【技术实现步骤摘要】
一种电控矢量磁场装置及其安装方法
[0001]本专利技术涉及精密致动
，具体而言，涉及精密电控矢量磁场调节装置及其安装方法。
技术介绍
[0002]精密致动是指控制负载沿着指定方向实现纳米级精度运动的技术，一般包括线性致动和转动两种。该技术在精密表面表征，光学定位调整，微纳米加工等领域得到了广泛应用。对于研究电磁场下的表面科学性质，一套集成在扫描探针显微系统扫描探头内部的磁场控制装置就极为必要。一方面，我们需要实现磁场强度和方向的连续精确调控；另一方面，装置本身必须足够紧凑坚固，以适应高抗震性扫描探针系统的基本要求。
[0003]现有室温大气下的磁场调控装置一般采用永磁体转台或者线性平推的方式。目前现存的商业化精密运动控制台体积较大，结构复杂，抗震性较差，无法兼容显微扫描探头内部的有限空间，且无法满足扫描探针技术的高抗震性要求，极大的限制了电磁场环境下的表面科学研究。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种电控矢量磁场装置及其安装方法，以改善上述问题。为了实现上述目的，本专利技术...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电控矢量磁场装置，其特征在于，包括：样品台(2)，所述样品台(2)上设置有样品托(3)；扫描探头，所述扫描探头设置在所述样品托(3)的上方；以及磁场控制机构(1)，所述磁场控制机构(1)包括移动部件(30)和驱动所述移动部件(30)做直线运动的驱动部件(20)，所述移动部件(30)的端部设置有永磁体(302)，所述永磁体(302)极化方向和运动方向的延长线正交于所述样品托(3)中心。2.根据权利要求1所述的电控矢量磁场装置，其特征在于：所述磁场控制机构(1)包括M个，M为大于0的整数，每个磁场控制机构(1)均与样品台(2)形成35.4度夹角。3.根据权利要求2所述的电控矢量磁场装置，其特征在于：所述磁场控制机构(1)包括3个，且两相邻的磁场控制机构(1)在样品台(2)上正投影之间的夹角为120度。4.根据权利要求1所述的电控矢量磁场装置，其特征在于:所述磁场控制机构(1)还包括固定部件(10)，所述固定部件(10)包括第一平面，所述第一平面包括并行设置的第一安装平面(101)和第二安装平面(102)；所述固定部件(10)还包括第三安装平面(103)，所述第三安装平面(103)设置于第一安装平面(101)和第二安装平面(102)之间，且所述第三安装平面(103)与第一平面之间形成35.4度夹角。5.根据权利要求4所述的电控矢量磁场装置，其特征在于：所述第一安装平面(101)和第二安装平面(102)上均设置有用于与外部框架相连的螺纹孔；所述第三安装平面(103)上设置有用于与驱动部件(20)相连的螺纹孔，所述固定部件(10)通过第三安装平面(103)与驱动部件(20)相连。6.根据权利要求1所述的电控矢量磁场装置，其特征在于：所述驱动部件(20)包括托槽(215)，所述托槽(215)的截面为梯形；所述托槽(215)内设置有负载棱柱(301)，所述负载棱柱(301)与托槽(215)之间设置有压电陶瓷堆垛，所述压电陶瓷堆垛一端与托槽(215)固定连接，另一端与负载棱柱(301)紧密贴合。7.根据权利要求6所述的电控矢量磁场装置，其特征在于：所述托槽(215)包括第六安装平面(212)，所述第六安装平面(212)的两端分别设置有第七安装平面(213)和第八安装平面(214)；所述第七安装平面(213)的两端分别设置有第六安装平面和第一延拓面，所述第一延拓面的端部设置有第四安装平面(206)；所述第八安装平面(214)的两端分别设置有第六安装平面和第二延拓面，所述第二延拓面的端部设置有第五安装平面(207)，所述第一延拓面和第二延拓面互相平行，且所述第一延拓面和第二延拓面在空间上均与第六安装平面(212)垂直；所述负载棱柱(301)的外侧设置有第九安装平面(303)、第十安装平面(304)和第十一安装平面(305)；所述第九安装平面(303)的外侧粘接设置有第一蓝宝石片(...
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