喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够高精度地检测喷嘴内部流路中的处理液与气体的气液界面的技术。本发明专利技术涉及一种喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置。本发明专利技术的检测方法检测喷嘴内部流路中的处理液与气体的气液界面，具备拍摄工序及检测工序。在拍摄工序中，由相机拍摄包含透明喷嘴的拍摄区域而获取图像，所述透明喷嘴从内部流路的前端口也就是喷出口喷出处理液。在检测工序中，基于内部流路中的处理液与气体的存在分布状态不同的2个图像的差量，检测内部流路中的气液界面。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置
本申请涉及一种喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置。
技术介绍
在专利文献1中，记载了对衬底涂布抗蚀剂的衬底处理装置。该衬底处理装置包含：保持衬底的衬底保持部、对衬底喷出处理液(抗蚀剂)的喷出喷嘴、及拍摄喷出喷嘴的喷出口附近作为抗蚀剂侦测区的相机。在专利文献1中，由相机拍摄抗蚀剂侦测区，使用所获得的图像进行抗蚀剂喷出开始时点及抗蚀剂喷出结束时点的检测。具体来说，基于由相机获取的图像，判定喷出喷嘴是否喷出抗蚀剂，基于其判定结果检测抗蚀剂喷出开始时点及抗蚀剂喷出结束时点。在专利文献1中，基于抗蚀剂喷出开始时点及抗蚀剂喷出结束时点获取抗蚀剂喷出期间，当该抗蚀剂喷出期间成为特定允许范围之外时，判定为产生抗蚀剂喷出不良，对衬底处理装置的操作员发出警告。因此，操作员能够防止恐有处理不良的衬底流出到后续工序。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2003-273003号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]在专利文献1中，判定喷嘴是否喷出抗蚀剂，但关于在喷嘴内部流路中流动的处理液的状态，并未记载。例如，正常的处理液喷出中，喷嘴的内部流路成为由处理液充满的液密状态。但是，如果喷嘴的内部流路中混入气泡，那么该气泡会与处理液一起从喷出口释出。此时，存在处理液从喷嘴的喷出口飞溅的情况。另外，当喷嘴停止喷出时，存在进行回吸处理的情况，也就是说，喷嘴的内部流路成为负压而从喷出口将处理液的前端面吸入一定量。如果该回吸处理后的前端面的位置(回吸位置)成为特定基准范围之外，那么有可能在下一次喷出处理液时产生喷出不良。另外，也会存在未能适当进行回吸处理而导致喷嘴的内部流路中混入气泡的情况。此情况下，有可能在下次喷出处理液时产生喷出不良。因此，期待能监视喷嘴的内部流路的状态。更具体来说，期待能检测处理液的回吸位置及气泡的至少其中一个。换句话说，期待能检测喷嘴的内部流路中的处理液与气体的界面。因此，本申请的目的在于提供一种能够高精度地检测喷嘴的内部流路中的处理液与气体的气液界面的技术。[解决问题的技术手段]喷嘴内部的气液界面的检测方法的第1态样是一种检测喷嘴的内部流路中的处理液与气体的气液界面的检测方法，具备：拍摄工序，由相机拍摄包含透明的所述喷嘴的拍摄区域而获取图像，所述喷嘴是从所述内部流路的前端口也就是喷出口喷出所述处理液；及检测工序，基于所述内部流路中的所述处理液及所述气体的存在分布状态不同的2个所述图像的差量，检测所述内部流路中的所述气液界面。喷嘴内部的气液界面的检测方法的第2态样是根据第1态样的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中所述检测工序具备：边缘提取工序，对所述相机获取的所述2个所述图像进行边缘提取处理，分别获取第1边缘图像及第2边缘图像；边缘膨胀工序，对所述第2边缘图像进行使边缘膨胀的边缘膨胀处理，获取边缘膨胀图像；及获取表示所述第1边缘图像与所述边缘膨胀图像的差量的差量图像，基于所述差量图像中除来自所述边缘膨胀图像的边缘以外的边缘，检测所述气液界面的工序。喷嘴内部的气液界面的检测方法的第3态样是根据第2态样的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中在所述拍摄工序中，所述相机在处理期间的至少一部分依次获取所述图像，所述处理期间是在所述喷嘴的所述内部流路中从所述处理液静止的状态到所述处理液结束喷出而所述处理液再次静止为止，在所述检测工序中，基于在所述处理期间的至少一部分拍摄所得的所述2个所述图像，检测所述气液界面的位置。喷嘴内部的气液界面的检测方法的第4态样是根据第3态样的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中在所述拍摄工序中，所述相机在所述处理液于所述内部流路中静止时获取第1图像，在所述处理液朝向所述喷出口流动时获取第2图像，在所述边缘提取工序中，基于所述第1图像获取所述第1边缘图像，基于所述第2图像获取所述第2边缘图像。喷嘴内部的气液界面的检测方法的第5态样是根据第4态样的喷嘴内部的气液界面的检测方法，还具备如下工序：所述检测工序中，当基于所述第1图像及所述第2图像检测到多个所述气液界面的位置时，判定为产生异常。喷嘴内部的气液界面的检测方法的第6态样是根据第3至第5态样中任一态样的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中在所述拍摄工序中，所述相机在从所述喷嘴的所述喷出口喷出所述处理液的喷出期间，依次获取所述图像，在所述边缘提取工序中，基于所述喷出期间内由所述相机获取的当前的所述图像获取所述第1边缘图像，且基于所述喷出期间内紧接当前的所述图像之前由所述相机获取的所述图像获取所述第2边缘图像。喷嘴内部的气液界面的检测方法的第7态样是根据第6态样的喷嘴内部的气液界面的检测方法，还具备如下工序：所述检测工序中，当基于所述喷出期间内所拍摄的所述2个所述图像检测到所述气液界面时，判定为产生异常。衬底处理装置的态样具备：衬底保持部，保持衬底；透明喷嘴，从内部流路的前端口也就是喷出口向由所述衬底保持部保持的衬底喷出处理液；相机，拍摄包含所述喷嘴的拍摄区域，获取图像；及图像处理部，基于所述内部流路中的所述处理液与气体的存在分布状态不同的2个所述图像的差量，检测所述内部流路中的所述处理液与所述气体的气液界面。[专利技术的效果]根据喷嘴内部的气液界面的检测方法的第1态样及衬底处理装置的态样，由于基于相机所拍摄的图像检测喷嘴内部的气液界面，因此，能够高精度地检测气液界面。根据喷嘴内部的气液界面的检测方法的第2态样，通过第1边缘图像与边缘膨胀图像的差量，第1边缘图像的边缘中除表示气液界面的边缘以外的边缘被消除。也就是说，第1边缘图像中只有表示气液界面的边缘残留于差量图像中。反过来说，即便图像间喷嘴存在位置偏移，在差量图像中，也能够消除第1边缘图像的边缘中除表示气液界面的边缘以外的边缘。另一方面，边缘膨胀图像的边缘残留在差量图像中，但基于除来自边缘膨胀图像的边缘以外的边缘检测气液界面的位置。如上所述，排除图像间的喷嘴的位置偏移的影响、及边缘膨胀图像的边缘的影响，能够检测第1边缘图像中的气液界面。由此，能够高精度地检测气液界面。根据喷嘴内部的气液界面的检测方法的第3态样，由于使用处理期间中由相机获取的2个图像，因此即便产生对喷嘴造成损伤等的经年要素，也会在差量图像中消除该经年要素的影响。由此，能够更高精度地检测气液界面。根据喷嘴内部的气液界面的检测方法的第4态样，检测第1图像中的气液界面的位置。静止中的处理液的前端面的位置包含回吸位置，因此，能够检测回吸位置。根据喷嘴内部的气液界面的检测方法的第5态样，能够检测喷出前的喷嘴内部流路的异常。根据喷嘴内部的气液界面的检测方法的第6态样，通过基于紧接在前的图像的边缘膨胀图像与基于当前图像的第1边缘图像的差量处理，检测当前图像中的气液界面。此外，当在喷嘴的内部流路产生气泡，且该气泡在喷出处理液的过程中移动到相机的拍摄区域时，就初期而言，当前图像中含有气泡，紧接在前的图像中不含气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷嘴内部的气液界面的检测方法，检测喷嘴内部流路中的处理液与气体的气液界面，具备：/n拍摄工序，由相机拍摄包含透明的所述喷嘴的拍摄区域而获取图像，所述喷嘴从所述内部流路的前端口也就是喷出口喷出所述处理液；及/n检测工序，基于所述内部流路中的所述处理液与所述气体的存在分布状态不同的2个所述图像的差量，检测所述内部流路中的所述气液界面。/n

