一种集成电路V形槽开槽机制造技术

一种集成电路V形槽开槽机，属集成电路制造技术领域，包括传送部、基板、支撑部和工作部，基板随传送部向前移动，支撑部位于传送部上方，工作部安装在支撑部上。传送部包括主传送带和压紧带，主传送带具有两个，分别位于两侧，压紧带具有两个，分别位于两个主传送带的上方。支撑部包括横梁和滑槽，横梁位于传送部上方，横梁上具有滑槽，滑槽内安装工作部。工作部包括主轴、垫块、轴承、螺母、刀具、带轮和齿轮，主轴安装在轴承内，轴承压入垫块上部，垫块安装在支撑部的滑槽内，螺母将垫块固定在滑槽上，刀具安装主轴底部。最外侧的一个主轴上安装带轮，带轮通过皮带连接外部驱动装置。带轮通过皮带连接外部驱动装置。带轮通过皮带连接外部驱动装置。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路V形槽开槽机


[0001]本专利技术属于集成电路制造
，尤其涉及一种集成电路V形槽开槽机。

技术介绍

[0002]集成电路制造的前期通常将多块集成电路阵列排布在一个大的基板上，整个大的基板完成制造后再分解成多个集成电路单元，为了便于后期的分解工作，通常预先在大的基板上按照集成电路单元的尺寸开出V形槽，后期分解时可以容易的从V形槽处断开。当前常见的做法是使用V形开槽刀具在预定的开槽位置开槽，如遇到划分的单元数量较多时，V形开槽刀具需要多次往复运动才能完成多条V形槽的开槽工作，对于不同尺寸的开槽操作，还需要频繁编制新的数控程序来控制开槽机工作。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种集成电路V形槽开槽机，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0004]本专利技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种集成电路V形槽开槽机，包括传送部、基板、支撑部和工作部，基板随传送部向前移动，支撑部位于传送部上方，工作部安装在支撑部上。传送部包括主传送带和压紧带，主传送带具有两个，分别位于两侧，压紧带具有两个，分别位于两个主传送带的上方。支撑部包括横梁和滑槽，横梁位于传送部上方，横梁上具有滑槽，滑槽内安装工作部。工作部包括主轴、垫块、轴承、螺母、刀具、带轮和齿轮，主轴安装在轴承内，轴承压入垫块上部，垫块安装在支撑部的滑槽内，螺母将垫块固定在滑槽上，刀具安装主轴底部，根据需要开槽的数量以及V形槽的距离确定工作部的安装数量，并选择相应尺寸的齿轮，将齿轮安装在主轴顶部，相邻两个齿轮之间互相拟合，使得多个主轴之间转动互相传递，驱动所有主轴同步转动。最外侧的一个主轴上安装带轮，带轮通过皮带连接外部驱动装置，外部驱动装置驱动带轮转动，带轮带动其所在的主轴转动。
[0005]进一步的，主传送带和压紧带之间预留间隙以容纳基板。
[0006]进一步的，主传送带和压紧带之间预留的间隙控制在基板厚度的0.9倍。
[0007]进一步的，压紧带的前部比主传送带短，便于完成开槽的基板从传送部上取出。
[0008]进一步的，主轴包括主杆、卡盘和六角头，主杆安装在轴承上，主杆底部为卡盘，卡盘选用最为常见的三爪卡盘，刀具安装在卡盘上，主杆顶部为六角头，齿轮安装在六角头上。
[0009]进一步的，垫块包括方头、方块、轴承孔、螺纹台和中心孔，方头位于方块顶部，方块嵌入滑槽内，方头内具有轴承孔，轴承孔内安装轴承，放款底部具有螺纹台，螺纹台上安装螺母，螺母将垫块固定在横梁上的合适位置，垫块中部具有中心孔，中心孔内穿过主轴。
[0010]本专利技术的有益效果是：本专利技术用于集成电路板基板的开槽操作，其模块化的设计使得整个开槽机可以根据基板上需要开出的V形槽的数量和间隔配置所需数量的工作部，并配备合适尺寸的齿轮连环
驱动各个工作部，基板一次行程便可以完成一向的所有V形槽的开槽工作，本领域技术人员可以很容易的在本技术方案的基础上设置互相垂直的两条传送带相互衔接以完成一次行程双向开槽的操作。
附图说明
[0011]图1是本专利技术的示意图；图2是本专利技术的右视图；图3是本专利技术的爆炸图；图4是本专利技术的局部爆炸图；图中：10.传送部，11.主传送带，12.压紧带，20.基板，30.支撑部，31.横梁，32.滑槽，40.工作部，41.主轴，411.主杆，412.卡盘，413.六角头，42.垫块，421.方头，422.方块，423.轴承孔，424.螺纹台，425.中心孔，43.轴承，44.螺母，45.刀具，46.带轮，47.齿轮。
具体实施方式
[0012]为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的首选实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容更加透彻全面。
