一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具，包括上盖定位板、底座和支撑架板，所述支撑架板的一侧通过连接杆及螺栓安装有管路托板，所述管路托板的顶部通过紧固箍设置有水管，支撑架板的顶部通过螺栓安装有底座，所述底座的顶部利用螺栓安装有冲洗网板，所述冲洗网板的底部通过螺栓安装有冲洗喷头，所述冲洗网板的顶部通过螺栓安装有O型圈槽，所述O型圈槽的上端设置有上盖定位板，所述上盖定位板上设置有定位PIN钉。该新型冲水治具功能多样，操作简单，便于生产，满足了使用中的多种需求，适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具


[0001]本技术涉及冲水治具
，特别涉及一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具。

技术介绍

[0002]在对半导体行业设备洗净再生恢复的过程中会常用到一种水洗冲刷的方法，但是针对某些特殊的部件必须要有合适的装夹装置才能有效的进行水洗作业。传统的装夹装置不是装夹不紧凑造成作业时部件晃动较大无法获得有效冲洗面就是没有足够强度的水压给冲洗效果带来局限，这样给现场作业带来很大困扰。为此，我们提出一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具，包括上盖定位板、底座和支撑架板，所述支撑架板的一侧通过连接杆及螺栓安装有管路托板，所述管路托板的顶部通过紧固箍设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲水治具，包括上盖定位板(1)、底座(4)和支撑架板(5)，其特征在于：所述支撑架板(5)的一侧通过连接杆及螺栓安装有管路托板(7)，所述管路托板(7)的顶部通过紧固箍设置有水管(2)，支撑架板(5)的顶部通过螺栓安装有底座(4)，所述底座(4)的顶部利用螺栓安装有冲洗网板(12)，所述冲洗网板(12)的底部通过螺栓安装有冲洗喷头(10)，所述冲洗网板(12)的顶部通过螺栓安装有O型圈槽(9)，所述O型圈槽(9)的上端设置有上盖定位板(1)，所述上盖定位板(1)上设置有定位PIN钉(8)。2.根据权利要求1所述的一种半导体设ULKCVD装置showerhead部件冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：周毅，张正伟，
申请(专利权)人：安徽富乐德科技发展股份有限公司，
类型：新型
国别省市：