多工位点胶机制造技术

本发明专利技术公开了一种多工位点胶机，包括：上下料机构，内限定有活动空间，上下料机构的外围设有数个加工工位，上下料机构在活动空间与各个加工工位之间往复运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；晶圆扫码对位装置，位于定位工位，对上下料机构输送的晶圆进行扫码和对位；晶圆预热机构，位于预热工位，对上下料机构输送的晶圆进行预热；多个晶圆加热装置，分别设于对应的加工工位，晶圆加热装置对加工工位上的晶圆进行加热；多个点胶装置，分别设于对应的加工工位以对加热后的晶圆进行点胶。其能够对晶圆进行扫码、对位、预热、加热、点胶，具有结构紧凑、生产效率高和点胶质量高等优点。

【技术实现步骤摘要】
多工位点胶机
本专利技术属于点胶机
，具体涉及一种多工位点胶机。
技术介绍
随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。然而，传统的人工胶枪点胶方法，生产效率低，胶水的流速不均匀，极易导致出胶量过多，生产质量不过关。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。现有的自动化点胶机普遍为一个工位，由机械手取料送至点胶单元，通过预热单元预热后，再进行点胶。点胶及预热过程耗时长，点胶机的机械手只能等待点胶结束后才能再次取料，不仅机械手的闲置时间过长，对机械手的利用率低，相应降低生产效率，难以满足多批量生产；并且其点胶机自动化生产线结构不够紧凑，使得机械手的工作路线较长，造成资源浪费。此外，现有技术中对晶圆的温度控制不好，不仅成品率低，影响点胶效果。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种多工位点胶机，该多工位点胶机具有整体结构紧凑、点胶效果好、温度控制精准、生产效率高、产品质量高等优点。根据本专利技术实施例的多工位点胶机，包括：上下料机构，所述上下料机构内限定有活动空间，所述上下料机构的外围设有数个加工工位，所述上下料机构在所述活动空间与各个所述加工工位之间运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；晶圆扫码对位装置，所述晶圆扫码对位装置位于所述定位工位，所述晶圆扫码对位装置对所述上下料机构输送的所述晶圆进行扫码和对位；晶圆预热机构，所述晶圆预热机构位于所述预热工位，所述晶圆预热机构对所述上下料机构输送的所述晶圆进行预热；晶圆加热装置，所述晶圆加热装置位于所述点胶工位，所述晶圆加热装置对所述加工工位上的所述晶圆进行加热；点胶装置，所述点胶装置匹配于所述晶圆加热装置，以对加热后的所述晶圆进行点胶。根据本专利技术实施例的多工位点胶机，通过采用上下料机构、晶圆扫码对位装置、晶圆预热机构、晶圆加热装置和点胶装置，能够对晶圆进行扫码、对位、预热、加热、点胶，并且加工工位可以为多个，不仅提高了点胶质量，还能够提高对上下料机构的利用率，减少等待时间。该多工位点胶机具有结构紧凑、工作效率高和产品质量高等优点。根据本专利技术一个实施例，所述上下料机构包括：上下料机体，所述上下料机体内限定有所述活动空间，所述上下料机体的两端分别设有与所述活动空间连通的料口，所述上下料机体的两侧分别设有至少两个加工工位；活动件，所述活动件在两个所述料口之间可活动地设在所述活动空间内；取料件，所述取料件设在所述活动件上以从所述料口及所述加工工位取放晶圆。根据本专利技术一个实施例，所述上下料机体形成为开口向下的匚形，所述上下料机体的每个支脚上分别设有所述料口，所述上下料机构还包括：两个料盒，两个所述料盒分别设在两个所述支脚上与所述料口相对应的位置，所述取料件的至少一部分伸出所述料口进入所述料盒内进行上下料。根据本专利技术一个实施例，所述取料件包括：机械手，所述机械手的一端与所述活动件相连，所述机械手的另一端可活动；托盘，所述托盘设于所述机械手的另一端，所述托盘用于承接所述晶圆。