[0013]参见图1-图4所示的集成电路V形槽开槽机，包括传送部10、基板20、支撑部30和工作部40，基板20随传送部20向前移动，支撑部30位于传送部10上方，工作部40安装在支撑部30上。
[0014]传送部10包括主传送带11和压紧带12，主传送带11具有两个，分别位于两侧，压紧带12具有两个，分别位于两个主传送带11的上方，主传送带11和压紧带12之间预留间隙以容纳基板，主传送带11和压紧带12之间预留的间隙控制在基板厚度的0.9倍。压紧带12的前部比主传送带11短，便于完成开槽的基板20从传送部10上取出。
[0015]基板20从主传送带11和压紧带12之间的间隙沿着传送部10向前移动。
[0016]支撑部30包括横梁31和滑槽32，横梁31位于传送部10上方，横梁31上具有滑槽32，滑槽32内安装工作部40。
[0017]工作部40包括主轴41、垫块42、轴承43、螺母44、刀具45、带轮46和齿轮47，主轴41安装在轴承43内，轴承43压入垫块42上部，垫块42安装在支撑部30的滑槽32内，螺母44将垫块42固定在滑槽32上，刀具45安装主轴41底部，根据需要开槽的数量以及V形槽的距离确定工作部40的安装数量，并选择相应尺寸的齿轮47，将齿轮47安装在主轴41顶部，相邻两个齿轮47之间互相拟合，使得多个主轴41之间转动互相传递，驱动所有主轴41同步转动。最外侧的一个主轴41上安装带轮46，带轮46通过皮带连接外部驱动装置，外部驱动装置驱动带轮46转动，带轮46带动其所在的主轴41转动，再通过齿轮47传递该转动，使得所有主轴41同步转动，完成基板上的V形槽开槽工作。
[0018]主轴41包括主杆411、卡盘412和六角头413，主杆411安装在轴承43上，主杆411底部为卡盘412，卡盘412选用最为常见的三爪卡盘，刀具45安装在卡盘412上，主杆411顶部为六角头413，齿轮47安装在六角头413上。
[0019]垫块42包括方头421、方块422、轴承孔423、螺纹台424和中心孔425，方头421位于
方块422顶部，方块422嵌入滑槽32内，方头421内具有轴承孔423，轴承孔423内安装轴承43，放款422底部具有螺纹台424，螺纹台424上安装螺母44，螺母44将垫块42固定在横梁31上的合适位置，垫块42中部具有中心孔425，中心孔425内穿过主轴41。
[0020]本专利技术的工作原理是：首先按照附图将开槽机装配完毕，根据需要开出的V形槽的数量和间隔安装合适数量的工作部40，并为工作部40配备数量和尺寸合适的齿轮47，将带轮46连接至动力源，启动开槽机，使得所有刀具45在主轴41的带动下转动，从传送部10的间隙内依次送入基板20，使基板20随传送部10向前运动，基板20经过刀具45时完成开槽工作，基板20继续运动，从传送部10的前部脱离传送部10。
[0021]以上实施例主要说明了本专利技术的集成电路V形槽开槽机。尽管只对其中有限的实施例和技术特征进行了描述，本领域技术人员应当了解，本专利技术可以在不偏离其主旨与范围内以许多其他的形式实施。因本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路V形槽开槽机，包括传送部(10)、基板(20)、支撑部(30)和工作部(40)，其特征在于，所述基板(20)随传送部(20)向前移动，支撑部(30)位于传送部(10)上方，工作部(40)安装在支撑部(30)上，传送部(10)包括主传送带(11)和压紧带(12)，主传送带(11)具有两个，分别位于两侧，压紧带(12)具有两个，分别位于两个主传送带(11)的上方，基板(20)从主传送带(11)和压紧带(12)之间的间隙沿着传送部(10)向前移动，支撑部(30)包括横梁(31)和滑槽(32)，横梁(31)位于传送部(10)上方，横梁(31)上具有滑槽(32)，滑槽(32)内安装工作部(40)，工作部(40)包括主轴(41)、垫块(42)、轴承(43)、螺母(44)、刀具(45)、带轮(46)和齿轮(47)，主轴(41)安装在轴承(43)内，轴承(43)压入垫块(42)上部，垫块(42)安装在支撑部(30)的滑槽(32)内，螺母(44)将垫块(42)固定在滑槽(32)上，刀具(45)安装主轴(41)底部，根据需要开槽的数量以及V形槽的距离确定工作部(40)的安装数量，并选择相应尺寸的齿轮(47)，将齿轮(47)安装在主轴(41)顶部，相邻两个齿轮(47)之间互相拟合，最外侧的一个主轴(41)上安装带轮(46)，带轮(46)通过皮带连接外部驱动装置。2.如权利要求1所述的集成电路V形槽开槽机，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌丹璐，
申请(专利权)人：江西世星科技有限公司，
类型：发明
国别省市：