一种氢氟酸尾气处理装置制造方法及图纸

一种氢氟酸尾气处理装置，包括降膜吸收塔、水洗塔和碱洗塔，降膜吸收塔底部设有第一水箱，顶部设有尾气容器，尾气容器顶部设有尾气接入管，降膜吸收塔外侧方底部与第一水箱连接设有第一循环水泵，水洗塔外侧方底部连接设有第二水箱，与第二水箱相对的一侧设有第二循环水泵，碱洗塔内侧底部设有第三水箱，外侧方底部连接设有第三循环水泵，排气管穿过风机与碱洗塔顶部相互连接；本申请将已溶解氢氟酸尾气的超纯水回收，可进行二次利用，通过该方式达到了保护生态环境，循环二次利用的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种氢氟酸尾气处理装置
本技术涉及化工
，特别是一种氢氟酸尾气处理装置。
技术介绍
氟化氢在常态下是一种无色、有刺激性气味的有毒气体，具有非常强的吸湿性，接触空气即产生白色烟雾，易溶于水，可与水无限互溶形成氢氟酸，再加工作业后会产生大量的氢氟酸尾气，若是将尾气直接向大气中排放，不仅会严重污染环境，还会对动植物造成伤害，因此，需要对氢氟酸尾气进行深处过滤处理。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种氢氟酸尾气处理装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种氢氟酸尾气处理装置，包括降膜吸收塔、水洗塔和碱洗塔，其特征在于：所述降膜吸收塔底部设有第一水箱，顶部设有尾气容器，并相互连接，所述尾气容器顶部设有尾气接入管，所述降膜吸收塔外侧方底部与第一水箱连接设有第一循环水泵，所述第一循环水泵上设有第一阀门，冷却水输入阀通过输入管道，途径尾气容器与冷却水输出阀相互连接，所述水洗塔外侧方底部连接设有第二水箱，与第二水箱相对的一侧，途径水洗塔连接设有第二循环水泵，所述第二循环水泵通过收集桶管道，途径第一循环水泵管道与收集桶连接，所述收集桶管道上设有收集桶管道阀门，所述第二循环水泵管道上设有第二阀门，所述碱洗塔内侧底部设有第三水箱，外侧方底部连接设有第三循环水泵，排气管穿过风机与碱洗塔顶部相互连接，所述尾气容器通过第一连接管与水洗塔连接，所述水洗塔顶部设有第二连接管与碱洗塔相互连接。进一步的，排气管穿过1-2个风机与碱洗塔相互连接。本技术的有益效果是：本申请将氢氟酸尾气导入尾气容器中，然后通过第一循环水泵对氢氟酸尾气进行循环喷淋，在初次喷淋过程中，由于氢氟酸尾气浓度较高遇水放热，通过冷却水循环流动对尾气容器进行降温，之后经第一层降膜吸收后的氢氟酸尾气进入水洗塔内，再次通过第二循环水泵对氢氟酸尾气进行循环喷淋，经二次过滤后的氢氟酸尾气再次进入碱洗塔，通过第三循环水泵喷洒碱性水对氢氟酸尾气进行中和，最终由风机引导排入大气中，由于第一循环水泵和第二循环水泵采用超纯水对氢氟酸尾气进行喷淋溶解，将已溶解氢氟酸尾气的超纯水回收，可进行二次利用，通过该方式达到了保护生态环境，循环二次利用的有益效果。附图说明图1为根据本技术实施例的流程结构示意图。附图标记：吸收塔1、水洗塔2、碱洗塔3、冷却水输入阀4、冷却水输出阀5、收集桶管道6、风机7、尾气接入管9、尾气容器11、第一水箱12、第一循环水泵13、第一连接管14、第二循环水泵21、第二水箱22、第二连接管23、第三循环水泵31、第三水箱32、排气管33、输入管道41、收集桶管道阀门61、收集桶62、第一阀门131、第二阀门211。具体实施方式为使本技术的技术方案更加清楚明白，下面结合附图具体实施例对本技术作进一步说明。如图1所示，根据本技术实施例的一种氢氟酸尾气处理装置，包括降膜吸收塔1、水洗塔2和碱洗塔3，所述降膜吸收塔1底部设有第一水箱12，顶部设有尾气容器11，并相互连接，所述尾气容器11顶部设有尾气接入管9，所述降膜吸收塔1外侧方底部与第一水箱12连接设有第一循环水泵13，所述第一循环水泵13上设有第一阀门131，冷却水输入阀4通过输入管道41，途径尾气容器11与冷却水输出阀5相互连接，所述水洗塔2外侧方底部连接设有第二水箱22，与第二水箱22相对的一侧，途径水洗塔2连接设有第二循环水泵21，所述第二循环水泵21通过收集桶管道6，途径第一循环水泵13管道与收集桶62连接，所述收集桶管道6上设有收集桶管道阀门61，所述第二循环水泵21管道上设有第二阀门211，所述碱洗塔3内侧底部设有第三水箱32，外侧方底部连接设有第三循环水泵31，排气管33穿过风机7与碱洗塔3顶部相互连接，所述尾气容器11通过第一连接管14与水洗塔2连接，所述水洗塔2顶部设有第二连接管23与碱洗塔3相互连接。