本发明专利技术公开了有色光敏树脂组合物，使用其的彩色滤光器阵列和固态图像拾取装置。所述有色光敏树脂组合物包括由式（Ⅰ）表示的化合物或其盐，其中Ｒ↑［１０］、Ｒ↑［１１］、Ｒ↑［１３］和Ｒ↑［１４］彼此独立地是氢原子或烷基；Ｒ↑［１２］是磺酸基团、羧酸基团、其酯或由式（１）表示的酰胺：－ＳＯ↓［２］ＮＨＲ↑［１５］（１），和Ｘ↑［－］是ＢＦ↓［４］↑［－］、ＰＦ↓［６］↑［－］、Ｙ↑［－］或ＹＯ↓［４］↑［－］（其中Ｙ是卤素原子），或具有磺酸基团的染料。
【技术实现步骤摘要】
,使用其的彩色滤光器阵列和固态图像拾取装置的制作方法
本专利技术涉及一种，其可用于制造彩色滤光器 阵列，所迷彩色滤光器阵列将在用于使固态图像拾取装置(例如图像传 感器等)和液晶显示器显色的装置上形成。
技术介绍
彩色滤光器阵列通常通过彩色抗蚀(color resist)方法制造，其中制 备与相应的滤光器层对应的并且然后通过依次使 所迷啄光和显影而图案化。颜料被广泛地用作有 色光敏树脂组合物中所含的着色剂。然而，颜料不溶于显影液中，因 此它们对于形成精细图案来说是不利的。因而，建议了将染料用作可 溶于显影液中的着色剂,参见例如JP陽A-6-75375(参见第 段)；JP-B-7-111485(参见第12、 13和14栏)；和JP-A隱2002-M220(参见 权利要求、现有技术部分、专利技术所要解决的问题部分、第段)。的，而JP-A-6-75375和JP-B-7-l 11485中所述的彩色滤光器阵列不能同 时实现两种特性。例如，在JP-B-7-111485中所述的有色光敏树脂组合 物中，在650nm波长下的透射率为约85%,而在535nm波长下的透射率为约0.6°/。，但是当将在650nm波长下的透射率控制到90%或以上时， 在535nm波长下的透射率往往超过1%，因此光i脊特性变得不足。 因而，JP-A-2002-14220提出了将特定的具有与其鍵合的芳基氨基 的咕吨着色剂与吡唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)着色剂组合使用。当这些 着色剂(或染料)以适当的比例使用时，可能将在535nm波长下的透射 率控制到1%或以下以及将在650nm波长下的透射率控制到90%或以上。根据最近固态图像拾取装置的图案微型化的趋势，滤光器图案的 微型化变得必需。将滤光器图案微型化对于改进彩色滤光器阵列的光 谱特性并且因此减小彩色滤光器阵列本身的厚度的有效的。
技术实现思路
本专利技术的目的是进一步改进和彩色滤光器阵 列的光镨特性。 因此，本专利技术提供了一种，其包括光敏化合 物、碱可溶性树脂和至少一种选自由式(I)表示的化合物和其盐的化合 物(以下统称为"(烷基)氨基咕吨着色剂")其中R1G、 R11、 R"和R"彼此独立地是氢原子或d-8烷基； R"是磺酸基团、羧酸基团、其酯或由式(l)表示的酰胺 -S02NHR15 (1)其中R"是C2.2o烷基；被环己基取代的。2.12烷基；被C,-4烷基取 代的环己基；被02.12烷氧基取代的(:2-12烷基；由式(卜l)表示的烷基羰 基氧基烷基；由式(卜2)表示的烷氧羰基烷基；可被Cwo烷基取代的苯 基；或可被苯基取代的C.2o烷基-R170-CO-R16 (1-1)-R19-CO-OR18 (1-2)在所述式(l-l)和(l-2)中，R16和R18彼此独立地是C2.i2烷基，和 R卩和R"彼此独立地是C2_12亚烷基；和X —是BF4—、 PF6\ Y—或Y04飞其中Y是卤素原子)，或具有磺酸 基团的染料。本专利技术的可任选地包含在400-500nm波长范 围内具有最大吸收的着色剂和固化(curing)剂。例如，当着色剂、光敏 化合物和碱可溶性树脂的总量为100重量份时，所迷着色剂的量为约 5-80重量份，光敏化合物的量为约0.001-50重量份，碱可溶性树脂的 量为约1-75重量份。本专利技术的优选地用于制造彩色滤光器阵列、 固态图像拾取装置等等。 根据本专利技术，可以进一步地改进通过使用本专利技术的光敏树脂组合 物而形成的彩色滤光器阵列的光语特性，因为使用了特定的具有与其 鍵合的氨基或烷基氨基的卩占吨着色剂。附图说明图1是显示CCD图像传感器的一个实例的局部放大示意剖视图。 图2-7分别是显示制造图1的图像传感器的方法的第一视图至第六视图。图8是显示照相机系统的一个实例的方框图。图9是显示实施例和对比例的滤光器的波长-吸光率谱的曲线图。图10是显示实施例和对比例的滤光器的波长-透射率谱的曲线图。具体实施方式R"是磺酸基团、羧酸基团或其酯(例如链烷磺酰基、烷氧羰基等)。链烷磺酰基的实例包括C"8链烷磺酰基，优选d.5链烷磺酰基，更优 选C卜3链烷磺酰基，如甲磺酰基(甲基磺酰基)。