晶圆喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆喷涂装置，包括用于放置晶圆的工作台以及位于工作台上方的喷嘴，还包括龙门结构，所述龙门结构顶部的横梁位于工作台的上方，所述横梁上设有移动驱动机构和滑座；所述移动驱动机构用于驱动所述滑座沿横梁移动；还包括跟随所述滑座移动的储液箱和喷涂箱，所述喷嘴位于喷涂箱的底部。本实用新型专利技术通过移动驱动机构驱动喷涂箱和喷嘴移动，晶圆保持静止，不仅可以避免晶圆旋转导致的光阻溶液分布不均匀的问题，而且还可以一次喷涂多片晶圆，提高了喷涂效率和质量，同时还利用双活塞组件结构实现了交替、连续的喷涂。

【技术实现步骤摘要】
晶圆喷涂装置
本技术涉及芯片生产领域，具体涉及一种为晶圆喷涂荧光胶的设备。
技术介绍
芯片的光刻过程中，需要使用喷嘴向晶圆喷涂光阻液。传统的操作方式是使用静止的喷嘴，喷涂的同时晶圆旋转，使得光阻溶液均匀覆盖在晶圆表面。该方式的缺陷在于：旋转过程中，光阻溶液在离心力的作用下，会向边缘流动，导致分布不均匀。另一方面，现有的喷涂设备采用泵送装置将光阻溶液输送到喷嘴处，泵送装置的流量无法根据需要进行精确调整，导致喷嘴不能始终工作在最佳状态，无法保证喷涂质量。
技术实现思路
本技术提出了一种晶圆喷涂装置，其目的是：（1）避免光阻溶液因离心力分布不均匀；（2）实现对光阻溶液流量的精确控制，提高喷涂质量。本技术技术方案如下：一种晶圆喷涂装置，包括用于放置晶圆的工作台以及位于工作台上方的喷嘴，还包括龙门结构，所述龙门结构顶部的横梁位于工作台的上方，所述横梁上设有移动驱动机构和滑座；所述移动驱动机构用于驱动所述滑座沿横梁移动；还包括跟随所述滑座移动的储液箱和喷涂箱，所述喷嘴位于喷涂箱的底部；所述喷涂箱包括箱体，还包括位于箱体中的第二电机、第一螺杆、第一导向杆、第一滑块、第一活塞组件、第二螺杆、第二导向杆、第二滑块、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第二活塞组件以及三通接头；所述第二电机的输出轴、第一螺杆、第一导向杆、第一活塞组件、第二螺杆、第二导向杆以及第二活塞组件相互平行设置；第二齿轮安装在第二电机的输出轴上；第一螺杆和第二螺杆分别通过转动连接方式安装在箱体中，二者的螺纹旋向相反；所述第一齿轮安装在第一螺杆的端部，所述第三齿轮安装在第二螺杆的端部；所述第一齿轮与第二齿轮啮合、第二齿轮与第三齿轮啮合；所述第一滑块与所述第一螺杆通过螺纹配合方式相连接，第一滑块与固定安装在箱体中的第一导向杆滑动配合；所述第二滑块与所述第二螺杆通过螺纹配合方式相连接，第二滑块与固定安装在箱体中的第二导向杆滑动配合；所述第一活塞组件的活塞杆端部设有第一环形槽，所述第一滑块上的拨块与所述第一环形槽相配合；所述第二活塞组件的活塞杆端部设有第二环形槽，所述第二滑块上的拨块与所述第二环形槽相配合；所述第一活塞组件和第二活塞组件的活塞腔均开设有进液口和出液口；第一活塞组件和第二活塞组件的进液口分别通过一个第一接头与所述储液箱的出液口相连通，所述第一接头中带有单向阀，该单向阀的导通方向为由储液箱至活塞腔；第一活塞组件和第二活塞组件的出液口分别通过一个第二接头与三通接头的两个端口对应连接，所述第二接头中带有单向阀，该单向阀的导通方向为由活塞腔至三通接头；所述三通接头的第三个端口与所述喷嘴相连接。作为本装置的进一步改进：所述移动驱动机构包括导轨、第一电机、丝杠和轴承座；所述滑座通过滑动配合方式安装在导轨上，所述丝杠一端与第一电机的输出轴相连接、另一端与所述轴承座相连接；所述丝杠与安装在滑座上的螺母相配合。作为本装置的进一步改进：所述储液箱安装在滑座的后侧，所述喷涂箱安装在滑座的前侧。相对于现有技术，本技术具有以下有益效果：（1）本装置通过移动驱动机构驱动喷涂箱和喷嘴移动，晶圆保持静止，不仅可以避免晶圆旋转导致的光阻溶液分布不均匀的问题，而且还可以一次喷涂多片晶圆，提高了喷涂效率和质量；（2）本装置使用活塞组件代替泵送装置，活塞的移动速度可通过控制电机转速进行精确控制，从而达到精确控制流量的目的，改善喷涂效果；（3）采用双活塞方案，滑座每次换向的同时，转换两个活塞组件的工作状态，从而实现交替地连续喷涂；（4）使用一台电机控制两根旋向不同的螺杆转动，从而实现一台活塞组件吸液的同时另一台出液，降低了成本，节省了空间。