【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光敏树脂及其制备方法,属于精细化工
,具体是涉及一种碱溶性光敏树脂的制备方法。
技术介绍
光敏树脂是一类能够在紫外光照射下发生化学反应(通常是交联反应)的线性聚合物,它已经在光纤通讯、装饰薄膜材料、激光制版和印刷集成电路等行业获得广泛应用。1954年美国伊斯曼.柯达公司(Eastman Kodak)的Minsk研究出聚乙醇肉桂酸酯及其衍生物类光敏树脂,并利用此树脂配制成了人类最先应用在电子工业上的光致抗蚀剂。从而开创了光功能高分子材料应用的序篇。聚乙烯醇肉桂酸酯类光敏树脂,是最早合成的感光高分子材料,也是早期电子工业使用的重要光敏树脂之一。由此类光敏树脂配制的系列紫外负型光致抗蚀剂是指通过酯化反应将肉桂酸酰氯感光基团接枝在聚乙烯醇分子链上而获得的。该系列光致抗蚀剂无暗反应,存贮期长,感光灵敏度高,分辨率好。为了满足多种不同的要求,还可将肉桂酸的基团连接在其它高分子链上。典型的合成式如下 感光机理为肉桂酰基团中的双键在紫外光的作用下打开,不同分子上的双键相互作用形成形成四元环,从而发生高分子链间的交联,形成难溶性的体型网状结构,未曝光区的 ...
【技术保护点】
一种碱溶性光敏树脂,其特征在于,其分子结构用下式表示:CH↓[2]=CH-COOCH↓[2]-*H-R-*H-CH↓[2]OOC-CH=CH↓[2]R代表:***或者***其中:n=3~10, 优选5~6R1代表:HOOC-CH=CH或者HOOC-*。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邢宏龙,朱安峰,陈水林,
申请(专利权)人:东华大学,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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