一种芯片测试装置及其测试方法制造方法及图纸

技术编号:27509205 阅读:19 留言:0更新日期:2021-03-02 18:38
本发明专利技术公开了一种芯片测试装置及其测试方法,属于芯片测试领域。一种芯片测试装置,包括检测箱和设备箱,所述检测箱固定连接在设备箱上,所述设备箱内转动连接有转动杆,所述设备箱上固定连接有气缸和活塞缸,所述推杆上固定连接有摩擦杆,所述气缸上固定连接有摩擦板,所述摩擦杆滑动连接在摩擦板上,所述转动杆通过往复机构与推杆相连接,所述气缸上固定连接有出气管,所述活塞缸上滑动连接有活塞杆;本发明专利技术使用简单,操作方便,通过把不同检测环境放置在一起进行检测,减少了检测时间,提高了检测效率,同时增加了检测的多样性,提高了对不同检测数据下芯片数据的收集,增加了使用安全保障。用安全保障。用安全保障。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试装置及其测试方法


[0001]本专利技术涉及芯片测试
,尤其涉及一种芯片测试装置及其测试方法。

技术介绍

[0002]芯片测试是一个比较大的问题,直接贯穿整个芯片设计与量产的过程中,通常我们生长单晶是是按照111晶向进行提拉生长,但是由于各种外界因素,比如温度,提拉速度,以及量子力学的各种随机性,导致生长过程中会出现错位,这个就称为缺陷;缺陷产生还有一个原因就是离子注入导致的,即使退火也未能校正过来的非规整结构,这些存在于半导体中的问题,会导致器件的失效,进而影响整个芯片,从而使得需要对芯片进行测试从而获得合格的芯片产品,所以需要通过芯片测试装置进行测试;芯片的测试主要分三大类:芯片功能测试、性能测试、可靠性测试,芯片产品要上市三大测试缺一不可;可靠性测试是芯片通过了功能与性能测试,得到了好的芯片,但是芯片会不会被冬天里最讨厌的静电弄坏,在雷雨天、三伏天、风雪天能否正常工作,以及芯片能用一个月、一年还是十年等等,这些都要通过可靠性测试进行评估。
[0003]现有的测试装置对芯片的耐高温和防水等测试采用分开检测,不仅增加了检测的时间,且大大降低了检测速度,因此我们提出了一种一种芯片测试装置及其测试方法。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中对芯片可靠性检测分开检测效率低的问题,而提出的一种芯片测试装置。
[0005]为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:
[0006]一种芯片测试装置,包括检测箱和设备箱,所述检测箱固定连接在设备箱上,所述设备箱内转动连接有转动杆,所述设备箱上固定连接有气缸和活塞缸,所述气缸上滑动连接有推杆,所述推杆上固定连接有摩擦杆,所述气缸上固定连接有摩擦板,所述摩擦杆滑动连接在摩擦板上,所述转动杆通过往复机构与推杆相连接,所述气缸上固定连接有出气管,所述出气管远离气缸的一端固定连接在检测箱内,所述活塞缸上滑动连接有活塞杆,所述活塞缸上固定连接有出水管,所述检测箱上固定连接有高压喷头,所述出水管与高压喷头相连接,所述设备箱内固定连接有驱动机构,所述驱动机构与转动杆转动相连,所述检测箱上固定连接有支撑板,所述支撑板上固定连接有喷气头,所述喷气头与出气管相连接。
[0007]优选的,所述驱动机构包括电机、第一锥齿轮和第二锥齿轮,所述电机固定连接在设备箱上,所述第一锥齿轮固定连接在电机输出端,所述第二锥齿轮固定连接在转动杆上,所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合相连。
[0008]优选的,所述往复机构包括偏心轮和转套,所述偏心轮固定连接在转动杆上,所述转套转动连接在偏心轮上,所述转套与推杆转动相连。
[0009]优选的,所述设备箱上固定连接有固定盒,所述固定盒上固定连接有连接管,所述连接管固定连接在检测箱上,所述固定盒上转动连接有连接杆,所述连接杆上固定连接有
叶轮和第一凸轮,所述第一凸轮与活塞杆相抵,所述设备箱内固定连接有水箱,所述水箱与活塞缸相连接。
[0010]优选的,所述检测箱上固定连接有静电板,所述检测箱上滑动连接有滑杆,所述滑杆上固定连接有滑块,所述滑块与静电板相贴,所述转动杆上固定连接有第二凸轮,所述第二凸轮与滑杆相抵。
[0011]优选的,所述检测箱上固定连接有工作台,所述工作台上固定连接有检测台,所述检测台上设置有被检测件。
[0012]优选的,所述检测箱上开设有排水槽,所述排水槽通过排水管与水箱相连接。
[0013]优选的,所述设备箱上固定连接有底座,所述底座上固定连接有固定板,所述固定板上固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆上固定连接有滚轮。
[0014]优选的,所述检测箱上转动连接有观察门,所述观察门上固定连接有把手,所述观察门为玻璃门,所述设备箱上设置有检测门。
[0015]一种芯片测试装置操作方法,采用以下步骤操作:
[0016]S1,把被检测件放置在检测台上进行通电,启动电机,电机带动推杆在气缸内做往复运动,推杆上的摩擦杆与摩擦板摩擦产生的热气通过出气管从喷气头喷出对被检测件进行加热,检测被检测件在高温下的使用性能;
[0017]S2,当检测箱内的热气压力变大时,热气通过连接管进入固定盒内吹动叶轮转动,叶轮带动活塞缸从水箱内抽出水,通过高压喷头喷出,对被检测件进行防水性能下的性能检测;
