一种快速冷却定型装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种快速冷却定型装置，属于冷却设备领域，该冷却定型装置包括封盖、贯穿于所述封盖中心位置处的移动轴、位于所述移动轴一端用于与受体接触的冷却模块、固定安装在所述封盖远离所述冷却模块一面用于驱动所述移动轴移动的驱动装置以及固定安装在所述冷却模块外侧的加压模块；所述加压模块包括固定在所述封盖上对应所述冷却模块外侧的波纹管以及固定安装在所述波纹管远离所述封盖一端的敞开式加压板。该冷却装置结构简单、使用方便，能够有效地时高温金属快速冷却，保证产品的致密性，进而保证产品的可靠性，同时能够有效地提高产品的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种快速冷却定型装置
本技术属于冷却设备
，具体涉及一种快速冷却定型装置。
技术介绍
TSV和TGV在半导体微电子领域，在3DIC封装及MEMS封装过程中，由于要使用到多层芯片互联，需要打穿整个芯片的孔来实现电学连接，常用的两种方法为先通孔与后通孔的一个关键工艺装置。目前在国内有了少量的TSV和TGV的生产商，但都处于研发和试生产阶段，无法真正满足实际产品的大量运用，根本弊端是金属灌注只能是低温高流动性的金属，对于导电性能好的金属，由于熔点高而不能有效灌注。由于金属熔点高难于灌注又不能及时冷却，影响产品的产能，且因冷却效率低的情况下，金属在芯片孔洞中难以形成致密性金属柱体，影响芯片多层互联的可靠性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种快速冷却定型装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种快速冷却定型装置，所述冷却定型装置包括封盖、贯穿于所述封盖中心位置处的移动轴、位于所述移动轴一端用于与受体接触的冷却模块、固定安装在所述封盖远离所述冷却模块一面用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速冷却定型装置，其特征在于：所述冷却定型装置包括封盖(1)、贯穿于所述封盖(1)中心位置处的移动轴(5)、位于所述移动轴(5)一端用于与受体接触的冷却模块(4)、固定安装在所述封盖(1)远离所述冷却模块(4)一面用于驱动所述移动轴(5)移动的驱动装置(6)以及固定安装在所述冷却模块(4)外侧的加压模块；/n所述加压模块包括固定在所述封盖(1)上对应所述冷却模块(4)外侧的波纹管(3)以及固定安装在所述波纹管(3)远离所述封盖(1)一端的敞开式加压板(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种快速冷却定型装置，其特征在于：所述冷却定型装置包括封盖(1)、贯穿于所述封盖(1)中心位置处的移动轴(5)、位于所述移动轴(5)一端用于与受体接触的冷却模块(4)、固定安装在所述封盖(1)远离所述冷却模块(4)一面用于驱动所述移动轴(5)移动的驱动装置(6)以及固定安装在所述冷却模块(4)外侧的加压模块；
所述加压模块包括固定在所述封盖(1)上对应所述冷却模块(4)外侧的波纹管(3)以及固定安装在所述波纹管(3)远离所述封盖(1)一端的敞开式加压板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：李甦，
申请(专利权)人：李甦，
类型：新型
国别省市：上海;31