附图说明图1为本技术的立体示意图。图2为喷涂箱的内部结构示意图。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术的技术方案：如图1，一种晶圆喷涂装置，包括用于放置晶圆的工作台1以及位于工作台1上方的喷嘴12，还包括龙门结构。所述龙门结构包括左立柱2、右立柱10以及横架在两个立柱上方的横梁4。所述工作台1的周围还布置有透明的挡板，挡板前侧安装有透明的推拉门（图中未画出）。所述横梁4位于工作台1的上方，所述横梁4上设有移动驱动机构和滑座7；所述移动驱动机构用于驱动所述滑座7沿横梁4移动。所述移动驱动机构包括两部导轨5、第一电机3、丝杠8和轴承座9。所述滑座7通过滑动配合方式安装在两部导轨5上，所述丝杠8一端与第一电机3的输出轴通过联轴器相连接、另一端与所述轴承座9相连接，实现滚动支撑。所述丝杠8与安装在滑座7上的螺母相配合。第一电机3带动丝杠8旋转时，滑座7在丝杠8的驱动下沿导轨5直线移动。本装置还包括跟随所述滑座7移动的储液箱6和喷涂箱11。所述储液箱6安装在滑座7的后侧，所述喷涂箱11安装在滑座7的前侧，用于平衡滑座7的负载，减少滑座7与导轨5之间的摩擦阻力。所述喷嘴12位于喷涂箱11的底部。如图2，所述喷涂箱11包括箱体，还包括位于箱体中的第二电机11-1、第一螺杆11-2、第一导向杆11-3、第一滑块11-4、第一活塞组件11-6、第二螺杆11-7、第二导向杆11-8、第二滑块11-9、第一齿轮11-15、第二齿轮11-16、第三齿轮11-17、第二活塞组件11-11以及三通接头11-14。所述第二电机11-1的输出轴、第一螺杆11-2、第一导向杆11-3、第一活塞组件11-6、第二螺杆11-7、第二导向杆11-8以及第二活塞组件11-11均为竖直设置。第二齿轮11-16安装在第二电机11-1的输出轴上，所述第二电机11-1的输出轴朝向下方。第一螺杆11-2和第二螺杆11-7分别通过转动连接方式安装在箱体中，二者的螺纹旋向相反。所述第一齿轮11-15安装在第一螺杆11-2的下端，所述第三齿轮11-17安装在第二螺杆11-7的下端；所述第一齿轮11-15与第二齿轮11-16啮合、第二齿轮11-16与第三齿轮11-17啮合。第一螺杆11-2和第二螺杆11-7、第一齿轮11-15和第三齿轮11-17均相对于第二电机11-1对称摆放。所述第一滑块11-4与所述第一螺杆11-2通过螺纹配合方式相连接，第一滑块11-4与固定安装在箱体中的第一导向杆11-3滑动配合；所述第二滑块11-9与所述第二螺杆11-7通过螺纹配合方式相连接，第二滑块11-9与固定安装在箱体中的第二导向杆11-8滑动配合。进一步的，第一螺杆11-2和第一导向杆11-3均安装在位于第二电机11-1左侧的第一支架上，第二螺杆11-7和第二导向杆11-8均安装在位于第二电机11-1右侧的第二支架上。初始安装时，第一滑块11-4位于第一螺杆11-2的上端，第二滑块11-9位于第二螺杆11-7的下端。所述第一活塞组件11-6的活塞杆端部设有第一环形槽11-5，所述第一滑块11-4上的拨块与所述第一环形槽11-5相配合；所述第二活塞组件11-11的活塞杆端部设有第二环形槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆喷涂装置，包括用于放置晶圆的工作台（1）以及位于工作台（1）上方的喷嘴（12），其特征在于：还包括龙门结构，所述龙门结构顶部的横梁（4）位于工作台（1）的上方，所述横梁（4）上设有移动驱动机构和滑座（7）；所述移动驱动机构用于驱动所述滑座（7）沿横梁（4）移动；/n还包括跟随所述滑座（7）移动的储液箱（6）和喷涂箱（11），所述喷嘴（12）位于喷涂箱（11）的底部；/n所述喷涂箱（11）包括箱体，还包括位于箱体中的第二电机（11-1）、第一螺杆（11-2）、第一导向杆（11-3）、第一滑块（11-4）、第一活塞组件（11-6）、第二螺杆（11-7）、第二导向杆（11-8）、第二滑块（11-9）、第一齿轮（11-15）、第二齿轮（11-16）