【技术特征摘要】
20190913 JP 2019-1668771.一种喷嘴内部的气液界面的检测方法，检测喷嘴内部流路中的处理液与气体的气液界面，具备：
拍摄工序，由相机拍摄包含透明的所述喷嘴的拍摄区域而获取图像，所述喷嘴从所述内部流路的前端口也就是喷出口喷出所述处理液；及
检测工序，基于所述内部流路中的所述处理液与所述气体的存在分布状态不同的2个所述图像的差量，检测所述内部流路中的所述气液界面。


2.根据权利要求1所述的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中
所述检测工序具备：
边缘提取工序，对所述相机获取的所述2个所述图像进行边缘提取处理，分别获取第1边缘图像及第2边缘图像；
边缘膨胀工序，对所述第2边缘图像进行使边缘膨胀之边缘膨胀处理，获取边缘膨胀图像；及
获取表示所述第1边缘图像与所述边缘膨胀图像的差量的差量图像，基于所述差量图像中除来自所述边缘膨胀图像的边缘以外的边缘，检测所述气液界面。


3.根据权利要求2所述的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中
在所述拍摄工序中，所述相机在处理期间的至少一部分依次获取所述图像，所述处理期间是在所述喷嘴的所述内部流路中从所述处理液静止的状态到所述处理液结束喷出而所述处理液再次静止为止，
在所述检测工序中，基于在所述处理期间的至少一部分拍摄所得的所述2个所述图像，检测所述气液界面的位置。


4.根据权利要求3所述的喷嘴内部的气液界面的检测方法，其中
在所述拍摄工序...

【专利技术属性】
技术研发人员：西本隆泰，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP