感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件技术

本发明专利技术中，热产碱剂由式(N1)表示。感光性树脂组合物包含热产碱剂和含杂环聚合物的前体。式(N1)中，R

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。
技术介绍
聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂等环化并固化的树脂的耐热性及绝缘性优异，因此适用于各种用途。其用途并无特别限定，但若以实际安装用半导体器件为例，则可举出作为绝缘膜或密封材料的素材或保护膜的利用。(参考非专利文献1及2等)。并且，也用作可挠性基板的基膜或盖层等。此类聚酰亚胺树脂等通常对溶剂的溶解性低。因此，经常使用以环化反应前的聚合物前体，具体而言，以聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体的状态溶解于溶剂中的方法。由此，能够实现优异的操作性，且在制造如上述那样的各产品时能够以各种形态涂布于基板等并加工。然后，加热并使聚合物前体环化，从而能够形成已固化的产品。除了聚酰亚胺树脂等所具有的高性能以外，从此类制造上的适应性优异的观点考虑，越来越期待其在产亚上的应用发展。专利文献1中公开有一种热固性树脂组合物，其包含热产碱剂和热固性树脂，该热产碱剂包括选自加热至40℃以上时产生碱的酸性化合物、及pKa1为0～4的具有阴离子和铵阳离子的铵盐中的至少1种。专利文献2中公开有一种树脂组合物，其含有具有特定的结构单元的聚酰亚胺前体、通过活化光线的照射而产生自由基的化合物、具有环氧丙烷低聚物结构的化合物及溶剂。以往技术文献专利文献专利文献1：国际公开公报第WO2015/199219号小册子专利文献2：日本特开2014-201695号公报非专利文献非专利文献1：Science&technologyCo.，Ltd.“聚酰亚胺的高功能化和应用技术”2008年4月非专利文献2：柿本雅明/监修、CMC技术图书馆“聚酰亚胺材料的基础和开发”2011年11月发行
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题通过上述专利文献1、2的技术，能够将聚合物前体在低温环化而获得固化物。另一方面，为了满足对这种树脂提出的近年来多样化的技术要求，需要进一步的研究开发。因此，本专利技术的目的在于提供一种新的热产碱剂，并实现在含有含杂环聚合物的前体的感光性树脂组合物领域中材料的丰富化。并且，其目的在于提供一种能够实现在感光性树脂组合物中优异的保存稳定性且能够提高由感光性树脂组合物形成的固化膜的断裂伸长率的感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。用于解决技术课题的手段基于以上述课题，本专利技术人进行研究的结果，发现包含羧基或其酯的部位和具有酰胺结构的部位的特定的热产碱剂能够解决上述的课题，以至完成本专利技术。具体而言，通过下述方法解决了上述课题。<1>一种热产碱剂，其由下述式(N1)表示；[化学式1]式(N1)中，RN1及RN2分别独立地表示1价有机基团，RC1表示氧原子或保护基，L表示2价连接基。<2>根据<1>所述的热产碱剂，其中，上述式(N1)中的L是连结链长1～5的2价有机基团。<3>根据<1>或<2>所述的热产碱剂，其中，上述式(N1)中的RN1及RN2分别独立为烃基。<4>根据<1>～<3>中任一项所述的热产碱剂，其中，上述式(N1)中的RN1及RN2分别独立为脂肪族烃基。<5>根据<1>～<4>中任一项所述的热产碱剂，其中，上述式(N1)中的L是1，2-亚乙基、1，3-丙烷二基、1，2-环己烷二基、顺式亚乙烯基、1，2-亚苯基、1，2-亚苯基亚甲基或1，2-亚乙氧基-1，2-亚乙基。<6>根据<1>～<5>中任一项所述的热产碱剂，其中，上述式(N1)中的RC1是氢原子。<7>根据<1>～<6>中任一项所述的热产碱剂，其中，由上述式(N1)表示的热产碱剂分解而产生的化合物是由下述式(N2)表示的化合物，由上述式(N2)表示的化合物的沸点为50℃以上。[化学式2]式(N2)中，RN1及RN2分别独立地表示1价有机基团。<8>一种感光性树脂组合物，其包含<1>～<7>中任一项所述的热产碱剂和含杂环聚合物的前体。<9>根据<8>所述的感光性树脂组合物，其进一步包含光自由基聚合引发剂及自由基聚合性化合物。<10>根据<8>或<9>所述的感光性树脂组合物，其中，上述含杂环聚合物的前体包括聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体。<11>根据<8>～<10>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述含杂环聚合物的前体包括聚酰亚胺前体。<12>根据<8>～<10>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述含杂环聚合物的前体具有由下述式(1)表示的结构单元。[化学式3]式(1)中，A1及A2分别独立地表示氧原子或NH，R111表示2价连接基，R115表示4价有机基团，R113及R114分别独立地表示氢原子或1价有机基团。<13>根据<12>所述的感光性树脂组合物，其中，上述式(1)中的R113及R114中的至少一个包含自由基聚合性基团。<14>根据<8>～<13>中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于形成再布线层用层间绝缘膜。<15>一种固化膜，其使<8>～<14>中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成。<16>一种层叠体，其具有2层以上的<15>所述的固化膜，且在上述固化膜之间具有金属层。<17>一种固化膜的制造方法，其包括将<8>～<16>中任一项所述的感光性树脂组合物适用于基板而形成膜的膜形成工序。<18>根据<17>所述的固化膜的制造方法，其包括将上述膜在50～450℃下加热的工序。<19>一种半导体器件，其具有<15>所述的固化膜或<16>所述的层叠体。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种新的热产碱剂，并实现在含有含杂环聚合物的前体的感光性树脂组合物领域中材料的丰富化。并且，根据本专利技术，能够实现感光性树脂组合物中的优异的保存稳定性，且能够提高由感光性树脂组合物形成的固化膜的断裂伸长率。具体实施方式以下，对本专利技术的内容进行详细说明。此外，本说明书中，“～”表示将记载于其前后的数值作为下限值及上限值而包含的含义而使用。以下所记载的本专利技术中的构成要件的说明有时基于本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热产碱剂，其由下述式(N1)表示；/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180910 JP 2018-1688581.一种热产碱剂，其由下述式(N1)表示；



式(N1)中，RN1及RN2分别独立地表示1价有机基团，RC1表示氢原子或保护基，L表示2价连接基。


2.根据权利要求1所述的热产碱剂，其中，
所述式(N1)中的L是连结链长1～5的2价有机基团。


3.根据权利要求1或2所述的热产碱剂，其中，
所述式(N1)中的RN1及RN2分别独立地为烃基。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的热产碱剂，其中，
所述式(N1)中的RN1及RN2分别独立地为脂肪族烃基。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的热产碱剂，其中，
所述式(N1)中的L为1，2-亚乙基、1，3-亚丙基、1，2-环己烷二基、顺式亚乙烯基、1，2-亚苯基、1，2-亚苯基亚甲基或1，2-亚乙氧基-1，2-亚乙基。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的热产碱剂，其中，
所述式(N1)中的RC1是氢原子。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的热产碱剂，其中，
由所述式(N1)表示的热产碱剂分解而产生的化合物是由下述式(N2)表示的化合物，由所述式(N2)表示的化合物的沸点为50℃以上，



式(N2)中，RN1及RN2分别独立地表示1价有机基团。


8.一种感光性树脂组合物，其包含权利要求1至7中任一项所述的热产碱剂和含杂环聚合物的前体。


9.根据权利要求8所述的感光性树脂组合物，其进...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩井悠，吉田健太，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP