本发明专利技术公开的一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，包括盒体，所述盒体内设有半圆储存腔，所述半圆储存腔上侧连通设有开口向上的直线储存腔，所述直线储存腔圆周壁且左右均匀分布的连通设有半圆滑槽，所述直线储存腔前后壁且左右均匀分布的连通设有连通所述半圆滑槽的直线滑槽，所述半圆储存腔圆周壁和所述直线储存腔前后壁上且在每两个所述半圆滑槽之间均固定设有分隔挡板，本发明专利技术能够对放入其中的半导体晶圆夹紧固定，并且设置有自动关闭的盖板，能够及时地将储存晶圆的腔封闭，减少灰尘的进入，通过缓冲结构减少运输过程中的不稳定的震动对晶圆的影响，保护晶圆的安全，同时在设置了散热结构，减少高温对储存晶圆的影响。
【技术实现步骤摘要】
一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒
本专利技术涉及半导体相关领域，具体为一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒。
技术介绍
在芯片制造过程中，会使用高纯度的多晶硅生产出晶圆，晶圆是生产芯片的重要材料，在生产流水线上，晶圆需要不断被转移运输，移动至下一个工序，或者暂时地储存，因此需要专用的晶圆储存盒来保护晶圆，而一般的晶圆盒是开方式的，导致一些空气中或者设备上的杂质灰尘等进入到晶圆盒内，造成晶圆的污染，影响了晶圆的纯度和精度。本专利技术阐述的一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，能够解决上述问题。
技术实现思路
为解决上述问题，本例设计了一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，本例的一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，包括盒体，所述盒体内设有半圆储存腔，所述半圆储存腔上侧连通设有开口向上的直线储存腔，所述直线储存腔圆周壁且左右均匀分布的连通设有半圆滑槽，所述直线储存腔前后壁且左右均匀分布的连通设有连通所述半圆滑槽的直线滑槽，所述半圆储存腔圆周壁和所述直线储存腔前后壁上且在每两个所述半圆滑槽之间均固定设有分隔挡板，所述半圆滑槽内左右对称且能左右滑动的设有半圆夹板，所述半圆夹板上端面前后两侧分别固定设有能在所述直线滑槽内左右滑动的垂直夹紧板，每两个左右对称的所述半圆夹板相互远离一端面与所述半圆滑槽左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有半圆缓冲弹簧，每两个左右对称的所述垂直夹紧板相互远离一端面与所述直线滑槽左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有垂直缓冲弹簧，所述盒体内且在每一个所述半圆滑槽下侧设有升降板腔，所述升降板腔内能上下滑动的设有升降板，所述升降板下端面与所述升降板腔下壁之间且前后对称分别固定连接有升降复位弹簧，所述升降板腔上壁与所述半圆滑槽下壁之间且左右对称分别连通设有缓冲锁定梢腔，所述半圆夹板内正对所述缓冲锁定梢腔上方设有开口向下的缓冲锁定槽，所述升降板上端面左右两侧分别设有能在所述缓冲锁定梢腔内上下滑动的缓冲锁定梢，所述缓冲锁定梢上端能够在所述缓冲锁定槽内滑进滑出，所述直线储存腔前后壁分别连通设有开口向外的盖板滑动腔，所述盖板滑动腔内左右均匀分布且能前后滑动的设有防尘盖板，前后两侧所述防尘盖板相对一端面内分别固定设有盖板连接磁铁，所述盖板滑动腔上壁靠近所述直线储存腔一侧连通设有开口向上的把手腔，所述防尘盖板上端面且在所述把手腔内固定设有把手，所述直线储存腔和所述半圆储存腔左侧共同连通设有开口向左的散热通道，所述散热通道内壁上固定设有风扇罩，所述风扇罩内左右贯通的设有风扇腔，所述散热通道内壁且在所述风扇罩右侧固定设有防尘滤板。可优选的，每一个所述升降板腔下侧连通设有连通腔，所述连通腔前后壁之间转动设有拨杆转轴，所述拨杆转轴外圆面固定设有拨杆，所述升降板内设有开口向下的铰接滑块腔，所述铰接滑块腔内能左右滑动的设有铰接滑块，所述铰接滑块左端面与所述铰接滑块腔左壁之间固定连接有铰接复位弹簧，所述铰接滑块内前后贯穿的转动设有铰接转轴，所述铰接转轴与所述拨杆之间转动连接。