【技术实现步骤摘要】
一种轻便式高刚性磁钢芯轴
[0001]本技术涉及芯轴
,具体涉及一种轻便式高刚性磁钢芯轴。
技术介绍
[0002]目前的磁钢芯轴是放置在旋转靶材的内部,是最原始的一种设计方案,冷却靶材的冷却水不是在最需要冷却的等离子体辉光区域,导致整体重量偏大,刚性不足,尤其是磁钢表面的磁场强度对位置及其敏感,原设计导致磁场因磁钢芯轴刚性不足变形引起磁场变化,导致镀膜不均匀。鉴于以上缺陷,实有必要设计一种轻便式高刚性磁钢芯轴。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种轻便式高刚性磁钢芯轴,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种轻便式高刚性磁钢芯轴,包括芯轴外钢管和芯轴内钢管,所述芯轴内钢管的外表面固定安装有芯轴外钢管,且芯轴外钢管的两端固定安装有连接轴承,所述芯轴内钢管的外表面活动安装有轴承内垫,且轴承内垫的一侧靠近芯轴内钢管下端的位置安装有卡合齿轮,所述轴承内垫的另一侧活动安装有轴承外垫,所述芯轴外钢管的一侧固定安装有防水涂层,且防水涂层的一侧固定安装 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种轻便式高刚性磁钢芯轴,包括芯轴外钢管(1)和芯轴内钢管(2),其特征在于:所述芯轴内钢管(2)的外表面固定安装有芯轴外钢管(1),且芯轴外钢管(1)的两端固定安装有连接轴承(3),所述芯轴内钢管(2)的外表面活动安装有轴承内垫(4),且轴承内垫(4)的一侧靠近芯轴内钢管(2)下端的位置安装有卡合齿轮(5),所述轴承内垫(4)的另一侧活动安装有轴承外垫(6),所述芯轴外钢管(1)的一侧固定安装有防水涂层(7),且防水涂层(7)的一侧固定安装有防腐涂层(8),所述连接轴承(3)上设置有磁铁。2.根据权利要求1所述的一种轻便式高刚性磁钢芯轴,其特征在于:所述芯轴外钢管(1)为双层不锈钢管结构,所述芯轴内钢管(2)内部为空心密封结构,所述芯轴外钢管(1)和芯轴内钢管(2)采用不锈钢管薄壁材料。3.根据权利要求1所述的一种轻便式高刚性磁钢芯轴,其特征在于:所述轴承内垫(4)和轴承外垫(6...
【专利技术属性】
技术研发人员:费向阳,
申请(专利权)人:苏州耀华自动化设备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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