进一步的，排气管33穿过1-2个风机7与碱洗塔3相互连接。如图1所示每当需要使用本申请对氢氟酸尾气进行过滤中和时，首先将氢氟酸尾气通过尾气接入管9导入尾气容器11内，由于降膜吸收塔1底部设有第一水箱12并与尾气容器11相互连接，通过第一循环水泵13接入第一水箱12内抽取其内部的超纯水，再从尾气容器11正上方喷淋下来，使超纯水与氢氟酸尾气融合，所融合氢氟酸尾气的超纯水从尾气容器11再次掉落进入至第一水箱12内，以此方式循环喷淋融合，降低氢氟酸尾气的浓度，在超纯水与浓度较高的氢氟酸尾气融合时，由于氢氟酸尾气遇水放热，打开冷却水输入阀4和冷却水输出阀5，使冷却水通过输入管道41途径尾气容器11对尾气容器11进行降温，之后从冷却水输出阀5流出，通过该方式对尾气容器11循环降温，经一次过滤后的氢氟酸尾气通过第一连接管14进入水洗塔2内，由于水洗塔2外侧方底部连接设有第二水箱22，与第二水箱22相对的一侧，途径水洗塔2连接设有第二循环水泵21，通过第二循环水泵21抽取第二水箱22内的超纯水对一次过滤后的氢氟酸尾气再次进行循环喷淋融合，降低氢氟酸尾气的浓度，经二次融合过滤后的氢氟酸尾气通过第二连接管23进入碱洗塔3内，碱洗塔3内侧底部设有第三水箱32，其内部装有碱性水，通过第三循环水泵31抽取碱性水对氢氟酸尾气进行循环中和喷淋，经中和后的氢氟酸尾气则通过排气管33，由风机7抽取排入进大气中，经三次过滤中和后的氢氟酸尾气大大降低了其浓度和酸性度，完全符合国家排放标准，待作业完毕后，关闭第一阀门131打开收集桶管道阀门61，通过第一循环水泵13将第一水箱12内已融合氢氟酸尾气的超纯水通过收集桶管道6导入收集桶62内，然后再将第二阀门211关闭，通过第二循环水泵21将第二水箱22内的已融合氢氟酸尾气的超纯水通过收集桶管道6导入收集桶62内，使已溶解氢氟酸尾气的超纯水回收，可进行二次利用，通过该方式达到了保护生态环境，循环二次利用的有益效果。以上实施例在相互不对立的情况下可以相互组合，进一步实施。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢氟酸尾气处理装置，包括降膜吸收塔（1）、水洗塔（2）和碱洗塔（3），其特征在于：所述降膜吸收塔（1）底部设有第一水箱（12），顶部设有尾气容器（11），并相互连接，所述尾气容器（11）顶部设有尾气接入管（9），所述降膜吸收塔（1）外侧方底部与第一水箱（12）连接设有第一循环水泵（13），所述第一循环水泵（13）上设有第一阀门（131），冷却水输入阀（4）通过输入管道（41），途径尾气容器（11）与冷却水输出阀（5）相互连接，所述水洗塔（2）外侧方底部连接设有第二水箱（22），与第二水箱（22）相对的一侧，途径水洗塔（2）连接设有第二循环水泵（21），所述第二循环水泵（21）通过收集桶管道（6），途径第一循环水泵（13）管道与收集桶（62）连接，所述收集桶管道（6）上设有收集桶管道阀门（61），所述第二循环水泵（21）管道上设有第二阀门（211），所述碱洗塔（3）内侧底部设有第三水箱（32），外侧方底部连接设有第三循环水泵（31），排气管（33）穿过风机（7）与碱洗塔（3）顶部相互连接，所述尾气容器（11）通过第一连接管（14）与水洗塔（2）连接，所述水洗塔（2）顶部设有第二连接管（23）与碱洗塔（3）相互连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种氢氟酸尾气处理装置，包括降膜吸收塔（1）、水洗塔（2）和碱洗塔（3），其特征在于：所述降膜吸收塔（1）底部设有第一水箱（12），顶部设有尾气容器（11），并相互连接，所述尾气容器（11）顶部设有尾气接入管（9），所述降膜吸收塔（1）外侧方底部与第一水箱（12）连接设有第一循环水泵（13），所述第一循环水泵（13）上设有第一阀门（131），冷却水输入阀（4）通过输入管道（41），途径尾气容器（11）与冷却水输出阀（5）相互连接，所述水洗塔（2）外侧方底部连接设有第二水箱（22），与第二水箱（22）相对的一侧，途径水洗塔（2）连接设有第二循环水泵（21），所述第二循环水泵（21）...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆家拴，
申请(专利权)人：昆山欣谷微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32