技术实现步骤摘要】
一种高纯度连续供气装置
本技术涉及气体输送
，尤其是涉及一种高纯度连续供气装置。
技术介绍
在目前的工业生产中，很多行业需要气体作为工业原料。需要利用装有供料气体的钢瓶进行供气，当气体使用频繁时，需经常更换新钢瓶，以提供充足的气源。现有公告号为CN207599347U的中国专利，其公开了一种连续供气装置，包括第一供气气路和第二供气气路，第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置，第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置；第一供气气路的进气端与第一气源连通，第二供气气路的进气端与第二气源连通，第一供气气路的出气端及第二供气气路的出气端均与用气端连通。采用上述方案，通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值，实现供气气源的自动切换和无缝式更换，从而达到连续供气的目的；然而，当需要向第一供气气路和第二供气气路提供不同种气体时，该第一供气气路和第二供气气路中会残留原来的气体，影响更换后供料气体输出端...
【技术保护点】
1.一种高纯度连续供气装置，其特征在于，包括工艺气体输送系统（a）、吹扫系统（b）和抽真空系统（c）；所述工艺气体输送系统（a）包括第一供气气路（a1）、第二供气气路（a2）和输气端口（a4），所述第一供气气路（a1）包括依次连接的第一供气钢瓶（a11）、第一压力表（a12）、第一调压阀（a15）和第一供气开关阀（a16）；所述第二供气气路（a2）包括依次连接的第二供气钢瓶（a21）、第二压力表（a22）、第二调压阀（a25）和第二供气开关阀（a26），所述第一供气气路（a1）和第二供气气路（a2）的末端与输气端口（a4）相连通；所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）呈串联设...
【技术特征摘要】
1.一种高纯度连续供气装置，其特征在于，包括工艺气体输送系统（a）、吹扫系统（b）和抽真空系统（c）；所述工艺气体输送系统（a）包括第一供气气路（a1）、第二供气气路（a2）和输气端口（a4），所述第一供气气路（a1）包括依次连接的第一供气钢瓶（a11）、第一压力表（a12）、第一调压阀（a15）和第一供气开关阀（a16）；所述第二供气气路（a2）包括依次连接的第二供气钢瓶（a21）、第二压力表（a22）、第二调压阀（a25）和第二供气开关阀（a26），所述第一供气气路（a1）和第二供气气路（a2）的末端与输气端口（a4）相连通；所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）呈串联设置，且所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）并联设置在第一供气气路（a1）和第二供气气路（a2）上，且所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）连接在第一压力表（a12）和第二压力表（a22）的后端。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述吹扫系统（b）包括吹扫进气端（b1）、进气气路（b2）、第一吹扫气路（b3）和第二吹扫气路（b4），所述吹扫进气端（b1）通入惰性气体，所述进气气路（b2）连接在吹扫进气端（b1），所述第一吹扫气路（b3）与第二吹扫气路（b4）的一端并联设置在进气气路（b2）的另一端，所述第一吹扫气路（b3）上设置有第一吹扫开关阀（b32），所述第二吹扫气路（b4）上设置有第二吹扫开关阀（b42），所述第一吹扫气路（b3）的另一端连接在第一压力表（a12）和第一调压阀（a15）之间，所述第二吹扫气路（b4）的另一端连接在第二压力表（a22）和第二调压阀（a25）之间；
所述抽真空系统（c）包括第一抽空气路（c1）、第二抽空气路（c2）和真空发生排气部（c3），所述第一抽空气路（c1）的一端连接在第一压力表（a12）和第一调压阀（a15）之间，所述第二抽空气路（c2）的一端连接在第二压力表（a22）和第二调压阀（a25）之间；所述第一抽空气路（c1）和第二抽空气路（c2）上分别连接有第一抽空开关阀（c11）和第二抽空开关阀（c21），所述第一抽空气路（c1）和第二抽空气路（c2）的另一端与真空发生排气部（c3）连接。
3.根据权利要求2所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述吹扫进气端（b1）包括高氮进气端（b11）和低氮进气端（b12），所述进气气路（b2）包括并联设置的高氮进气气路（b21）和低氮进气气路（b22），所述高氮进气气路（...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐正军，曾志勇，杨帆，
申请(专利权)人：上海栎智机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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