快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法。为了将快门关闭驱动定时提前并抑制照度变动引起的累计光量控制精度的下降，在快门装置中具有：快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过；测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值和预先设定的设定累计光量来计算既定的测量时间，基于所述既定的测量时间的累计光量来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。

【技术实现步骤摘要】
快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法
本专利技术涉及曝光装置等使用的快门装置、光量控制方法等。
技术介绍
在步进重复方式的曝光装置中，作为控制曝光光及其量的功能而使用曝光快门。曝光快门例如由旋转体等形成，所述旋转体具有遮断光束的遮光部和使光束通过的开口部。作为步进重复方式的曝光装置的曝光处理的一个例子，存在如下那样的处理。首先，在成为曝光对象的基板上的曝光区域被定位于用以曝光的位置的状态下，进行用于将快门叶片从关闭状态(遮光状态)设为打开状态(非遮光状态)的打开驱动，并使之静止。然后在既定时间内用曝光光照射曝光区域，在达到期望的曝光量后，进行用于从打开状态设为关闭状态的关闭驱动，并完成曝光。接下来，使保持着基板的载置台移动到用于对接下来的曝光区域进行曝光的位置。在载置台的移动完成后，曝光快门再次进行打开驱动，开始曝光。将所述处理重复与预先设定的曝光区域数相当的量，由此进行曝光处理。接下来对曝光量控制方式进行说明。在前述那样的曝光量控制中，在快门的关闭驱动中，无法实时地进行曝光量控制。关闭驱动中的曝光量由快门叶片的形状、其驱动动作决定，因此无法一边反馈曝光量一边进行控制。于是，认为从快门叶片的关闭驱动开始到关闭驱动完成为止的曝光量是与从快门叶片的打开驱动开始到固定时间经过为止的曝光量是相等的，来进行控制。即，基于快门打开驱动时的曝光量测量值来计算快门关闭驱动期间的曝光量，基于计算出的关闭驱动中的曝光量来决定快门关闭驱动开始定时的曝光量，并进行驱动。基于从设定曝光量减去所述固定时间相当量的曝光量而得的结果，得到关闭驱动开始定时的曝光量。这种结构由日本特公昭61-34252号公报公开。另一方面，作为近年来对曝光装置的要求，为了提高装置生产性能，需要缩短曝光处理时间。作为达成该目的的一个手段存在如下情形，使从快门叶片打开动作完成到关闭动作开始为止的时间缩短。然而，由于对于快门叶片的动作指令而言的执行器响应、动作指令通信的延迟、反馈导致的计算处理的延迟等，曝光量的实时的测量时间比从快门打开动作开始到打开动作完成为止的时间长。即，快门叶片已经完成了打开动作，但快门关闭动作的开始定时需要等待所述测量时间完成，在此之前无法开始快门关闭动作。这成为妨碍使从快门叶片打开动作完成到关闭动作开始为止的时间缩短的原因。于是，在日本特开平6-120103号公报中，提出了如下的方法：在快门打开驱动中，测量从成为打开状态、照度达到最大起的固定时间相当量的曝光量，根据所述固定时间相当量的曝光量通过比例计算得到规定的时间相当量的曝光量。由此，能够不等待所述曝光量测量时间经过就决定快门关闭驱动开始时的曝光量，因此有助于缩短从快门叶片打开动作完成到关闭动作开始为止的时间。然而，在日本特开平6-120103号公报的技术中，在曝光期间发生了照度变动的情况下，在固定时间测量用于决定快门关闭驱动定时的曝光量时的照度与实际进行快门关闭驱动时的照度产生差异。其结果是，快门关闭动作时的预测出的曝光量与快门关闭动作时的实际的曝光量产生差异，曝光量控制精度下降。本专利技术是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种将曝光装置等的快门关闭驱动定时提前并且抑制照度变动引起的累计光量控制精度的下降的快门装置。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的一方面的快门装置的特征在于，具有：快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自所述光源的光通过；测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值和预先设定的设定累计光量来计算既定的测量时间，基于所述既定的测量时间的累计光量来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。通过以下参考附图对示例性实施例的描述，本专利技术的其他特征将变得更加明确。附图说明图1是包括本专利技术的实施例的曝光控制装置的曝光装置的结构框图。图2是示出实施例的曝光时的快门驱动状态与照度的场景的图。图3是示出基本的曝光量控制方法的图。图4是示出本专利技术的实施例1的动作定时的图。图5是示出本专利技术的实施例2的动作定时的图。图6是示出与图3对应的曝光方法的顺序的流程图。图7是示出本专利技术的实施例1的动作顺序的流程图。图8是示出本专利技术的实施例2的动作顺序的流程图。具体实施方式以下，参照附图，使用实施例对本专利技术的优选实施方式进行说明。另外，在各图中，针对相同的部件或要素附加相同的附图标记，并省略或简化重复的说明。