光机械装置的馈通抑制制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于产生和检测光信号的光机械装置，该光机械装置包括验证质量块组件、一个或多个激光装置以及电路。该一个或多个激光装置被配置为生成第一光信号和第二光信号。该电路被配置为用电光调制器(EOM)调制该第二光信号，将该第一光信号和该第二光信号输出至该验证质量块组件，生成对应于该验证质量块组件对该第一光信号而不是该第二光信号的响应的滤波后的光信号，并且基于该滤波后的光信号生成电信号，其中该EOM基于该电信号来调制该第二光信号。调制该第二光信号。调制该第二光信号。

【技术实现步骤摘要】
光机械装置的馈通抑制


[0001]本公开涉及光机械装置，诸如被配置为使用光信号来测量加速度的加速度计。

技术介绍

[0002]光机械装置包括用于检测加速度、速度、振动和其他参数的装置。例如，在光机械加速度计中，机械结构的共振频率在光机械装置中的加速度下偏移。可通过将近共振光施加到结构的光学共振并测量透射的或反射的光信号来用光学场读出机械共振频率。

技术实现思路

[0003]一般来讲，本公开涉及用于减少光机械装置中的驱动馈通的装置、系统和技术。如本文所用，驱动馈通可以是指光学驱动场的泄漏到检测路径中并与加速度无关的部分。驱动馈通可以限制最终的本底噪声，从而限制光机械装置的性能。例如，电路可以被配置为将第一光信号作为驱动场输出以驱动对验证质量块组件的机械响应，并且将第二光信号作为感测场输出至验证质量块组件，以检测验证质量块组件中的机械振动的相位调制或频率调制中的一者或多者。
[0004]在一个示例中，一种用于产生和检测光信号的光机械装置包括：验证质量块组件；一个或多个激光装置，该一个或多个激光装置被配置为生成第一光信号和第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于产生和检测光信号的光机械装置，所述装置包括：验证质量块组件；一个或多个激光装置，所述一个或多个激光装置被配置为生成第一光信号和第二光信号，其中所述第一光信号的频率不同于所述第二光信号的频率；以及电路，所述电路被配置为：利用电光调制器(EOM)来调制所述第二光信号；将所述第一光信号和所述第二光信号输出至所述验证质量块组件；生成对应于所述验证质量块组件对所述第一光信号而不是所述第二光信号的响应的滤波后的光信号；以及基于所述滤波后的光信号生成电信号，其中所述EOM基于所述电信号调制所述第二光信号。2.根据权利要求1所述的光机械装置，其中所述电路被配置为：基于所述电信号在所述验证质量块组件处生成加速度的指示。3.根据权利要求1所述的光机械装置，其中所述一个或多个激光装置包括：感测激光装置，所述感测激光装置被配置为生成所述第一光信号；以及驱动激光装置，所述驱动激光装置被配置为生成所述第二光信号。4.根据权利要求3所述的光机械装置，其中所述感测激光装置被配置为生成所述第一光信号，使得所述第一光信号与所述验证质量块组件相互作用，以及响应于与所述验证质量块组件相互作用而被施加所述验证质量块组件中的机械振动的相位调制和所述验证质量块组件中的机械振动的频率调制中的一者或多者；并且其中所述驱动激光装置被配置为生成所述第二光信号，使得所述第二光信号激发所述验证质量块组件中的机械振动。5.根据权利要求3所述的光机械装置，其中所述驱动激光装置被配置为生成振幅大于所述第一光信号的振幅的十倍的所述第二光信号。6.根据权利要求3所述的光机械装置，其中所述感测激光器装置被配置为以对应于所述验证质量块组件的光学共振加上所述验证质量块组件的所述光学共振的半峰全宽(FWHM)的四分之一的频率来生成所述第一光信号，并且其中所述驱动激光装置被配置为以对应于所述验证质量块组件的所述光学共振减去所述验证质量块组件的所述光学共振的所述FWHM的四分之一的频率生成所述第二光信号；或者其中所述感测激光器装置被配置为以对应于所述验证质量块组...

【专利技术属性】
技术研发人员：约书亚，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：