一种针对色散型成像光谱仪的检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种针对色散型成像光谱仪的检测方法及装置，所述方法首先将标准球面镜安装在激光斐索型干涉仪的前端；打开干涉仪输出标准球面波；通过调整被测光谱仪光学系统和后端的标准球面反射镜，使光路原路返回；调整所述干涉仪前端的标准球面镜，使所述干涉仪的探测器上得到干涉图；将所述干涉仪得到的测试结果与用于参考的光学软件输出结果进行比对，判断其误差是否在10％以内；若小于10％，则表明所述被测光谱仪光学系统成像质量良好；若大于10％，则对所述被测光谱仪光学系统重新装调再检测。该方法及装置基于移相干涉测量原理对成像光谱仪进行成像质量检测，通用性比较强，适用于不同参数色散型的成像光谱仪检测。

【技术实现步骤摘要】
一种针对色散型成像光谱仪的检测方法及装置
本专利技术涉及成像光谱仪
，尤其涉及一种针对色散型成像光谱仪的检测方法及装置。
技术介绍
成像光谱仪器能获取探测目标的二维几何信息和光谱信息，广泛应用于遥感和科学研究领域，通常由望远物镜和光谱仪组成，分光元件包括光栅、棱镜或棱镜光栅组合件。成像光谱仪的检测方法因仪器设计和检测人员而异，前置镜主要是将无穷远目标成像到一次像面处，评价前置镜合格与否以及成像质量好坏的最重要指标是焦距和传递函数，如果前置镜头的焦距不满足要求，则整个光学系统的地面像元分辨率及幅宽很难实现，焦距误差允许在1％以内；如果传递函数不能满足要求，也会影响最终图像的清晰度，经过加工、装调后的传函值与设计值的允差为15％，通常是采用平行光管测星点像、焦距或者用传函仪测系统的传函来判断前置镜是否达到使用需求。成像光谱仪则是需要保证将一次像面清晰成像在最终像面上，同时将一次像色散成多个谱段的像，在光谱仪装调中，也需要保证这两方面的性能。现有技术方案是通过汞灯照射光谱仪物面上的分划板和星点，在像面上得到清晰的像和谱，根据相机的分辨率本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种针对色散型成像光谱仪的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：/n步骤1、将标准球面镜安装在激光斐索型干涉仪的前端；/n步骤2、打开所述干涉仪输出标准球面波，所述标准球面波经过被测光谱仪光学系统后输出带有所述被测光谱仪光学系统像差的球面波；/n步骤3、然后通过调整所述被测光谱仪光学系统和后端的标准球面反射镜，使光路原路返回；/n步骤4、调整所述干涉仪前端的标准球面镜，使所述干涉仪的探测器上得到干涉图，并通过干涉仪移相测量得到所述被测光谱仪光学系统的波像差、点扩散函数、传函数以及Zernike系数；/n步骤5、将所述干涉仪得到的测试结果与用于参考的光学软件输出结果进行比对，判断其误差是否...

【技术特征摘要】
1.一种针对色散型成像光谱仪的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
步骤1、将标准球面镜安装在激光斐索型干涉仪的前端；
步骤2、打开所述干涉仪输出标准球面波，所述标准球面波经过被测光谱仪光学系统后输出带有所述被测光谱仪光学系统像差的球面波；
步骤3、然后通过调整所述被测光谱仪光学系统和后端的标准球面反射镜，使光路原路返回；
步骤4、调整所述干涉仪前端的标准球面镜，使所述干涉仪的探测器上得到干涉图，并通过干涉仪移相测量得到所述被测光谱仪光学系统的波像差、点扩散函数、传函数以及Zernike系数；
步骤5、将所述干涉仪得到的测试结果与用于参考的光学软件输出结果进行比对，判断其误差是否在10％以内；
步骤6、若小于10％，则表明所述被测光谱仪光学系统成像质量良好；若大于10％，则对所述被测光谱仪光学系统重新装调再检测。


2.根据权利要求1所述针对色散型成像光谱仪的检测方法，其特征在于，所述方法进一步针对前置镜进行检测，具体过程为：
更换所述干涉仪前端的标准球面镜为标准平面镜，使所述干涉仪输出标准平面波；
然后更换被测系统为前置镜，调整所述前置镜和标准平面镜，使光路原路返回；
所述干涉仪输出所述前置镜的干涉图样，并通过干涉仪移相测量得到所述前置镜的波像差、点扩散函数、传函数以及Zernike系数；
将所述干涉仪得到的测试结果与用于参考的光学软件输出结果进行比对，判断其误差是否在10％以内；
若小于10％，则表明所述前置镜成像质量比较好；若大于10％，则对所述前置镜重新装调再检测。


3.根据权利要求1所述针对色散型成像光谱仪的检测方法，其特征在于，所述方法进一步针对不带狭缝的成像光谱仪进行检测，具体过程为：
将不带狭缝的前置镜安装在光谱仪上作为被测光学系统；
使所述干涉仪输出...

【专利技术属性】
技术研发人员：李雅灿，周锦松，冯蕾，杨雷，何晓英，魏立冬，景娟娟，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：北京;11