用于底部发射或底部检测光学设备的测试设备制造技术

用于底部发射或底部检测光学设备的测试设备可以包括支撑结构，以支撑下透明卡盘和上透明卡盘，所述上透明卡盘包括一组真空孔。在一些实施方式中，当将真空泵施加到支撑结构的侧壁中的开口时，可以在下透明卡盘和上透明卡盘之间的空间中形成真空。例如，真空可产生吸力，以使被测光学设备机械地固定在上透明卡盘的顶表面上。测试设备还可以包括光电检测器，其设置在所述下透明卡盘下方，以在一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的电气路径时检测穿过所述上透明卡盘和所述下透明卡盘行进的光。

【技术实现步骤摘要】
用于底部发射或底部检测光学设备的测试设备相关申请的交叉引用本申请要求享有2019年9月12日提交的题为“TESTINGDEVICEFORBOTTOM-EMITTINGOPTICALDEVICES”的美国临时申请号62/899,540的优先权的权益，其全部内容通过引用并入本文。
本公开总体上涉及测试光学设备，并且更具体地，涉及具有透明卡盘设计以测试底部发射光学设备、底部检测光学设备等的测试设备。
技术介绍
竖直发射设备、例如竖直腔表面发射激光器是这样的激光器，其中，在垂直于基板表面的方向(例如，从半导体晶片的表面竖直地)发射激光束。与边缘发射设备相反，竖直发射设备可以允许在晶片制造的中间步骤进行测试。
技术实现思路
根据一些实施方式，一种装置可以包括：支撑结构，该支撑结构具有形成在侧壁中的至少一个开口；由支撑结构支撑的下透明卡盘；由支撑结构支撑的上透明卡盘，其中上透明卡盘包括一组真空孔，其中下透明卡盘和上透明卡盘之间的空间限定了腔室，在该腔室中，当将真空泵施加到支撑结构的侧壁中的所述至少一个开口时形成真空，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装置，包括：/n支撑结构，具有形成在侧壁中的至少一个开口；/n下透明卡盘，由所述支撑结构支撑；/n上透明卡盘，由所述支撑结构支撑，/n其中所述上透明卡盘包括一组真空孔，/n其中所述下透明卡盘和所述上透明卡盘之间的空间限定了腔室，当真空泵被施加到所述支撑结构的侧壁中的至少一个开口时，在所述腔室中形成真空，和/n其中在所述下透明卡盘和所述上透明卡盘之间的所述腔室中形成的真空产生吸力，该吸力使得被测光学设备机械地固定在所述上透明卡盘的顶表面上；和/n光电检测器，设置在所述下透明卡盘下方，以在一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的电气路径时检测行进穿过所述上透明卡盘和所述下透明卡盘的光...

【技术特征摘要】
20190912 US 62/899,540;20191125 US 16/694,7621.一种装置，包括：
支撑结构，具有形成在侧壁中的至少一个开口；
下透明卡盘，由所述支撑结构支撑；
上透明卡盘，由所述支撑结构支撑，
其中所述上透明卡盘包括一组真空孔，
其中所述下透明卡盘和所述上透明卡盘之间的空间限定了腔室，当真空泵被施加到所述支撑结构的侧壁中的至少一个开口时，在所述腔室中形成真空，和
其中在所述下透明卡盘和所述上透明卡盘之间的所述腔室中形成的真空产生吸力，该吸力使得被测光学设备机械地固定在所述上透明卡盘的顶表面上；和
光电检测器，设置在所述下透明卡盘下方，以在一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的电气路径时检测行进穿过所述上透明卡盘和所述下透明卡盘的光。


2.根据权利要求1所述的装置，还包括：
位于所述上透明卡盘的顶表面上的第一电极，
其中所述被测光学设备具有位于顶表面上的第二电极，和
其中，当所述一个或多个探针与所述被测光学设备的顶表面上的所述第二电极接触而所述被测光学设备与位于所述上透明卡盘的顶表面上的所述第一电极接触时，所述一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的所述电气路径。


3.根据权利要求1所述的装置，其中，
所述一个或多个探针至少包括第一探针和第二探针，和
当所述第一探针与所述被测光学设备的顶表面上的第一电极接触而所述第二电极与所述被测光学设备的顶表面上的第二电极接触时，所述一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的所述电气路径。


4.根据权利要求1所述的装置，还包括：
与所述上透明卡盘热接触的加热元件，以导致所述被测光学设备在所述一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的所述电气路径之前被加热到目标温度。


5.根据权利要求1所述的装置，还包括：
与所述上透明卡盘和所述支撑结构热接触的冷却元件，以在所述一个或多个探针完成导致所述被测光学设备发射光的所述电气路径之前，将热量从所述被测光学设备传导离开。


6.根据权利要求1所述的装置，其中，
所述下透明卡盘或所述上透明卡盘中的一个或多个具有抗反射涂层。


7.根据权利要求1所述的装置，其中，
在所述下透明卡盘和所述上透明卡盘之间的腔室中形成的真空使所述被测光学设备抵靠所述上透明卡盘的顶表面被平坦化，以防止由所述一个或多个探针从上方接触时弯曲。


8.根据权利要求1所述的装置，其中，
所述下透明卡盘或所述上透明卡盘中的一个或多个由具有以下中的一项或多项的材料形成：满足阈值的热导率或承受在将所述真空泵施加到所述支撑结构的侧壁中的所述至少一个开口时形成的真空的硬度。


9.根据权利要求1所述的装置，其中，
所述一组真空孔根据基于所述被测光学设备的布局的图案形成在所述上透明卡盘中。


10.根据权利要求1所述的装置，其中，
所述被测光学设备包括被配置为发射光的竖直腔表面发射激光器设备。


11.一种装置，包括：
支撑结构，具有形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：A杨，
申请(专利权)人：朗美通经营有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国;US