[实施例1]图1示出了包括实施例1的快门装置的曝光装置(光刻装置)的结构框图。曝光装置包括：灯1，其作为光源，发出用于进行曝光的紫外线；椭圆反射镜(mirror)2，其用于将灯1的光引导至标线片(reticle)18上；以及旋转型曝光快门3，其控制来自椭圆反射镜2的光照射到标线片18上的时间。曝光快门3由遮断来自所述光源的光的快门叶片301和使该光通过的开口部302形成。在椭圆反射镜2与曝光快门3之间，设置有用于遮断曝光光的第二快门50。此外，通过了曝光快门3的曝光光经过透镜(lens)4之后，部分光被半反射镜(halfmirror)5引导至用于测量照度的光检测器(Photodetector)8。另一方面，通过了半反射镜5的光被反射镜MR反射并被引导至标线片(原版)18，经由投影光学系统LS被引导至作为对象物的基板ST并成像，对基板ST上的未图示的感光材料进行曝光。另外，由上述曝光快门3、透镜4、半反射镜5、反射镜MR等构成照明光学系统。除此之外，具备曝光快门驱动用电机(motor)6、用于对曝光快门的旋转进行检测的编码器7。电流驱动器10驱动曝光快门驱动用电机6。FVC(FrequencyVoltageConverter，频率电压转换器)11将来自编码器7的、与快门速度成比例的脉冲列转换为电压。AD转换器12将与来自用于测量累计曝光的光检测器8的光量成比例的模拟电压变换为数字数据。速度伺服放大器13产生同对应于实际速度的来自FVC11的值与次级速度指令值24之差成比例的输出，以使曝光快门3的实际速度与次级速度指令值24一致。乘法器14根据初级速度指令值21和增益控制数据20，生成次级速度指令值24。位置计数器15监视快门的旋转位置。累计曝光量(累计光量)计数器16对来自AD转换器12的输出进行计数，由此来监视在快门打开动作后入射到光检测器8的光的量的按时间的积分量(累计曝光量、累计光量)。累计曝光量计数器16与光检测器8、AD转换器12共同构成对通过了所述快门的光的照度进行测量的测量单元。另外，在此，累计曝光量(累计光量)不是瞬间的光量(照度)，而是指在整个照射期间中累计(积分)的光量，在实施例中，累计曝光量(累计光量)与曝光量具有相同的意思。控制器17用于控制整体的动作，内置有存储器19。在存储器19中保存有快门驱动速度相对于累计曝光量Et的关系式、参数。此外，控制器17内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快门装置，其特征在于，具有：/n快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过；/n测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及/n控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值和预先设定的设定累计光量来计算既定的测量时间，基于所述既定的测量时间的累计光量来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。/n

【技术特征摘要】
20190913 JP 2019-1674701.一种快门装置，其特征在于，具有：
快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过；
测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及
控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值和预先设定的设定累计光量来计算既定的测量时间，基于所述既定的测量时间的累计光量来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。


2.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述照度值是在从所述快门的打开驱动开始起经过既定时间的时间点，由所述测量单元测量出的照度值。


3.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述照度值是从所述快门的打开驱动开始起，由所述测量单元测量出的照度达到最大时的照度值。


4.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述既定的测量时间设定为，相对于基于所述照度值和所述设定累计光量计算出的测量时间而言，缩短既定的时间。


5.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述既定的测量时间设定为，相对于基于所述照度值和所述设定累计光量计算出的测量时间而言，缩短既定的时间，并且根据照度变动的范围或预先测定的所述快门的驱动定时的偏差，来决定所述既定的时间。


6.一种光量控制方法，是使用快门和测量单元的曝光控制方法，所述快门遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过，所述测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：仁平浩司，佐野裕贵，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP