数据预填充方法技术

本发明专利技术描述了一种使用ＡＰＣ系统执行数据预填充功能的方法，其中ＡＰＣ系统耦合到处理元件。ＡＰＣ系统包括含有操作软件的ＡＰＣ计算机、耦合到ＡＰＣ计算机的数据库，以及ＧＵＩ，并且处理元件包括工具、处理模块和传感器中的至少一种。当ＡＰＣ系统操作时，ＡＰＣ系统采集来自处理元件的数据，并将所采集的数据存储在数据库中。当发生ＡＰＣ故障时，可以执行数据恢复（数据预填充）。当某些历史数据缺失时，可以执行数据恢复（数据预填充）。当ＡＰＣ系统耦合到具有某些历史数据的新工具时，可以执行数据恢复（数据预填充）。

Data pre filling method

The present invention describes a method of performing data pre filling functions using an APC system, wherein the APC system is coupled to the processing element. The APC system includes a APC computer, coupled to the APC computer operating software with database, and GUI, and the processing element comprises at least one processing tool, and the sensor module. When the APC system is operating, the APC system collects data from the processing element and stores the data stored in the database. When a APC fault occurs, data recovery (data pre filling) can be performed. When some historical data is missing, you can perform data recovery (data pre filling). When the APC system is coupled to a new tool with some historical data, data recovery (data pre filling) can be performed.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体处理系统中的数据管理，更具体地，涉及使用数据预填充(pre-population)技术管理数据的方法。
技术介绍
在诸如半导体或显示制造等的等离子体处理的各种阶段中，关键过程参数可能有很大改变。处理条件随时间而变化，其中关键过程参数中的最轻微的变化会产生不希望的结果。刻蚀气体的组分或压力、处理室或者晶片温度会很容易发生小的变化。在给定时刻测量和监视这些过程参数允许累积和分析有用数据。过程控制反馈可以被用来调节过程参数或者确定某些处理材料的耐久性。但是在许多情况中，反映处理特性劣化的过程数据的改变不能通过简单参考所显示的过程数据而被察觉。很难察觉过程的早期异常和特性劣化，并且经常可能需要通过先进过程控制(APC)来获得故障检测和预报，以及模式识别。处理工具时常未连接到APC系统，并且处理工具上的数据没有被充分地使用。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个目的是提供一种操作过程控制系统的方法，包括将系统耦合到处理元件，其中，系统包括含有操作软件的计算机、耦合到计算机的数据库，以及GUI(图形用户接口)，并且处理元件包括工具、处理模块和传感器中的至少一种；操作所述系统，其中，所述系统采集来自处理元件的数据，并将所采集的数据存储在数据库中；确定何时发生过程控制故障；以及执行数据恢复，其中，第二计算机被耦合到处理元件，第二计算机包括数据库和含有数据恢复部件的过程控制软件。附图说明在附图中图1示出了根据本专利技术一个实施例的半导体制造环境中的APC系统的示例性框图；图2图示了根据本专利技术一个实施例的操作APC系统的一种方法的流程；图3图示了根据本专利技术一个实施例的操作APC系统的另一方法的流程；以及图4图示了根据本专利技术一个实施例的操作APC系统的又一方法的流程。具体实施例方式图1示出了根据本专利技术一个实施例的半导体制造环境中的APC系统的示例性框图。在所示实施例中，半导体制造环境100包括至少一个半导体处理工具110、至少一个过程模块120、传感器130、传感器接口135以及APC系统105。APC系统105可以包括接口服务器(IS)150、APC服务器160、客户端工作站170、GUI部件180以及数据库190。在一个实施例中，IS 150可以包括实时存储器数据库，其可以被看作“中心(Hub)”。在所示实施例中，连同单个过程模块120示出了单个工具110，但是这对于本专利技术并非是必要的。APC系统105可以与包括含有一个或多个过程模块的集群工具的许多处理工具相接口。例如，工具和过程模块可以被用于执行刻蚀、沉积、扩散、清洁、测量、抛光、显影、转移、存储、加载、卸载以及其他半导体相关过程。在一个实施例中，处理工具110可以包括工具代理(未示出)，其可以是运行在工具110上的软件过程，并且可以提供事件信息、上下文(context)信息以及用于使得数据获取与工具过程同步的启停定时命令。此外，APC系统105可以包括代理客户端(未示出)，该代理客户端可以是能够用于提供到工具代理的连接的软件过程。在一个实施例中，IS 150使用套接字(socket)通信。例如，可以使用TCP/IP套接字通信来实现接口。在每次通信之前，建立套接字。然后，消息作为串被发送。消息被发送之后，套接字被取消。或者，接口可以被构造为利用使用特定类(例如，分布式消息中心(Distributed Message Hub，DMH)客户端类)的C/C++代码或C/C++过程扩展的TCL过程。在该情况中，通过套接字连接采集过程/工具事件的逻辑可以被修订，以将事件以及它们的上下文数据插入IS 150中的表中。工具代理可以发送消息来向APC系统提供事件和上下文信息。例如，工具代理可以发送组(batch)启/停消息、批次(lot)启/停消息、晶片启/停消息、制法(recipe)启/停消息以及过程启/停消息。另外，工具代理可以被用来发送和/或接收设定点数据，以及发送和/或接收维护计数器数据。当处理工具包括内部传感器时，该数据可以被发送到IS 150和APC服务器160。可以使用数据文件来传输该数据。例如，某些处理工具可以创建跟踪文件，它们当被创建时在工具中被压缩。压缩的和/或未压缩的文件可以被传输。当跟踪文件在处理工具中被创建时，跟踪文件可以包括或者可以不包括端点检测(end point detection，EPD)数据。跟踪数据提供了关于过程的重要信息。跟踪数据可以在晶片的处理完成之后被更新并被传输。跟踪文件将被传输到用于每个过程的适当目录。在一个实施例中，工具跟踪数据、维护数据以及EPD数据可以从处理工具110获得。在图1中，示出了单个过程模块，但是这对于本专利技术并非是必要的。半导体处理系统100可以包括任意数量的处理工具和独立的过程模块，这些处理工具具有与其相关联的任意数量的过程模块。APC系统105可以采集、提供、处理、存储和显示来自涉及处理工具、过程模块和传感器的过程的数据。过程模块120可以使用诸如ID、模块类型、气体参数和维护计数器数据之类的数据来标识，并且该数据可以被保存到数据库中。当配置新的过程模块时，可以使用GUI部件180中的模块配置屏幕提供这类数据。例如，APC系统可以支持来自Tokyo Electron Limited的如下模块类型Unity SCCM室、Unity DRM氧化室、Telius DRM氧化室、Telius SCCM氧化室和/或Telius SCCM聚合室。或者，APC系统可以支持其他室。在所示的实施例中，连同相关联的过程模块示出了单个传感器130，但是这对于本专利技术并非是必要的。任何数量的传感器可以被耦合到工具和/或过程模块。例如，传感器130可以包括OES传感器、VIP传感器、模拟传感器以及包括数字探头的其他类型半导体处理传感器。APC系统可以包括数据管理应用，数据管理应用能够被用于采集、处理、存储、显示和输出来自各种传感器的数据。在APC系统中，传感器数据可以通过内部和外部源两者来提供。外部源可以使用外部数据记录器类型来定义；可以为每个外部源分配数据记录器对象；并且可以使用状态变量表示。传感器配置信息结合了传感器类型和传感器实例(instance)参数。传感器类型是与传感器的功能相对应的类属术语。传感器实例将传感器类型配对到特定过程模块和工具上的特定传感器。对附接到工具的每个物理传感器，配置至少一个传感器实例。例如，OES传感器可以是一种类型的传感器；VI探头可以是另一种类型的传感器，模拟传感器可以是又一不同类型的传感器。另外，可以有另外的类属类型的传感器和另外的具体类型的传感器。传感器类型包括在运行时建立具体类型的传感器所需的全部变量。这些变量可以是静态的(这种类型的全部传感器具有相同值)、可通过实例配置的(这种传感器类型的每种实例可以具有唯一的值)或者可通过数据采集计划动态配置的(每次在运行时激活传感器时，传感器可以被给予不同的值)。“可通过实例配置”的变量可以是传感器/探头IP地址。该地址根据实例(对于每种处理室)而变化，但在每次运行之间不变。“可通过数据采集计划配置”的变量可以是谐频的列表。可以基于上下文信息，对每个晶片分别地配置这些变量。例如，晶片上下文信息可以包括工具ID、模块ID、批ID、制法ID、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于操作过程控制系统的方法，包括：将所述系统耦合到处理元件，其中，所述系统包括含有操作软件的计算机、耦合到所述先进过程控制计算机的数据库，以及图形用户接口，并且所述处理元件包括工具、处理模块和传感器中的至少一种；操作所述 系统，其中，所述系统采集来自所述处理元件的数据，并将所述采集的数据存储在所述数据库中；确定何时发生过程控制故障；以及执行数据恢复，其中，第二计算机被耦合到所述处理元件，所述第二计算机包括数据库和含有数据恢复部件的过程控制软件 。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯E威利斯，原田智，爱德华C胡弥三世，詹姆斯E克雷克特卡，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]