根据本专利技术一个实施例，所述上下料机构还包括：上下料传送机构，所述上下料传送机构设在两个所述料口之间，所述上下料传送机构在两个所述料口之间可活动以驱动所述活动件活动，所述上下料传送机构包括：侧板，所述侧板沿所述上下料机体的长度方向延伸地设于所述上下料机体内，所述侧板的一侧形成为安装面；输送轨，所述输送轨沿所述上下料机体的长度方向延伸地设于所述安装面，所述活动件可活动地设于所述输送轨；上下料驱动件，所述上下料驱动件设于所述安装面，所述上下料驱动件与所述活动件相连以驱动所述活动件活动。根据本专利技术一个实施例，所述晶圆扫码对位装置设于相邻的两个所述点胶工位之间，所述晶圆扫码对位装置包括：扫码装置，所述扫码装置对所述晶圆进行扫码识别；对位装置，所述对位装置对所述上下料机构输送的所述晶圆进行对位以调整所述晶圆的位置。根据本专利技术一个实施例，所述晶圆预热机构和所述晶圆加热装置包括：底座；加热器，所述加热器设于所述底座，所述加热器的上表面形成为加热面；顶升组件，所述顶升组件设于所述底座，所述顶升组件可在顶升状态和非顶升状态之间活动，所述顶升组件处于所述顶升状态时支承晶圆使所述晶圆与所述加热面间隔开；所述顶升组件处于所述非顶升状态时，所述晶圆与所述加热面接触；所述顶升组件从所述顶升状态逐步向所述非顶升状态逐渐过渡时，所述加热器对所述晶圆进行非接触式加热以使所述晶圆逐步升温。根据本专利技术一个实施例，所述底座包括：底板；支撑杆，所述支撑杆设于所述底板；发热支撑台，所述发热支撑台设于所述支撑杆且与所述底板间隔开，所述加热器和所述顶升组件均设于所述发热支撑台。根据本专利技术一个实施例，所述加热器和所述发热支撑台上分别设有多个互相贯通的通孔，所述顶升组件包括：多个顶针，多个所述顶针分别穿过所述加热器和所述发热支撑台上的通孔且沿所述通孔的轴向可活动，所述顶升组件位于所述顶升状态时，所述顶针的上端伸出所述通孔承接所述晶圆，所述顶升组件位于所述非顶升状态时，所述顶针的上端不超出所述加热面；顶针驱动件，所述顶针驱动件设于所述底板且与所述顶针相连，所述顶针驱动件驱动所述顶针活动。根据本专利技术一个实施例，所述加热面设有至少两个能对不同尺寸的晶圆进行加热的加热区，每个所述加热区分别设有至少一个真空吸附孔，所述晶圆预热机构还包括：真空吸附装置，所述真空吸附装置与所述真空吸附孔连通以在所述晶圆位于所述加热器上时吸附所述晶圆。根据本专利技术一个实施例，所述发热支撑台内限定有加热腔，所述加热器包括：加热管，所述加热管伸入所述加热腔以进行加热；加热盘，所述加热盘贴合于所述发热支撑台且位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆，所述加热盘上设有至少两个加热区；至少两个热电偶，至少两个所述热电偶分别设在至少两个所述加热区以检测每个所述加热区的温度；温控器，所述温控器与所述加热管和所述热电偶相连，所述温控器根据所述热电偶检测的温度控制所述加热管加热。根据本专利技术一个实施例，所述点胶装置包括：点胶机机体；点胶机机头组件，所述点胶机机头组件可活动地设于所述点胶机机体上且位于所述晶圆加热装置的上方以对放置在所述晶圆加热装置上的晶圆进行点胶；静电消散装置，所述静电消散装置可活动地设于所述点胶机机体上且位于所述晶圆加热装置的上方以对所述晶圆加热装置及晶圆进行静电去除处理。根据本专利技术一个实施例，所述点胶装置还包括：安装架，所述安装架设于所述点胶机机体；胶桶，所述胶桶设于所述安装架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多工位点胶机，其特征在于，包括：/n上下料机构，所述上下料机构内限定有活动空间，所述上下料机构的外围设有数个加工工位，所述上下料机构在所述活动空间与各个加工工位之间运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；/n晶圆扫码对位装置，所述晶圆扫码对位装置位于所述定位工位，所述晶圆扫码对位装置对所述上下料机构输送的所述晶圆进行扫码和对位；/n晶圆预热机构，所述晶圆预热机构位于所述预热工位，所述晶圆预热机构对所述上下料机构输送的所述晶圆进行预热；/n晶圆加热装置，所述晶圆加热装置位于所述点胶工位，所述晶圆加热装置对所述加工工位上的所述晶圆进行加热；/n点胶装置，所述点胶装置匹配于所述晶圆加热装置，以对加热后的所述晶圆进行点胶。/n

【技术特征摘要】
1.一种多工位点胶机，其特征在于，包括：
上下料机构，所述上下料机构内限定有活动空间，所述上下料机构的外围设有数个加工工位，所述上下料机构在所述活动空间与各个加工工位之间运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；
晶圆扫码对位装置，所述晶圆扫码对位装置位于所述定位工位，所述晶圆扫码对位装置对所述上下料机构输送的所述晶圆进行扫码和对位；
晶圆预热机构，所述晶圆预热机构位于所述预热工位，所述晶圆预热机构对所述上下料机构输送的所述晶圆进行预热；
晶圆加热装置，所述晶圆加热装置位于所述点胶工位，所述晶圆加热装置对所述加工工位上的所述晶圆进行加热；
点胶装置，所述点胶装置匹配于所述晶圆加热装置，以对加热后的所述晶圆进行点胶。


2.根据权利要求1所述的多工位点胶机，其特征在于，所述上下料机构包括：
上下料机体，所述上下料机体内限定有所述活动空间，所述上下料机体的两端分别设有与所述活动空间连通的料口，所述上下料机体的两侧分别设有至少两个加工工位；
活动件，所述活动件在两个所述料口之间可活动地设在所述活动空间内；
取料件，所述取料件设在所述活动件上以从所述料口及所述加工工位取放晶圆。


3.根据权利要求2所述的多工位点胶机，其特征在于，所述上下料机体形成为开口向下的匚形，所述上下料机体的每个支脚上分别设有所述料口，所述上下料机构还包括：
两个料盒，两个所述料盒分别设在两个所述支脚上与所述料口相对应的位置，所述取料件的至少一部分伸出所述料口进入所述料盒内进行上下料。


4.根据权利要求2所述的多工位点胶机，其特征在于，所述取料件包括：
机械手，所述机械手的一端与所述活动件相连，所述机械手的另一端可活动；
托盘，所述托盘设于所述机械手的另一端，所述托盘用于承接所述晶圆。


5.根据权利要求2所述的多工位点胶机，其特征在于，所述上下料机构还包括：上下料传送机构，所述上下料传送机构设在两个所述料口之间，所述上下料传送机构在两个所述料口之间可活动以驱动所述活动件活动，所述上下料传送机构包括：
侧板，所述侧板沿所述上下料机体的长度方向延伸地设于所述上下料机体内，所述侧板的一侧形成为安装面；
输送轨，所述输送轨沿所述上下料机体的长度方向延伸地设于所述安装面，所述活动件可活动地设于所述输送轨；
上下料驱动件，所述上下料驱动件设于所述安装面，所述上下料驱动件与所述活动件相连以驱动所述活动件活动。


6.根据权利要求1所述的多工位点胶机，其特征在于，所述晶圆扫码对位装置设于相邻的两个所述点胶工位之间，所述晶圆扫码对位装置包括：
扫码装置，所述扫码装置对所述晶圆进行扫码识别；
对位装置，所述对位装置对所述上下料机构输送的所述晶圆进行对位以调整所述晶圆的位置。


7.根据权利要求1所述的多工位点胶机，其特征在于，所述晶圆预热机构和所述晶圆加热装置包括：
底座；
加热器，所述加热器设于所述底座，所述加热器的上表面形成为加...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲东升，李长峰，郜福亮，王晓春，周典虬，林翔，苗虎，黄继明，樊建，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32