[0018]S3,同时电机带动第二凸轮与滑杆相抵,滑杆上的滑块与静电板相互摩擦产生静电,对被检测件在静电场景下的工作性能进行测试。
[0019]与现有技术相比,本专利技术提供了一种芯片测试装置,具备以下有益效果:
[0020]1、该芯片测试装置,通过电机输出端上的第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合带动转动杆转动,转动杆上的偏心轮带动转套转动,转套带动推杆上的摩擦杆与气缸内的摩擦板摩擦,产生的热气通过出气管从喷气头喷出对被检测件进行加热加压,可以有效的对被检测件在高温高压下的性能进行检测,提高被检测件的合格性能。
[0021]2、该芯片测试装置,通过热气进图连接管进入固定盒内带动叶轮转动,叶轮通过连接杆带动第一凸轮转动与活塞杆相抵,活塞缸从水箱内抽出水通过出水管从高压喷头喷出,对被检测件在潮湿环境下的工作性能进行测试。
[0022]3、该芯片测试装置,通过转动杆带动第二凸轮与滑杆相抵,带动滑块与静电板摩擦产生静电,时被检测件处在静电环境下,对被检测件在静电环境下的工作性能进行检测,多方位的对被检测件进行测试,提高被检测件在不同环境下的工作性能,提高检测检测数据的多样性,保证被检测件的合格性能,同时检测箱上开设有排水槽对水进行收集通过排水管进入水箱进行循环利用,减少水的浪费。
[0023]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本专利技术使用简单,操作方便,通过把不同检测环境放置在一起进行检测,减少了检测时间,提高了检测效率,同时增加了检测的多样性,提高了对不同检测数据下芯片数据的收集,增加了使用安全保障。
附图说明
[0024]图1为本专利技术提出的一种芯片测试装置主视的剖视图;
[0025]图2为本专利技术提出的一种芯片测试装置主视的结构示意图;
[0026]图3为本专利技术提出的一种芯片测试装置图1中A部分的结构示意图;
[0027]图4为本专利技术提出的一种芯片测试装置图1中B部分的结构示意图;
[0028]图5为本专利技术提出的一种芯片测试装置叶轮的结构示意图;
[0029]图6为本专利技术提出的一种芯片测试装置第二凸轮的结构示意图。
[0030]图中:1、检测箱;2、设备箱;3、气缸;4、活塞缸;5、推杆;6、摩擦杆;7、摩擦板;8、出气管;9、喷气头;10、支撑板;11、出水管;12、高压喷头;13、电机;14、第一锥齿轮;15、第二锥齿轮;16、转动杆;17、水箱;18、偏心轮;19、转套;20、连接管;21、固定盒;22、连接杆;23、叶轮;24、第一凸轮;25、活塞杆;26、第二凸轮;27、滑杆;28、滑块;29、静电板;30、工作台;31、检测台;32、被本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试装置,包括检测箱(1)和设备箱(2),其特征在于,所述检测箱(1)固定连接在设备箱(2)上,所述设备箱(2)内转动连接有转动杆(16),所述设备箱(2)上固定连接有气缸(3)和活塞缸(4),所述气缸(3)上滑动连接有推杆(5),所述推杆(5)上固定连接有摩擦杆(6),所述气缸(3)上固定连接有摩擦板(7),所述摩擦杆(6)滑动连接在摩擦板(7)上,所述转动杆(16)通过往复机构与推杆(5)相连接,所述气缸(3)上固定连接有出气管(8),所述出气管(8)远离气缸(3)的一端固定连接在检测箱(1)内,所述活塞缸(4)上滑动连接有活塞杆(25),所述活塞缸(4)上固定连接有出水管(11),所述检测箱(1)上固定连接有高压喷头(12),所述出水管(11)与高压喷头(12)相连接,所述设备箱(2)内固定连接有驱动机构,所述驱动机构与转动杆(16)转动相连,所述检测箱(1)上固定连接有支撑板(10),所述支撑板(10)上固定连接有喷气头(9),所述喷气头(9)与出气管(8)相连接。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试装置,其特征在于,所述驱动机构包括电机(13)、第一锥齿轮(14)和第二锥齿轮(15),所述电机(13)固定连接在设备箱(2)上,所述第一锥齿轮(14)固定连接在电机(13)输出端,所述第二锥齿轮(15)固定连接在转动杆(16)上,所述第一锥齿轮(14)与第二锥齿轮(15)啮合相连。3.根据权利要求1所述的一种芯片测试装置,其特征在于,所述往复机构包括偏心轮(18)和转套(19),所述偏心轮(18)固定连接在转动杆(16)上,所述转套(19)转动连接在偏心轮(18)上,所述转套(19)与推杆(5)转动相连。4.根据权利要求1所述的一种芯片测试装置,其特征在于,所述设备箱(2)上固定连接有固定盒(21),所述固定盒(21)上固定连接有连接管(20),所述连接管(20)固定连接在检测箱(1)上,所述固定盒(21)上转动连接有连接杆(22),所述连接杆(22)上固定连接有叶轮(23)和第一凸轮(24),所述第一凸轮(24)与活塞杆(25)相抵,所述设备箱(2)内固定连接有水箱(17),所述水箱(17)与活塞缸(4)相连接。5.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:ꢀ五一IntClG零一R三一二八
申请(专利权)人:深圳利朋技术研发有限公司
类型:发明
国别省市:

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