可优选的，所有所述连通腔下侧共同连通设有平移腔，所述平移腔内左右均匀分布且能左右滑动的设有平移滑块，所述拨杆下端延伸至所述平移腔内，所述平移腔左右壁之间转动设有与所述平移滑块螺纹连接的平移螺杆，所述平移腔左壁内固定设有动力驱动机构，所述平移螺杆左端动力连接于所述动力驱动机构右端面。可优选的，所述防尘盖板下端面远离所述直线储存腔一侧固定设有弹簧连接板，所述盒体内前后两端面内且正对每一个所述弹簧连接板设有开口向外的弹簧槽，所述弹簧连接板靠近所述直线储存腔一端面与所述弹簧槽靠近所述直线储存腔一侧壁之间固定连接有盖板弹簧，每一个所述升降板腔上壁与所述盖板滑动腔下壁之间且前后对称分别连通设有盖板锁定杆腔，每一个所述防尘盖板内正对所述盖板锁定杆腔设有开口向下的盖板锁定槽，所述升降板上端面前后对称分别固定设有能在所述盖板锁定杆腔内上下滑动的盖板锁定杆，所述盖板锁定杆上端能够在所述盖板锁定槽内滑进滑出。可优选的，所述散热通道下壁上且在所述风扇罩和所述防尘滤板之间固定设有带轮罩，所述带轮罩内设有开口向下的连通带轮腔，所述连通带轮腔左右壁之间转动设有风扇轴，所述风扇轴左端延伸至所述风扇腔内且外圆面圆周阵列的固定设有风扇叶。可优选的，所述盒体内且连通所述连通带轮腔设有带轮腔，所述带轮腔下侧左右壁之间转动设有动力轴，所述动力轴外圆面与所述风扇轴外圆面分别固定设有传动带轮，上下两侧所述传动带轮之间绕设有传动皮带，所述盒体内且在所述带轮腔和所述平移腔之间固定设有动力驱动机构，所述平移螺杆左端动力连接于所述动力驱动机构右端面，所述动力轴右端动力连接于所述动力驱动机构左端面。本专利技术的有益效果是：本专利技术能够对放入其中的半导体晶圆夹紧固定，并且设置有自动关闭的盖板，能够及时地将储存晶圆的腔封闭，减少灰尘的进入，通过缓冲结构减少运输过程中的不稳定的震动对晶圆的影响，保护晶圆的安全，同时在设置了散热结构，减少高温对储存晶圆的影响。附图说明为了更清楚地说明专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的整体结构示意图。图2是图1中A-A的结构示意图。图3是图1中B的放大结构示意图。图4是图2中C的放大结构示意图。具体实施方式下面结合图1-4对本专利技术进行详细说明，其中，为叙述方便，现对下文所说的方位规定如下：下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。本专利技术所述的一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，包括盒体11，所述盒体11内设有半圆储存腔12，所述半圆储存腔12上侧连通设有开口向上的直线储存腔13，所述直线储存腔13圆周壁且左右均匀分布的连通设有半圆滑槽15，所述直线储存腔13前后壁且左右均匀分布的连通设有连通所述半圆滑槽15的直线滑槽14，所述半圆储存腔12圆周壁和所述直线储存腔13前后壁上且在每两个所述半圆滑槽15之间均固定设有分隔挡板65，所述半圆滑槽15内左右对称且能左右滑动的设有半圆夹板16，所述半圆夹板16上端面前后两侧分别固定设有能在所述直线滑槽14内左右滑动的垂直夹紧板60，每两个左右对称的所述半圆夹板16相互远离一端面与所述半圆滑槽15左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有半圆缓冲弹簧17，每两个左右对称的所述垂直夹紧板60相互远离一端面与所述直线滑槽14左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有垂直缓冲弹簧61，所述盒体11内且在每一个所述半圆滑槽15下侧设有升降板腔35，所述升降板腔35内能上下滑动的设有升降板37，所述升降板37下端面与所述升降板腔35下壁之间且前后对称分别固定连接有升降复位弹簧36，所述升降板腔35上壁与所述半圆滑槽15下壁之间且左右对称分别连通设有缓冲锁定梢腔48，所述半圆夹板16内正对所述缓冲锁定梢腔48上方设有开口向下的缓本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，包括盒体，其特征在于：所述盒体内设有半圆储存腔，所述半圆储存腔上侧连通设有开口向上的直线储存腔，所述直线储存腔圆周壁且左右均匀分布的连通设有半圆滑槽，所述直线储存腔前后壁且左右均匀分布的连通设有连通所述半圆滑槽的直线滑