烷氧羰基包括与d.S烷 氧基，优选C,.5烷氧基，更优选d.3烷氧基键合的羰基，例如甲氧羰 基、乙氧羰基和丙氧羰基。R"可以是由式(l)表示的酰胺 -S02NHR15 (1)在式(1)中，R"是C2,2o烷基；被环己基取代(键合)的(:2.12烷基； 被CM烷基取代(键合)的环己基；被(:2.12烷氧基取代(鍵合)的(32.12烷 基；可被Cwo烷基取代(键合)的苯基；或可被苯基取代(键合)的Cwo 烷基。R"所表示的C2.2G烷基的实例包括乙基、丙基、正己基、正壬基、正癸基、正十二烷基、2-乙基己基、1,3-二曱基丁基、l-曱基丁基、1,5-二甲基己基和U，3,3-四曱基丁基。被环己基取代的(:2.12烷基的实例包 括环己基乙基、3-环己基丙基和8-环己基辛基。被CM烷基取代的环己 基的实例包括2-乙基环己基、2-丙基环己基和2-(正丁基)环己基。被 Cm烷氧基取代的C2.n烷基的实例包括3-乙氧基-正丙基、丙氧基丙基、 4-丙氧基正丁基、3-甲基-正己氧基乙基和3-(2-乙基己氧基)丙基。 此外，R"可以是上述的由式(l-1)表示的烷基羰基氧基烷基，或上 述的由式(l-2)表示的烷氧羰基烷基。在式(l-l)和(l-2)中，R"和R"的Cm烷基的实例包括乙基、丙基、 正己基、正壬基、正癸基、正十二烷基、2-乙基己基、1，3-二甲基丁基、 l-甲基丁基、1，5-二甲基己基或1,1,3，3-四甲基丁基，R口和R"的C2.12 亚烷基的实例包括二亚甲基和六亚曱基基团。R"优选是链烷磺酰基或烷氧羰基，特别优选烷氧羰基。 X—是BFr、 PF6\ Y —或Y04 —(在所述式中，Y是卤素原子，特别 是氯原子)，或具有磺酸基团的染料。 具有磺酸基团的染料的实例包括C.I.酸性黄17、 C丄酸性黄23、 C.I.酸性黄25、 C.I.酸性黄29、 C丄酸性黄38、 C丄酸性黄40、 C丄酸性 黄42、 C.I.酸性黄76和C丄活性黄2。(烷基)氨基口占吨着色剂可以是式(I)的化合物或其盐。这种盐的实例 包括碱金属盐如钠盐和钾盐，和胺盐如三乙胺盐和与l-氨基-3-苯基丁 烷的盐。例如，在由式(I)表示的化合物中，当取代基R。是磺酸基团或 羧酸基团，所述盐是通过磺酸基团或羧酸基团形成的。在400-550nm波长范围内具有最大吸收的着色剂(或染料)的实例 包括吡唑啉酮偶氮着色剂。可以使用各种常规的吡唑啉酮偶氮着色剂， 更具体地说，可以使用式(II)的化合物或其盐(例如碱金属盐、胺盐等) 或其络合物(例如铬络合物等)。其中R"和R"彼此独立地是羟基或羧酸基团；R2Q、 R23、 R"和 R25彼此独立地是氢原子、卣素原子、C"4烷基、CM烷氧基、磺酸基 团或硝基。吡唑啉酮偶氮着色剂的具体实例包括C丄酸性黄17、C丄溶剂橙56 和C.I.溶剂黄82。 吡唑啉酮偶氮着色剂的量是例如约0.1-70重量份，优选约40-60 重量份，基于100重量份的吡唑啉酮偶氮着色剂和(烷基)氨基咕吨着色 剂的总量，或基于100重量份的吡唑啉酮偶氮着色剂、(本文档来自技高网...
【技术保护点】
有色光敏树脂组合物，其包括光敏化合物、碱可溶性树脂和至少一种选自由式（Ⅰ）表示的化合物和其盐：＊＊＊（Ⅰ）其中Ｒ↑［１０］、Ｒ↑［１１］、Ｒ↑［１３］和Ｒ↑［１４］彼此独立地是氢原子或Ｃ↓［１－８］烷基；Ｒ↑［１２］是磺酸基团、羧酸基团、其酯或由式（１）表示的酰胺：－ＳＯ↓［２］ＮＨＲ↑［１５］（１）其中Ｒ↑［１５］是Ｃ↓［２－２０］烷基；被环己基取代的Ｃ↓［２－１２］烷基；被Ｃ↓［１－４］烷基取代的环己基；被Ｃ↓［２－１２］烷氧基取代的Ｃ↓［２－１２］烷基；由式（１－１）表示的烷基羰基氧基烷基；由式（１－２）表示的烷氧羰基烷基；可被Ｃ↓［１－２０］烷基取代的苯基；或可被苯基取代的Ｃ↓［１－２０］烷基：－Ｒ↑［１７］Ｏ－ＣＯ－Ｒ↑［１６］（１－１）－Ｒ↑［１９］－ＣＯ－ＯＲ↑［１８］（１－２）在所述式（１－１）和（１－２）中，Ｒ↑［１６］和Ｒ↑［１８］彼此独立地是Ｃ↓［２－１２］烷基，且Ｒ↑［１７］和Ｒ↑［１９］彼此独立地是Ｃ↓［２－１２］亚烷基；和Ｘ↑［－］是ＢＦ↓［４］↑［－］、ＰＦ↓［６］↑［－］、Ｙ↑［－］或ＹＯ↓［４］↑［－］（其中Ｙ是卤素原子），或具有磺酸基团的染料。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫芳子，前田兼作，名取太知，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
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