、第三齿轮（11-17）、第二活塞组件（11-11）以及三通接头（11-14）；/n所述第二电机（11-1）的输出轴、第一螺杆（11-2）、第一导向杆（11-3）、第一活塞组件（11-6）、第二螺杆（11-7）、第二导向杆（11-8）以及第二活塞组件（11-11）相互平行设置；/n第二齿轮（11-16）安装在第二电机（11-1）的输出轴上；/n第一螺杆（11-2）和第二螺杆（11-7）分别通过转动连接方式安装在箱体中，二者的螺纹旋向相反；所述第一齿轮（11-15）安装在第一螺杆（11-2）的端部，所述第三齿轮（11-17）安装在第二螺杆（11-7）的端部；所述第一齿轮（11-15）与第二齿轮（11-16）啮合、第二齿轮（11-16）与第三齿轮（11-17）啮合；/n所述第一滑块（11-4）与所述第一螺杆（11-2）通过螺纹配合方式相连接，第一滑块（11-4）与固定安装在箱体中的第一导向杆（11-3）滑动配合；所述第二滑块（11-9）与所述第二螺杆（11-7）通过螺纹配合方式相连接，第二滑块（11-9）与固定安装在箱体中的第二导向杆（11-8）滑动配合；/n所述第一活塞组件（11-6）的活塞杆端部设有第一环形槽（11-5），所述第一滑块（11-4）上的拨块与所述第一环形槽（11-5）相配合；所述第二活塞组件（11-11）的活塞杆端部设有第二环形槽（11-10），所述第二滑块（11-9）上的拨块与所述第二环形槽（11-10）相配合；/n所述第一活塞组件（11-6）和第二活塞组件（11-11）的活塞腔均开设有进液口和出液口；第一活塞组件（11-6）和第二活塞组件（11-11）的进液口分别通过一个第一接头（11-12）与所述储液箱（6）的出液口相连通，所述第一接头（11-12）中带有单向阀，该单向阀的导通方向为由储液箱（6）至活塞腔；第一活塞组件（11-6）和第二活塞组件（11-11）的出液口分别通过一个第二接头（11-13）与三通接头（11-14）的两个端口对应连接，所述第二接头（11-13）中带有单向阀，该单向阀的导通方向为由活塞腔至三通接头（11-14）；所述三通接头（11-14）的第三个端口与所述喷嘴（12）相连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆喷涂装置，包括用于放置晶圆的工作台（1）以及位于工作台（1）上方的喷嘴（12），其特征在于：还包括龙门结构，所述龙门结构顶部的横梁（4）位于工作台（1）的上方，所述横梁（4）上设有移动驱动机构和滑座（7）；所述移动驱动机构用于驱动所述滑座（7）沿横梁（4）移动；
还包括跟随所述滑座（7）移动的储液箱（6）和喷涂箱（11），所述喷嘴（12）位于喷涂箱（11）的底部；
所述喷涂箱（11）包括箱体，还包括位于箱体中的第二电机（11-1）、第一螺杆（11-2）、第一导向杆（11-3）、第一滑块（11-4）、第一活塞组件（11-6）、第二螺杆（11-7）、第二导向杆（11-8）、第二滑块（11-9）、第一齿轮（11-15）、第二齿轮（11-16）、第三齿轮（11-17）、第二活塞组件（11-11）以及三通接头（11-14）；
所述第二电机（11-1）的输出轴、第一螺杆（11-2）、第一导向杆（11-3）、第一活塞组件（11-6）、第二螺杆（11-7）、第二导向杆（11-8）以及第二活塞组件（11-11）相互平行设置；
第二齿轮（11-16）安装在第二电机（11-1）的输出轴上；
第一螺杆（11-2）和第二螺杆（11-7）分别通过转动连接方式安装在箱体中，二者的螺纹旋向相反；所述第一齿轮（11-15）安装在第一螺杆（11-2）的端部，所述第三齿轮（11-17）安装在第二螺杆（11-7）的端部；所述第一齿轮（11-15）与第二齿轮（11-16）啮合、第二齿轮（11-16）与第三齿轮（11-17）啮合；
所述第一滑块（11-4）与所述第一螺杆（11-2）通过螺纹配合方式相连接，第一滑块（11-4）与固定安装在箱体中的第一导向杆（11-3）滑动配合；所述第二滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乐豪，
申请(专利权)人：王乐豪，
类型：新型
国别省市：山东;37