槽，所述半圆储存腔圆周壁和所述直线储存腔前后壁上且在每两个所述半圆滑槽之间均固定设有分隔挡板，所述半圆滑槽内左右对称且能左右滑动的设有半圆夹板，所述半圆夹板上端面前后两侧分别固定设有能在所述直线滑槽内左右滑动的垂直夹紧板，每两个左右对称的所述半圆夹板相互远离一端面与所述半圆滑槽左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有半圆缓冲弹簧，每两个左右对称的所述垂直夹紧板相互远离一端面与所述直线滑槽左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有垂直缓冲弹簧，所述盒体内且在每一个所述半圆滑槽下侧设有升降板腔，所述升降板腔内能上下滑动的设有升降板，所述升降板下端面与所述升降板腔下壁之间且前后对称分别固定连接有升降复位弹簧，所述升降板腔上壁与所述半圆滑槽下壁之间且左右对称分别连通设有缓冲锁定梢腔，所述半圆夹板内正对所述缓冲锁定梢腔上方设有开口向下的缓冲锁定槽，所述升降板上端面左右两侧分别设有能在所述缓冲锁定梢腔内上下滑动的缓冲锁定梢，所述缓冲锁定梢上端能够在所述缓冲锁定槽内滑进滑出，所述直线储存腔前后壁分别连通设有开口向外的盖板滑动腔，所述盖板滑动腔内左右均匀分布且能前后滑动的设有防尘盖板，前后两侧所述防尘盖板相对一端面内分别固定设有盖板连接磁铁，所述盖板滑动腔上壁靠近所述直线储存腔一侧连通设有开口向上的把手腔，所述防尘盖板上端面且在所述把手腔内固定设有把手，所述直线储存腔和所述半圆储存腔左侧共同连通设有开口向左的散热通道，所述散热通道内壁上固定设有风扇罩，所述风扇罩内左右贯通的设有风扇腔，所述散热通道内壁且在所述风扇罩右侧固定设有防尘滤板。/n...
【技术特征摘要】
1.一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，包括盒体，其特征在于：所述盒体内设有半圆储存腔，所述半圆储存腔上侧连通设有开口向上的直线储存腔，所述直线储存腔圆周壁且左右均匀分布的连通设有半圆滑槽，所述直线储存腔前后壁且左右均匀分布的连通设有连通所述半圆滑槽的直线滑槽，所述半圆储存腔圆周壁和所述直线储存腔前后壁上且在每两个所述半圆滑槽之间均固定设有分隔挡板，所述半圆滑槽内左右对称且能左右滑动的设有半圆夹板，所述半圆夹板上端面前后两侧分别固定设有能在所述直线滑槽内左右滑动的垂直夹紧板，每两个左右对称的所述半圆夹板相互远离一端面与所述半圆滑槽左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有半圆缓冲弹簧，每两个左右对称的所述垂直夹紧板相互远离一端面与所述直线滑槽左右两侧壁之间均匀分布的固定连接有垂直缓冲弹簧，所述盒体内且在每一个所述半圆滑槽下侧设有升降板腔，所述升降板腔内能上下滑动的设有升降板，所述升降板下端面与所述升降板腔下壁之间且前后对称分别固定连接有升降复位弹簧，所述升降板腔上壁与所述半圆滑槽下壁之间且左右对称分别连通设有缓冲锁定梢腔，所述半圆夹板内正对所述缓冲锁定梢腔上方设有开口向下的缓冲锁定槽，所述升降板上端面左右两侧分别设有能在所述缓冲锁定梢腔内上下滑动的缓冲锁定梢，所述缓冲锁定梢上端能够在所述缓冲锁定槽内滑进滑出，所述直线储存腔前后壁分别连通设有开口向外的盖板滑动腔，所述盖板滑动腔内左右均匀分布且能前后滑动的设有防尘盖板，前后两侧所述防尘盖板相对一端面内分别固定设有盖板连接磁铁，所述盖板滑动腔上壁靠近所述直线储存腔一侧连通设有开口向上的把手腔，所述防尘盖板上端面且在所述把手腔内固定设有把手，所述直线储存腔和所述半圆储存腔左侧共同连通设有开口向左的散热通道，所述散热通道内壁上固定设有风扇罩，所述风扇罩内左右贯通的设有风扇腔，所述散热通道内壁且在所述风扇罩右侧固定设有防尘滤板。
2.如权利要求1所述的一种封闭防尘的半导体晶圆运输盒，其特征在于：每一个所述升降板腔下侧连通设有连通腔，所述连通腔前后壁之间转动设有拨杆转轴，所述拨杆转轴外圆面固定设有拨杆，所述升降板内设有开口向下的铰接滑块腔，所述铰接滑块腔内能左右滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员：左英花，
申请(专利权)人：上海坠雪电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。