一种A型胶及采用该A型胶修补铬版白缺陷的方法技术

本发明专利技术涉及一种Ａ型胶，包括下述重量份的原料：金属纳米阻光材料：５８％～７８％ｗｔ，固化剂：２０％～４０％ｗｔ，稀释剂：０．５％～２％ｗｔ，玻璃促进剂：０．１％～１％ｗｔ，所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一种，所述固化剂为环氧树脂或酚醛树脂，所述稀释剂为甲苯、二甲苯、三甲苯、松节油或樟脑油中的任一种，所述玻璃促进剂为硅胶；还提供了一种采用上述Ａ型胶修补铬版白缺陷的方法。本发明专利技术所提供的Ａ型胶及采用该Ａ型胶修补铬版白缺陷的方法，解决了油墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱碱性清洗液清洗以及使用ＣＶＤ修补无法修补玻璃基板造成的白缺陷的问题，且保证了修补后的黏附力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于铬板缺陷修补
，尤其涉及一种A型胶及采用该A型胶 修补铬版白缺陷的方法。
技术介绍
铬版是掩膜版(Photomask)的一种，也称光罩，是一种用于微电子制造过程 中的图形转移工具，它使用石英玻璃或苏打制成，把电脑设计的图形通过曝光、 显影、蚀刻等工艺转移到4各板表面的挡光材料上，形成新的图形，然后用于电 子零件的批量复制生产过程。目前在铬版的生产过程中经常会产生白缺陷，该 白缺陷在行业内也称针孔类缺陷，是指在铬版生产、使用过程中受某种因素的 影响，图形有效区域内本来黑色遮光的区域出现了透光孔洞而形成的缺陷，随 着其大小、位置、形状的变化也称为凹陷或断线。现有
中修补所述白缺陷主要使用油墨、金属修补液或CVD修补 (化学气相沉积修补)，但是油墨只能修补一般的白缺陷，不能修补凹陷及断 线；而金属修补液成本较高，且耐弱碱清洗液清洗能力差，清洗后容易脱落； 采用CVD修补，成本极高，且无法修补玻璃基板造成的白缺陷，且修补工艺 稳定性差； 一旦上述三种修补方法失败，则无法再进行补救，铬版只能报废后 再重新制作，造成很大的浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种A型胶，所要解决的技术问题在于解决了油 墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱碱清洗液清洗以及使用CVD 修补无法修补玻璃基板造成的白缺陷的问题。本专利技术是这样实现的， 一种A型胶，包括下述重量份的原料金属纳米阻光材料58°/ ~78°/。wt，固化剂20%~40%wt,稀释剂0. 5% ~ 2%wt ，玻璃促进剂0. 1 °/ ~ 1 °/。wt 。所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一种，所 述固化剂为环氧树脂或酚醛树脂，所述稀释剂为甲苯、二曱苯、三曱苯、松节 油或樟脑油中的任一种，所述玻璃促进剂为硅胶。本专利技术的另 一 目的在于提供一种采用所述A型胶修#卜铬版白缺陷的方法， 该方法包括以下步骤(1) 在铬版背面将针孔类缺陷的大致位置标出；(2) 在5 ~ 10倍显微镜下找到针孔类缺陷的具体位置；(3) 将专用于铬版的修补笔的针尖除静电后，用修补笔的针尖沾少许专用 特制A型胶，在显微镜下慢慢点于针孔类缺陷上；(4) 将透光的针孔类缺陷全部覆盖后，再使用透射光检查是否透光，否则再取少许专用特制A型胶进行遮光，直到透射光看不到为止；(5) 检查针孔类缺陷其它部位是否沾有A型胶，否则需要将多余或残留的 A型胶清洁干净；(6) 打开反射光确认修补效果是否正常，否则使用乙醇或水擦拭干净后重 新修补，直到》务补合4各为止；(7) 修补合格后再烘烤；(8) 如果烘干后的A型胶有多余部分粘到玻璃上，则使用激光将该部分A 型胶去除掉。本专利技术所提供的A型胶及采用该A型胶修补铬版白缺陷的方法，解决了油 墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱石威性清洗液清洗以及使用 CVD修补无法修补玻璃基板造成的白缺陷的问题，且修补后超出白缺陷的A 型胶部分可以用激光熔融掉，这样就降低了修补难度、保证了修补后的黏附力且成本低廉、操作简单。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实 施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅 仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术实施例所提供的一种A型胶，包括下述重量份的原料金属纳米阻光材料58%~78%wt,固化剂20%~40%wt，稀释剂0. 5%~ 2%vt, 3皮璃j足进剂0. 1% ~ l%wt 。其中，所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一 种，所述金属纳米阻光材料具有调色遮光作用和一定的黏附作用；所述固化剂 为环氧树脂或酚醛树脂，所述固化剂可以增加A型胶的黏附性及调和A型胶各 组分的融合性；所述稀释剂为甲苯、二甲苯、三曱苯、松节油或樟脑油中的任 一种，所述稀释剂可以促进A型胶各组分的有效混合和调节A型胶粘稠度和固 化速度；所述玻璃促进剂为硅胶，具有增加A型胶的黏附性的作用。本专利技术A型胶各组分具体的实施例如下实施例一:<table>table see original document page 6</column></row><table><table>table see original document page 0</column></row><table>金朌醛树脂二曱苯硅胶(% wt )(%wt )(%wt )(%wt)实施例一584011实施例二6038. 910, 1实施例三6335. 70. 80. 5实施例四65331. 20. 8实施例五6831. 40. 50. 1实施例六7027. 420. 6实施例七7523. 11. 50. 4实施例八7820 -1. 80. 2实施例五\^组分银环氧树脂二曱苯硅胶(%wt )(%wt)(%wt)(%wt)实施例一584011实施例二6038, 910. 1实施例三6335. 70. 80. 5实施例四65331. 20. 8实施例五6831.40. 50. 1实施例六7027. 420. 6实施例七7523. 11. 50. 4实施例八78201. 80. 2实施例六:~\组分银环氧树脂松节油硅胶(%wt )(%wt )(%wt )(%wt)8<table>table see original document page 9</column></row><table><table>table see original document page 10</column></row><table>实施例十:<table>table see original document page 10</column></row><table>实施例十一:<table>table see original document page 11</column></row><table>实施例十二:<table>table see original document page 11</column></row><table>实施例十三:<table>table see original document page 11</column></row><table><table>table see original document page 12</column></row><table>实施例十四:<table>table see original document page 12</column></row><table>实施例十五:<table>table se本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ａ型胶，其特征在于：包括下述重量份的原料：　金属纳米阻光材料：５８％～７８％ｗｔ、固化剂：２０％～４０％ｗｔ、玻璃促进剂：０．１％～１％ｗｔ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王金木，
申请(专利权)人：清溢精密光电深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]