一种MEMS能量收集器制造技术

本实用新型专利技术属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本实用新型专利技术与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。量的微型MEMS能量收集器。量的微型MEMS能量收集器。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS能量收集器


[0001]本技术属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的
，具体涉及一种MEMS能量收集器。

技术介绍

[0002]能量收集器是利用太阳能、温度梯度、声波振动,机械振动等，以实现无限的器件寿命。在现代建筑、交通、环保、电力、医疗卫生、消费电子等领域和民用领域发挥着重要作用。
[0003]目前，振动机械能转化为电能的方法有三种:压电式、静电式, 电磁式，其中:静电收集器由于其需要启动电压,并且静电器件产生的是高电压、低电流和高输出阻抗,还要考虑到晶元应用中电极短路问题,这些导致通过静电产生电能的方式很难实现器件的商业化。电磁感应是根据法拉第定律,由振动时磁体和线圈之间的相对运动或者磁场的变化产生了电流,电流的强度依赖于磁场的强度、相对运动速度和线圈的匝数。其模型比较成熟,而且被广泛应用在许多电能收集器中。目前,大尺寸、性能好的体磁铁、多转数和宏范围的线圈在大系统中都已得到了实现，而对于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的
，针对能量收集器不能小型化的技术缺陷，目前还未出现相关的公开文件、及相关专利。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS能量收集器，其特征在于，所述MEMS能量收集器应用电磁感应原理产生能量，所述MEMS能量收集器包括：作为载体的键合基板，所述键合基板内经过加工刻蚀形成第一凹槽、第二凹槽，并分别在第一凹槽、第二凹槽内设置用于提供磁场的第一永磁体、第二永磁体；所述键合基板上固定设置外框，所述外框内构成的框架空间内设置敏感质量块，并所述敏感质量块通过组合梁结构与外框连接；所述敏感质量块上设置用于切割磁感线的检测线圈，所述检测线圈的一端与第二电极连接，另一端通过引线电极、及引线与第一电极连接。2.根据权利要求1所述一种MEMS能量收集器，其特征在于，所述组合梁结构包括第一组合梁、第二组合梁、第三组合梁、第四组合梁；所述敏感质量块的四侧位置分别设置所述第一组合梁、第二组合梁、第三组合梁、第四组合梁连接，所述敏感质量块位于所述外框的中心位置。3.根据权利要求1所述一种MEMS能量收集器，其特征在于，所述检测线圈整体结构为“回”形线圈结构，所述检测线圈的一端为引线电极，并设置在所述敏感质量块的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李孟委，武绍宽，张瑞，金丽，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：新型
国别省市：